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铝合金不对称正负脉冲硬质阳极氧化研究
被引量：
6
1
作者
徐存荣
周海晖
+2 位作者
罗胜联
陈金华
旷亚非
《电镀与精饰》
CAS
2003年第1期4-6,9,共4页
采用不对称正负脉冲电流方法对LF21铝合金硬质阳极氧化进行了研究,结果表明,当脉冲阳极电流与阴极电流比为5∶1,阳极与阴极电流周期比为5∶1,平均氧化电流密度为2.5A/dm2时,所获得的膜层显微硬度大于500HV,膜层表面光滑致密。与直流或...
采用不对称正负脉冲电流方法对LF21铝合金硬质阳极氧化进行了研究,结果表明,当脉冲阳极电流与阴极电流比为5∶1,阳极与阴极电流周期比为5∶1,平均氧化电流密度为2.5A/dm2时,所获得的膜层显微硬度大于500HV,膜层表面光滑致密。与直流或直流叠加脉冲阳极氧化相比,不对称正负脉冲硬质阳极氧化技术具有成膜速度快、膜层硬度高、电解温度范围宽、能耗少等优点。
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关键词
铝合金
研究
硬质阳极氧化
不对称
正负脉冲电流
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职称材料
微电铸器件铸层均匀性的研究
被引量：
19
2
作者
杜立群
刘海军
+1 位作者
秦江
朱神渺
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期69-75,共7页
理论分析了负脉冲电流对铸层的修饰作用,采用正负间断脉冲电流和正间断负连续脉冲电流进行了相应的微电铸的实验研究。实验采用的微电铸器件是特征宽度为90μm的微流控芯片的金属模具。微电铸实验主要包括三个步骤:制作SU-8胶胶模,微电...
理论分析了负脉冲电流对铸层的修饰作用,采用正负间断脉冲电流和正间断负连续脉冲电流进行了相应的微电铸的实验研究。实验采用的微电铸器件是特征宽度为90μm的微流控芯片的金属模具。微电铸实验主要包括三个步骤:制作SU-8胶胶模,微电铸和去除SU-8胶。为了对实验结果进行对比分析,两组实验的工作时间和电流强度均采用240min和2.5 A/dm2。将正负脉冲电流微电铸与正脉冲电流微电铸的实验结果进行了对比分析。研究结果表明,正负间断脉冲电流能够获得较好的器件铸层均匀性。由于在负向脉冲的间断时间内,铸层表面附近的浓度极差得以改变,因此正负间断脉冲电流微电铸的铸层均匀性优于正间断负连续脉冲电流微电铸。实验结果与理论分析结果相一致。
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关键词
铸层均匀性
FICK第二定律
正负脉冲电流
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职称材料
题名
铝合金不对称正负脉冲硬质阳极氧化研究
被引量：
6
1
作者
徐存荣
周海晖
罗胜联
陈金华
旷亚非
机构
湖南大学化学化工学院
出处
《电镀与精饰》
CAS
2003年第1期4-6,9,共4页
文摘
采用不对称正负脉冲电流方法对LF21铝合金硬质阳极氧化进行了研究,结果表明,当脉冲阳极电流与阴极电流比为5∶1,阳极与阴极电流周期比为5∶1,平均氧化电流密度为2.5A/dm2时,所获得的膜层显微硬度大于500HV,膜层表面光滑致密。与直流或直流叠加脉冲阳极氧化相比,不对称正负脉冲硬质阳极氧化技术具有成膜速度快、膜层硬度高、电解温度范围宽、能耗少等优点。
关键词
铝合金
研究
硬质阳极氧化
不对称
正负脉冲电流
Keywords
aluminum alloys
hard anodic oxidation
asymmetric pulse current
分类号
TG174.451 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
微电铸器件铸层均匀性的研究
被引量：
19
2
作者
杜立群
刘海军
秦江
朱神渺
机构
大连理工大学教育部精密与特种加工技术重点实验室
大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期69-75,共7页
基金
国家863MEMS重大专项(No.2004AA404260)
国家自然科学基金(No.50675025)
教育部和大连市留学回国人员科研启动基金资助
文摘
理论分析了负脉冲电流对铸层的修饰作用,采用正负间断脉冲电流和正间断负连续脉冲电流进行了相应的微电铸的实验研究。实验采用的微电铸器件是特征宽度为90μm的微流控芯片的金属模具。微电铸实验主要包括三个步骤:制作SU-8胶胶模,微电铸和去除SU-8胶。为了对实验结果进行对比分析,两组实验的工作时间和电流强度均采用240min和2.5 A/dm2。将正负脉冲电流微电铸与正脉冲电流微电铸的实验结果进行了对比分析。研究结果表明,正负间断脉冲电流能够获得较好的器件铸层均匀性。由于在负向脉冲的间断时间内,铸层表面附近的浓度极差得以改变,因此正负间断脉冲电流微电铸的铸层均匀性优于正间断负连续脉冲电流微电铸。实验结果与理论分析结果相一致。
关键词
铸层均匀性
FICK第二定律
正负脉冲电流
Keywords
uniformity
Fick second law
pulse-reverse current
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TG249.9 [金属学及工艺—铸造]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
铝合金不对称正负脉冲硬质阳极氧化研究
徐存荣
周海晖
罗胜联
陈金华
旷亚非
《电镀与精饰》
CAS
2003
6
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职称材料
2
微电铸器件铸层均匀性的研究
杜立群
刘海军
秦江
朱神渺
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
19
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职称材料
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