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超声驻波场粒子二维运动控制机理与模型研究
1
作者
杨贤龙
吴立群
巢炎
《应用声学》
CSCD
北大核心
2014年第3期258-263,共6页
为了将正交超声驻波技术用于多晶硅陷光结构网格化微加工,以达到均匀加工的目的,本文从理论、模拟和实验等方面研究了粒子由无规则排列到超声作用后形成二维网格状排列的运动过程,网格化控制机理,并建立了二维运动方程。计算机仿真结果...
为了将正交超声驻波技术用于多晶硅陷光结构网格化微加工,以达到均匀加工的目的,本文从理论、模拟和实验等方面研究了粒子由无规则排列到超声作用后形成二维网格状排列的运动过程,网格化控制机理,并建立了二维运动方程。计算机仿真结果与实验结果一致,表明应用超声驻波进行网格化微纳加工设想是可行的。
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关键词
正交超声驻波
粒子控制
多晶硅
网格化微加工
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职称材料
题名
超声驻波场粒子二维运动控制机理与模型研究
1
作者
杨贤龙
吴立群
巢炎
机构
杭州电子科技大学机械工程学院杭州
出处
《应用声学》
CSCD
北大核心
2014年第3期258-263,共6页
基金
国家自然科学基金项目(51175134)
浙江省自然科学基金项目(Y1100335)
+1 种基金
浙江省科技厅公益性项目(2010c31058)
杭州电子科技大学机械工程学院优硕论文基金项目(JX13LW06)
文摘
为了将正交超声驻波技术用于多晶硅陷光结构网格化微加工,以达到均匀加工的目的,本文从理论、模拟和实验等方面研究了粒子由无规则排列到超声作用后形成二维网格状排列的运动过程,网格化控制机理,并建立了二维运动方程。计算机仿真结果与实验结果一致,表明应用超声驻波进行网格化微纳加工设想是可行的。
关键词
正交超声驻波
粒子控制
多晶硅
网格化微加工
Keywords
Orthogonal ultrasonic standing wave, Particle control, Multicrystalline silicon, Grid micromachining
分类号
TB559 [理学—声学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超声驻波场粒子二维运动控制机理与模型研究
杨贤龙
吴立群
巢炎
《应用声学》
CSCD
北大核心
2014
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