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以正交衍射光栅为计量标准器的二维微位移工作台
被引量：
13
1
作者
王选择
郭军
谢铁邦
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第5期492-496,共5页
提出以正交衍射光栅作为X Y二维位移工作台计量标准器的思想,阐述了正交衍射光栅作为大量程二维位置检测传感器的工作原理及光路布置方法,推导了光栅运动位移与所产生干涉条纹的相移之间的关系。介绍了工作台粗、细两级定位系统的组成结...
提出以正交衍射光栅作为X Y二维位移工作台计量标准器的思想,阐述了正交衍射光栅作为大量程二维位置检测传感器的工作原理及光路布置方法,推导了光栅运动位移与所产生干涉条纹的相移之间的关系。介绍了工作台粗、细两级定位系统的组成结构:粗定位部分由磁悬浮平面直线电机驱动,细定位部分采用弹性铰支结构并由压电陶瓷驱动;通过分别对电机和压电陶瓷驱动范围与定位精度的分析,提出对工作台精密快速定位的方法。设计了一套对电机与压电陶瓷进行驱动控制和光栅信号进行处理的电路,并结合实际正交衍射光栅的刻线精度,计算了工作台位置检测的有效分辨率。最后,分析了当前几种典型压电陶瓷驱动电路的特点,提出选用直流放大电源的方式作为本系统高压驱动方法,并给出了高压驱动电路图。
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关键词
二维微位移工作台
正交衍射光栅
四象限探测器
压电陶瓷
计量标准器
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职称材料
一种二维光栅干涉仪的研究
被引量：
5
2
作者
赵博
晏磊
郝德阜
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第3期272-274,共3页
本文描述了一种以二维正交反射光栅为计量基准元件 ,以透射光栅为分光元件的二维光栅干涉仪 ,从研究光栅表面的光扰动出发 ,分析了这种干涉仪的原理及所用光栅间的匹配关系 ,通过实验分析了干涉仪的调整方法及主要误差 ,实验结果表明
关键词
正交衍射光栅
透射
光栅
光栅
干涉仪
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职称材料
题名
以正交衍射光栅为计量标准器的二维微位移工作台
被引量：
13
1
作者
王选择
郭军
谢铁邦
机构
华中科技大学机械学院仪器系
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第5期492-496,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.50175037)
文摘
提出以正交衍射光栅作为X Y二维位移工作台计量标准器的思想,阐述了正交衍射光栅作为大量程二维位置检测传感器的工作原理及光路布置方法,推导了光栅运动位移与所产生干涉条纹的相移之间的关系。介绍了工作台粗、细两级定位系统的组成结构:粗定位部分由磁悬浮平面直线电机驱动,细定位部分采用弹性铰支结构并由压电陶瓷驱动;通过分别对电机和压电陶瓷驱动范围与定位精度的分析,提出对工作台精密快速定位的方法。设计了一套对电机与压电陶瓷进行驱动控制和光栅信号进行处理的电路,并结合实际正交衍射光栅的刻线精度,计算了工作台位置检测的有效分辨率。最后,分析了当前几种典型压电陶瓷驱动电路的特点,提出选用直流放大电源的方式作为本系统高压驱动方法,并给出了高压驱动电路图。
关键词
二维微位移工作台
正交衍射光栅
四象限探测器
压电陶瓷
计量标准器
Keywords
2D displacement platform
cross diffraction grating
four-pin detector
piezoelectric ceramics
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
一种二维光栅干涉仪的研究
被引量：
5
2
作者
赵博
晏磊
郝德阜
机构
北京大学遥感与地理信息系统研究所
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第3期272-274,共3页
文摘
本文描述了一种以二维正交反射光栅为计量基准元件 ,以透射光栅为分光元件的二维光栅干涉仪 ,从研究光栅表面的光扰动出发 ,分析了这种干涉仪的原理及所用光栅间的匹配关系 ,通过实验分析了干涉仪的调整方法及主要误差 ,实验结果表明
关键词
正交衍射光栅
透射
光栅
光栅
干涉仪
Keywords
Reflection cross grating Transmission grating Grating interferometer
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
以正交衍射光栅为计量标准器的二维微位移工作台
王选择
郭军
谢铁邦
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003
13
在线阅读
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职称材料
2
一种二维光栅干涉仪的研究
赵博
晏磊
郝德阜
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
5
在线阅读
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职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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