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微型正交激励磁通门结构设计
被引量:
8
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作者
郭博
刘诗斌
杨尚林
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第7期910-915,共6页
利用三维电磁场仿真软件对线-芯结构微型正交激励磁通门进行了仿真分析。研究了不同频率下激励线宽度、铁芯宽度、激励线厚度、铁芯厚度等磁通门结构参数对铁芯饱和情况的影响。以减小激励电流、降低磁通门功耗为目标,讨论了采用线-芯...
利用三维电磁场仿真软件对线-芯结构微型正交激励磁通门进行了仿真分析。研究了不同频率下激励线宽度、铁芯宽度、激励线厚度、铁芯厚度等磁通门结构参数对铁芯饱和情况的影响。以减小激励电流、降低磁通门功耗为目标,讨论了采用线-芯结构的微型正交激励磁通门所应选择的结构尺寸。采用MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)工艺制备了这种结构尺寸的微型磁通门传感器并对其进行了测试,采用尖脉冲激励时,其可以以1.7 mW的超低功耗得到91.6 V/T的输出灵敏度。
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关键词
电子科学与技术
Magnet仿真
微型
磁通
门
正交激励磁通门
低功耗
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职称材料
题名
微型正交激励磁通门结构设计
被引量:
8
1
作者
郭博
刘诗斌
杨尚林
机构
西北工业大学电子信息学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第7期910-915,共6页
基金
高等学校博士学科点专项科研基金项目(20126102110031)
文摘
利用三维电磁场仿真软件对线-芯结构微型正交激励磁通门进行了仿真分析。研究了不同频率下激励线宽度、铁芯宽度、激励线厚度、铁芯厚度等磁通门结构参数对铁芯饱和情况的影响。以减小激励电流、降低磁通门功耗为目标,讨论了采用线-芯结构的微型正交激励磁通门所应选择的结构尺寸。采用MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)工艺制备了这种结构尺寸的微型磁通门传感器并对其进行了测试,采用尖脉冲激励时,其可以以1.7 mW的超低功耗得到91.6 V/T的输出灵敏度。
关键词
电子科学与技术
Magnet仿真
微型
磁通
门
正交激励磁通门
低功耗
Keywords
electronic science and technology
magnet simulation
micro-fluxgate sensor
orthogonal fluxgate
low power consumption
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TM936.2 [电气工程—电力电子与电力传动]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
微型正交激励磁通门结构设计
郭博
刘诗斌
杨尚林
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014
8
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