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微通道板次级电子发射层中各元素随深度的分布 被引量:2
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作者 韦亚一 陶兆民 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1991年第6期384-387,共4页
本文应用XPS研究微通道板次级电子发射层中各元素浓度随深度的分布,以及不同烧氢还原温度对此分布的影响,并讨论了不同烧氢还原温度对次级电子发射性能的影响,在此基础上提出了改进微通道板性能的几个途径。
关键词 微通道板 XPS(X光电子能谱) 烧氢还原 元素深度分布 次级电子发射体
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