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球面微通道板在极紫外波段的量子探测效率
被引量：
5
1
作者
尼启良
韩素立
+1 位作者
陈斌
王海峰
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期2596-2602,共7页
由于球面微通道板(MCP)的量子探测效率与极紫外(EUV)相机的灵敏度有关,本文研究了球面MCP量子探测效率的特点和测量方法。根据微通道板在EUV波段光电子产额的理论模型,计算了球面MCP在该波段下随不同入射角变化的电子产额。使用激光等...
由于球面微通道板(MCP)的量子探测效率与极紫外(EUV)相机的灵敏度有关,本文研究了球面MCP量子探测效率的特点和测量方法。根据微通道板在EUV波段光电子产额的理论模型,计算了球面MCP在该波段下随不同入射角变化的电子产额。使用激光等离子体光源测量球面MCP在EUV波段的量子探测效率,搭建了球面MCP在该波段的量子探测效率的测量装置,测量了球面MCP在不同位置的量子探测效率随波长和入射角的变化曲线。实验结果表明,入射角为15°时的量子探测效率约为入射角为0°时的5倍。
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关键词
极紫外(EUV)相机
球面微通道板
次级电子产额
量子探测效率
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职称材料
题名
球面微通道板在极紫外波段的量子探测效率
被引量：
5
1
作者
尼启良
韩素立
陈斌
王海峰
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院研究生院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期2596-2602,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.61077016)
文摘
由于球面微通道板(MCP)的量子探测效率与极紫外(EUV)相机的灵敏度有关,本文研究了球面MCP量子探测效率的特点和测量方法。根据微通道板在EUV波段光电子产额的理论模型,计算了球面MCP在该波段下随不同入射角变化的电子产额。使用激光等离子体光源测量球面MCP在EUV波段的量子探测效率,搭建了球面MCP在该波段的量子探测效率的测量装置,测量了球面MCP在不同位置的量子探测效率随波长和入射角的变化曲线。实验结果表明,入射角为15°时的量子探测效率约为入射角为0°时的5倍。
关键词
极紫外(EUV)相机
球面微通道板
次级电子产额
量子探测效率
Keywords
Extreme Ultraviolet（EUV）camera
spherical micro-channel plate
secondary electron yield
Quantum Detection Efficiency（QDE）
分类号
TN144 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
球面微通道板在极紫外波段的量子探测效率
尼启良
韩素立
陈斌
王海峰
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
5
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