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横向超声辅助线锯振动切割单晶SiC法向锯切力研究
被引量：
2
1
作者
李伦
李艳军
李济顺
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期3730-3736,3741,共8页
锯切力是线锯切割加工中极其重要的参数,它不仅影响切割效率和晶片的表面质量,而且还严重影响晶片的亚表面损伤程度和线锯的寿命。本文将横向超声振动应用于金刚石线锯切割单晶SiC过程中并对受迫振动线锯的法向锯切力进行理论分析和研...
锯切力是线锯切割加工中极其重要的参数,它不仅影响切割效率和晶片的表面质量,而且还严重影响晶片的亚表面损伤程度和线锯的寿命。本文将横向超声振动应用于金刚石线锯切割单晶SiC过程中并对受迫振动线锯的法向锯切力进行理论分析和研究。基于轴向运动弦线受迫振动模型,求解出在两种不同位置超声激励下线锯中间切割点横向振动位移的函数表达式;依据冲量定理和磨削理论,建立了横向超声辅助金刚石线锯的法向锯切力模型并推导出横向受迫振动线锯锯切单晶SiC法向锯切力的预测公式。对单晶SiC进行横向超声辅助线锯振动切割和普通线锯切割对比实验并分析横向超声振动和加工参数对线锯法向锯切力的影响,结果表明相同实验条件下,横向超声振动切割比普通线锯切割法向锯切力减小25%~35%。理论预测与实验结果具有较好一致性。
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关键词
SIC
横向超声激励
金刚石线锯
振动切割
法向锯切力
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职称材料
SiC单晶加工参数优化及表面粗糙度预测
2
作者
李伦
杨少东
+1 位作者
李济顺
陈稳
《机械设计与制造》
北大核心
2020年第9期149-152,157,共5页
因独特的共价键晶体结构,SiC单晶具有较高的硬度和脆性,是典型的难加工材料。以横向超声激励线锯的方法对SiC单晶进行切割,采用正交实验设计,并引入灰色关联分析法研究切割过程中锯切力、晶片表面粗糙度等多目标与主要加工参数之间的影...
因独特的共价键晶体结构,SiC单晶具有较高的硬度和脆性,是典型的难加工材料。以横向超声激励线锯的方法对SiC单晶进行切割,采用正交实验设计,并引入灰色关联分析法研究切割过程中锯切力、晶片表面粗糙度等多目标与主要加工参数之间的影响关系,以及获得线锯加工最优参数组合,即工件进给速度0.025mm/min、超声振幅1.8μm、线锯速度1.6m/s、工件转速16r/min为最优加工参数组合,并通过实验进行验证。采用果蝇优化算法优化灰色神经网络模型(FOA-GMNN)对SiC单晶片的表面粗糙度Ra进行预测,结果表明:FOA-GMNN模型收敛速度快,鲁棒性好,预测精度高,预测值与实验值的平均相对误差为2.09%。
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关键词
线锯切割SiC
横向超声激励
灰色关联分析
参数优化
果蝇优化算法
表面粗糙度预测
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职称材料
题名
横向超声辅助线锯振动切割单晶SiC法向锯切力研究
被引量：
2
1
作者
李伦
李艳军
李济顺
机构
河南科技大学河南省机械设计及传动系统重点实验室
河南科技大学机电工程学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期3730-3736,3741,共8页
文摘
锯切力是线锯切割加工中极其重要的参数,它不仅影响切割效率和晶片的表面质量,而且还严重影响晶片的亚表面损伤程度和线锯的寿命。本文将横向超声振动应用于金刚石线锯切割单晶SiC过程中并对受迫振动线锯的法向锯切力进行理论分析和研究。基于轴向运动弦线受迫振动模型,求解出在两种不同位置超声激励下线锯中间切割点横向振动位移的函数表达式;依据冲量定理和磨削理论,建立了横向超声辅助金刚石线锯的法向锯切力模型并推导出横向受迫振动线锯锯切单晶SiC法向锯切力的预测公式。对单晶SiC进行横向超声辅助线锯振动切割和普通线锯切割对比实验并分析横向超声振动和加工参数对线锯法向锯切力的影响,结果表明相同实验条件下,横向超声振动切割比普通线锯切割法向锯切力减小25%~35%。理论预测与实验结果具有较好一致性。
关键词
SIC
横向超声激励
金刚石线锯
振动切割
法向锯切力
Keywords
SiC
transverse ultrasound excitation
diamond wire saw
vibration cutting
normal cutting force
分类号
TQ163.4 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
SiC单晶加工参数优化及表面粗糙度预测
2
作者
李伦
杨少东
李济顺
陈稳
机构
河南科技大学河南省机械设计及传动系统重点实验室
河南科技大学机电工程学院
出处
《机械设计与制造》
北大核心
2020年第9期149-152,157,共5页
基金
河南省高等学校重点科研项目计划(17A460013)。
文摘
因独特的共价键晶体结构,SiC单晶具有较高的硬度和脆性,是典型的难加工材料。以横向超声激励线锯的方法对SiC单晶进行切割,采用正交实验设计,并引入灰色关联分析法研究切割过程中锯切力、晶片表面粗糙度等多目标与主要加工参数之间的影响关系,以及获得线锯加工最优参数组合,即工件进给速度0.025mm/min、超声振幅1.8μm、线锯速度1.6m/s、工件转速16r/min为最优加工参数组合,并通过实验进行验证。采用果蝇优化算法优化灰色神经网络模型(FOA-GMNN)对SiC单晶片的表面粗糙度Ra进行预测,结果表明:FOA-GMNN模型收敛速度快,鲁棒性好,预测精度高,预测值与实验值的平均相对误差为2.09%。
关键词
线锯切割SiC
横向超声激励
灰色关联分析
参数优化
果蝇优化算法
表面粗糙度预测
Keywords
Wire Saw Cutting SiC
Transverse Ultrasonic Excitation
Grey Relational Analysis
Parameter Optimiza-tion
Fruit Fly Optimization Algorithm
Surface Roughness Prediction
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
O786 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
横向超声辅助线锯振动切割单晶SiC法向锯切力研究
李伦
李艳军
李济顺
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
SiC单晶加工参数优化及表面粗糙度预测
李伦
杨少东
李济顺
陈稳
《机械设计与制造》
北大核心
2020
0
在线阅读
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职称材料
已选择
0
条
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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