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题名小锤结构对SMR SAW谐振器的杂散抑制研究
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作者
韩捷
帅垚
罗文博
吴传贵
张万里
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机构
重庆邮电大学光电工程学院
电子科技大学重庆微电子产业技术研究院
电子科技大学电子科学与工程学院
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出处
《压电与声光》
北大核心
2025年第4期693-697,共5页
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基金
重庆英才计划(CQYC202201101417)。
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文摘
为了适应5G新频段的发展,研究了SMR SAW谐振器中小锤结构对谐振器性能的影响。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。仿真结果表明,在三小锤结构下,当小锤长度为1.6倍半周期时,谐振器的横向模态杂散较弱。提出一种新型的双小锤加权结构,通过在谐振器的上、下半部分分别设置不同长度的小锤,进一步抑制了带内杂散,提高了谐振器的性能。实验结果表明,双小锤加权结构在抑制带内杂散方面效果明显,谐振器的机电耦合系数和阻抗比得到提升。
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关键词
SMR
SAW
小锤结构
双小锤加权结构
阻抗比
横向模态杂散
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Keywords
SMR SAW
small-hammer structure
dual small-hammer weighted structure
impedance ratio
transverse mode spurious
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
TN65
[电子电信—电路与系统]
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