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具有布喇格反射层谐振器带内横模抑制结构设计
1
作者
李磊
帅垚
+5 位作者
李金晔
范维
吴达豪
罗文博
吴传贵
张万里
《压电与声光》
北大核心
2025年第2期262-267,共6页
研究了基于X切铌酸锂材料且具有布喇格反射层结构的谐振器,通过有限元(FEM)仿真模拟计算了面内旋转角和Al电极厚度对机电耦合系数、相速度和阻抗比的影响。搭建三维有限元(3D FEM)结构探究了谐振器带内的横向模式与半周期的关系,并对比...
研究了基于X切铌酸锂材料且具有布喇格反射层结构的谐振器,通过有限元(FEM)仿真模拟计算了面内旋转角和Al电极厚度对机电耦合系数、相速度和阻抗比的影响。搭建三维有限元(3D FEM)结构探究了谐振器带内的横向模式与半周期的关系,并对比了两种小锤结构对横向模式的抑制作用,小锤结构无法对SMR谐振器的横向模式进行有效抑制。设计了3种加权谐振器结构,分别是加权无假指、加权有假指和加权有小锤。实验对比了普通谐振器与3种加权谐振器的性能。结果表明,3种加权谐振器的机电耦合系数(K^(2))都超过了15%,阻抗比约为60 dB,均对带内横向模式有明显的抑制作用。
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关键词
声表面波谐振器
S_(0)模态
X切LN
横向模式抑制
加权结构
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职称材料
题名
具有布喇格反射层谐振器带内横模抑制结构设计
1
作者
李磊
帅垚
李金晔
范维
吴达豪
罗文博
吴传贵
张万里
机构
重庆邮电大学光电工程学院
电子科技大学重庆微电子产业研究院
电子科技大学电子科学与工程学院
出处
《压电与声光》
北大核心
2025年第2期262-267,共6页
基金
重庆英才计划资助项目(CQYC202201101417)。
文摘
研究了基于X切铌酸锂材料且具有布喇格反射层结构的谐振器,通过有限元(FEM)仿真模拟计算了面内旋转角和Al电极厚度对机电耦合系数、相速度和阻抗比的影响。搭建三维有限元(3D FEM)结构探究了谐振器带内的横向模式与半周期的关系,并对比了两种小锤结构对横向模式的抑制作用,小锤结构无法对SMR谐振器的横向模式进行有效抑制。设计了3种加权谐振器结构,分别是加权无假指、加权有假指和加权有小锤。实验对比了普通谐振器与3种加权谐振器的性能。结果表明,3种加权谐振器的机电耦合系数(K^(2))都超过了15%,阻抗比约为60 dB,均对带内横向模式有明显的抑制作用。
关键词
声表面波谐振器
S_(0)模态
X切LN
横向模式抑制
加权结构
Keywords
surface acoustic wave resonator
S_(0) mode
X-cut LN
transverse mode suppression
apodization structure
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TN65 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
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作者
出处
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被引量
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1
具有布喇格反射层谐振器带内横模抑制结构设计
李磊
帅垚
李金晔
范维
吴达豪
罗文博
吴传贵
张万里
《压电与声光》
北大核心
2025
0
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职称材料
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