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静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究
被引量：
1
1
作者
赵江铭
杨杰伟
+2 位作者
孙俊杰
吴晓铃
陈晓阳
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第14期1669-1673,共5页
建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型,得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器,通过试验测定其谐振频率,并用ANSYS软件进行了模态分析。结果表明,该类谐振...
建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型,得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器,通过试验测定其谐振频率,并用ANSYS软件进行了模态分析。结果表明,该类谐振器谐振频率的理论计算值和ANSYS模拟值与实测值间的相对误差均小于2%,验证了该理论模型的正确性。采用多折叠梁谐振器可以实现低频下大振幅的电能-微机械能的转换。
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关键词
微型机电系统
静电硅微多折叠梁谐振器
横向振动模型
试验研究
谐振频率
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职称材料
题名
静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究
被引量：
1
1
作者
赵江铭
杨杰伟
孙俊杰
吴晓铃
陈晓阳
机构
郑州大学
上海大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第14期1669-1673,共5页
基金
国家重点基础研究发展计划资助项目(G1999033109)
上海市青年科技启明星计划项目(03QF14019)
+1 种基金
上海市纳米专项基金资助项目(0452nm023)
上海市应用材料研究与发展基金资助项目(AM0420)
文摘
建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型,得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器,通过试验测定其谐振频率,并用ANSYS软件进行了模态分析。结果表明,该类谐振器谐振频率的理论计算值和ANSYS模拟值与实测值间的相对误差均小于2%,验证了该理论模型的正确性。采用多折叠梁谐振器可以实现低频下大振幅的电能-微机械能的转换。
关键词
微型机电系统
静电硅微多折叠梁谐振器
横向振动模型
试验研究
谐振频率
Keywords
MEMS
silicon micro electrostatic resonators with multi--folded--beam suspensions
transverse oscillating model
experimental study
resonance frequency
分类号
TP112 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究
赵江铭
杨杰伟
孙俊杰
吴晓铃
陈晓阳
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
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