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等离子体边缘损伤的横向分布测量
被引量：
1
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作者
朱志炜
郝跃
张进城
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第1期92-95,共4页
等离子体刻蚀工艺中 ,栅边缘直接暴露在等离子体环境中 ,UV射线和粒子轰击会在栅漏交叠区栅氧化层中和硅二氧化硅界面处产生大量的陷阱 ,这些陷阱的分布和数量对器件的长期可靠性将会产生重大的影响 .采用低频电荷泵技术测量了栅边缘损...
等离子体刻蚀工艺中 ,栅边缘直接暴露在等离子体环境中 ,UV射线和粒子轰击会在栅漏交叠区栅氧化层中和硅二氧化硅界面处产生大量的陷阱 ,这些陷阱的分布和数量对器件的长期可靠性将会产生重大的影响 .采用低频电荷泵技术测量了栅边缘损伤的横向分布 。
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关键词
边缘损伤
等离子体
横向分布测量
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职称材料
交直流线路并行架设时的电磁环境横向分布监测
被引量：
5
2
作者
姚德贵
张广洲
+3 位作者
张嵩阳
姚伟
郭星
钱诗林
《水电能源科学》
北大核心
2020年第2期181-183,188,共4页
随着电网的不断建设,交直流输电线路同走廊并行架设已在多处出现。目前,交直流混合电磁环境监测多以单点离散测量为主,无法实现横向分布的连续实时测量。通过建立工频电场、无线电干扰、合成电场等测量设备沿同一路径的分布式实时数据...
随着电网的不断建设,交直流输电线路同走廊并行架设已在多处出现。目前,交直流混合电磁环境监测多以单点离散测量为主,无法实现横向分布的连续实时测量。通过建立工频电场、无线电干扰、合成电场等测量设备沿同一路径的分布式实时数据采集系统,实现交直流并行线路电磁环境移动式横向分布测量及数据的动态管理,并以典型合成电场数据为例,研究了垂直于线路走廊155m的横向断面合成电场分布趋势。结果表明,实测数据与仿真计算结果趋势较吻合,为交直流并行线路合成电场研究提供了参考。
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关键词
交直流并行架设
电磁环境
数据采集系统
合成电场
横向分布测量
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职称材料
题名
等离子体边缘损伤的横向分布测量
被引量：
1
1
作者
朱志炜
郝跃
张进城
机构
西安电子科技大学微电子研究所
出处
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第1期92-95,共4页
基金
"九五"国家部委重大预先研究资助项目 (8 5 3 4)
文摘
等离子体刻蚀工艺中 ,栅边缘直接暴露在等离子体环境中 ,UV射线和粒子轰击会在栅漏交叠区栅氧化层中和硅二氧化硅界面处产生大量的陷阱 ,这些陷阱的分布和数量对器件的长期可靠性将会产生重大的影响 .采用低频电荷泵技术测量了栅边缘损伤的横向分布 。
关键词
边缘损伤
等离子体
横向分布测量
Keywords
edge damage
the overlap area of the gate and drain
low frequency charge pumping
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
交直流线路并行架设时的电磁环境横向分布监测
被引量：
5
2
作者
姚德贵
张广洲
张嵩阳
姚伟
郭星
钱诗林
机构
国网河南省电力公司电力科学研究院
国网电力科学研究院武汉南瑞有限责任公司
出处
《水电能源科学》
北大核心
2020年第2期181-183,188,共4页
基金
国家电网有限公司总部科技项目(52170217000Z)。
文摘
随着电网的不断建设,交直流输电线路同走廊并行架设已在多处出现。目前,交直流混合电磁环境监测多以单点离散测量为主,无法实现横向分布的连续实时测量。通过建立工频电场、无线电干扰、合成电场等测量设备沿同一路径的分布式实时数据采集系统,实现交直流并行线路电磁环境移动式横向分布测量及数据的动态管理,并以典型合成电场数据为例,研究了垂直于线路走廊155m的横向断面合成电场分布趋势。结果表明,实测数据与仿真计算结果趋势较吻合,为交直流并行线路合成电场研究提供了参考。
关键词
交直流并行架设
电磁环境
数据采集系统
合成电场
横向分布测量
Keywords
parallel power lines
electromagnetic environment
data collecting system
total electric field
measurement of the AC/DC parallel lines
分类号
TM751 [电气工程—电力系统及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
等离子体边缘损伤的横向分布测量
朱志炜
郝跃
张进城
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
1
在线阅读
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职称材料
2
交直流线路并行架设时的电磁环境横向分布监测
姚德贵
张广洲
张嵩阳
姚伟
郭星
钱诗林
《水电能源科学》
北大核心
2020
5
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职称材料
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参考文献
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