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题名集成式压电驱动微操作手的位置控制研究
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作者
孙立宁
荣伟彬
楼朝飞
刘品宽
蔡鹤皋
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机构
哈尔滨工业大学机器人研究所
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2002年第4期336-340,共5页
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基金
国防基础科研项目
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文摘
微操作手是微操作机器人的核心部件 ,文章介绍了作者研制的压电陶瓷管驱动三自由度集成式微操作手 ,在此基础上 ,研究了微操作手的位置闭环控制 ,提出了模糊 -比例积分控制方法 ,并通过实验获得了较好的控制效果。通过对微操作手进行动静态测试得到微操作手的性能指标 :操作手末端 X、Y轴的最大输出位移为± 8.5μm,重复定位精度为 2 8nm ,位移分辨率为 10 nm ,动态阶跃响应时间为 5 m s;Z轴最大输出位移为 6 .2μm ,重复定位精度为 17nm,位移分辨率为 4 nm ,动态阶跃响应时间为 5 m s。该微操作手能够实现纳米级微动定位 。
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关键词
压电陶瓷管
微操作手
微操作机器人
位置控制
模糊-比例积分控制
压电驱动
机器人
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Keywords
piezoelectric tube
micromanipulator
micromanipulating robot
position control
fuzzy PI control
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分类号
TP242
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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