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模块化组合设备的晶圆加工过程建模研究
被引量：
2
1
作者
苏平
伍乃骐
于兆勤
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期1307-1311,共5页
晶圆加工过程中使用的模块化组合设备具有可重构性,设备配置的复杂程度由晶圆加工工艺方案决定,针对这一特点,研究了晶圆加工系统的Petri网建模问题。对晶圆加工模块化组合设备的加工流程进行了分析,给出了描述晶圆加工过程的时间Petri...
晶圆加工过程中使用的模块化组合设备具有可重构性,设备配置的复杂程度由晶圆加工工艺方案决定,针对这一特点,研究了晶圆加工系统的Petri网建模问题。对晶圆加工模块化组合设备的加工流程进行了分析,给出了描述晶圆加工过程的时间Petri网模型。为避免Petri网模型随着设备复杂程度的增加而迅速膨胀,通过对系统运行特点的分析,建立了着色时间Petri网模型,网中节点数为常数值,与设备的复杂程度无关。从满足晶圆加工时间约束的角度,给出了带有时序控制器的着色时间Petri网模型,该模型有助于研究复杂制造系统的动态行为和生产过程控制。
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关键词
模块化组合设备
晶圆加工
建模
着色时间Petri网
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职称材料
茶机产品的模块化设计
2
作者
赵祖光
《中国茶叶加工》
2013年第2期42-43,37,共3页
产品模块化设计可以优质、高效,最大限度地满足不同用户的要求,已在很多种机械设计中广泛应用。茶机产品的模块化设计就是对茶机单机和流水线等的通用设备及工序组合进行模块化设计,通过模块的组合配置和互换重用,以适应不同茶类的加工...
产品模块化设计可以优质、高效,最大限度地满足不同用户的要求,已在很多种机械设计中广泛应用。茶机产品的模块化设计就是对茶机单机和流水线等的通用设备及工序组合进行模块化设计,通过模块的组合配置和互换重用,以适应不同茶类的加工工艺,较好地解决了茶业市场多样化需求,以少变应多变,提高了产品的优化性,减少工时,节省投资,使茶机生产者和茶机使用者都能获得便利。茶机产品的模块化设计是茶机设计发展的方向,需要建立专门的设计标准,进行全面推广。
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关键词
茶机
模块
化
设计
通用
设备
工序
组合
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职称材料
题名
模块化组合设备的晶圆加工过程建模研究
被引量：
2
1
作者
苏平
伍乃骐
于兆勤
机构
广东工业大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期1307-1311,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(60574066)
文摘
晶圆加工过程中使用的模块化组合设备具有可重构性,设备配置的复杂程度由晶圆加工工艺方案决定,针对这一特点,研究了晶圆加工系统的Petri网建模问题。对晶圆加工模块化组合设备的加工流程进行了分析,给出了描述晶圆加工过程的时间Petri网模型。为避免Petri网模型随着设备复杂程度的增加而迅速膨胀,通过对系统运行特点的分析,建立了着色时间Petri网模型,网中节点数为常数值,与设备的复杂程度无关。从满足晶圆加工时间约束的角度,给出了带有时序控制器的着色时间Petri网模型,该模型有助于研究复杂制造系统的动态行为和生产过程控制。
关键词
模块化组合设备
晶圆加工
建模
着色时间Petri网
Keywords
cluster tool
wafer fabrication
modeling
colored timed Petri net
分类号
TH166 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
茶机产品的模块化设计
2
作者
赵祖光
机构
浙江衢州煤矿机械总厂有限公司
出处
《中国茶叶加工》
2013年第2期42-43,37,共3页
文摘
产品模块化设计可以优质、高效,最大限度地满足不同用户的要求,已在很多种机械设计中广泛应用。茶机产品的模块化设计就是对茶机单机和流水线等的通用设备及工序组合进行模块化设计,通过模块的组合配置和互换重用,以适应不同茶类的加工工艺,较好地解决了茶业市场多样化需求,以少变应多变,提高了产品的优化性,减少工时,节省投资,使茶机生产者和茶机使用者都能获得便利。茶机产品的模块化设计是茶机设计发展的方向,需要建立专门的设计标准,进行全面推广。
关键词
茶机
模块
化
设计
通用
设备
工序
组合
Keywords
Tea processing machine, Modular design, General equipment, Process combination
分类号
TS272.3 [农业科学—茶叶生产加工]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
模块化组合设备的晶圆加工过程建模研究
苏平
伍乃骐
于兆勤
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
2
在线阅读
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职称材料
2
茶机产品的模块化设计
赵祖光
《中国茶叶加工》
2013
0
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职称材料
已选择
0
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参考文献
引证文献
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