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题名啁啾光纤光栅相位掩模槽形控制新方法研究
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作者
杨卫鹏
刘全
吴建宏
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机构
苏州大学信息光学工程研究所
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出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期51-52,共2页
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文摘
在啁啾光纤光栅相位掩模的制作中,针对光刻胶光栅槽形要求比较高的问题,提出离子束刻蚀和反应离子束刻蚀相结合的方法,来实现对相位掩模槽形占宽比的控制。运用高级线段运动算法模拟分析刻蚀中的图形演化,用Ar离子束刻蚀对光刻胶光栅掩模形貌进行修正,然后采用CHF3反应离子束刻蚀,实验和模拟均表明,Ar离子束刻蚀能很好的改善掩模与基片交界处的基片侧壁形貌,使得在CHF3反应离子束刻蚀下能得到较小的占宽比。对槽形控制提供了有意义的实验手段。
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关键词
离子束刻蚀
反应离子束刻蚀
槽形模拟
占宽比
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Keywords
ion beam etching
reactive ion beam etching
profile simulation duty cycle
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名非对称全息方法制作闪耀光栅的模拟与分析
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作者
陈刚
吴建宏
刘全
陈新荣
李朝明
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机构
南京信息职业技术学院微电子工程系
苏州大学信息光学工程研究所
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出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第4期42-43,共2页
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基金
江苏省高校自然科学重大基础研究项目(07KJA51002)
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文摘
为了实现全息方法制作闪耀光栅,在对称全息光栅制作方法的墓础上,设计了一种非对称光路进行曝光。模拟了特定显影条件下光栅槽形及其衍射效率光谱,并与理想三角形闪耀光栅比较。结果表明:模拟槽形具备闪耀光栅槽形特征,其正一级衍射效率谱线与相应闪耀光栅非常接近。
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关键词
信息光学
全息闪耀光栅
槽形模拟
衍射效率
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Keywords
information optics,holographically recorded blazed grating
profile simulation
diffraction efficiency
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分类号
O438.1
[机械工程—光学工程]
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