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静态傅里叶变换光谱仪的微阶梯反射镜设计及制作
1
作者
张茗璇
高教波
+4 位作者
孟合民
张芳
孙科峰
范喆
王希骋
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第4期644-648,共5页
静态傅里叶变换光谱仪的反射镜采取微阶梯反射镜,使光谱仪可在无需空间驱动装置的前提下实现空域上各级次的同时采样。通过理论研究和对测试数据的对比分析,确定使用楔形玻璃条制作微阶梯反射镜。此方法采用常规光学零件加工工艺制作1...
静态傅里叶变换光谱仪的反射镜采取微阶梯反射镜,使光谱仪可在无需空间驱动装置的前提下实现空域上各级次的同时采样。通过理论研究和对测试数据的对比分析,确定使用楔形玻璃条制作微阶梯反射镜。此方法采用常规光学零件加工工艺制作1个楔形玻璃块和10个楔形玻璃条,然后按序选取楔形玻璃条,并逐一光胶在楔形玻璃块的斜面上,且相邻楔形玻璃条的接触面用紫外胶固连;水平方向反复推动相邻后一个楔形玻璃条直到检测仪器测量出相邻楔形玻璃条的阶梯厚度差达到要求为止;用紫外灯固化紫外胶;重复以上步骤制作出所需台阶数目的微阶梯反射镜。和别的制作方法相比,此方法安全性和可行性高,而且具有一致性、台阶厚度可控特点,可制作出台阶高度误差为0.124μm、表面粗糙度为12nm的微阶梯反射镜,达到系统设计要求。
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关键词
静态傅里叶变换光谱仪
迈克尔逊干涉仪
微阶梯反射镜
楔形玻璃条
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职称材料
题名
静态傅里叶变换光谱仪的微阶梯反射镜设计及制作
1
作者
张茗璇
高教波
孟合民
张芳
孙科峰
范喆
王希骋
机构
西安应用光学研究所
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第4期644-648,共5页
基金
十三五项目
文摘
静态傅里叶变换光谱仪的反射镜采取微阶梯反射镜,使光谱仪可在无需空间驱动装置的前提下实现空域上各级次的同时采样。通过理论研究和对测试数据的对比分析,确定使用楔形玻璃条制作微阶梯反射镜。此方法采用常规光学零件加工工艺制作1个楔形玻璃块和10个楔形玻璃条,然后按序选取楔形玻璃条,并逐一光胶在楔形玻璃块的斜面上,且相邻楔形玻璃条的接触面用紫外胶固连;水平方向反复推动相邻后一个楔形玻璃条直到检测仪器测量出相邻楔形玻璃条的阶梯厚度差达到要求为止;用紫外灯固化紫外胶;重复以上步骤制作出所需台阶数目的微阶梯反射镜。和别的制作方法相比,此方法安全性和可行性高,而且具有一致性、台阶厚度可控特点,可制作出台阶高度误差为0.124μm、表面粗糙度为12nm的微阶梯反射镜,达到系统设计要求。
关键词
静态傅里叶变换光谱仪
迈克尔逊干涉仪
微阶梯反射镜
楔形玻璃条
Keywords
static Fourier transform spectormeter
Michelson interferometer
micro step mirror
wedge glass strip
分类号
TN202 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
静态傅里叶变换光谱仪的微阶梯反射镜设计及制作
张茗璇
高教波
孟合民
张芳
孙科峰
范喆
王希骋
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2017
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