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原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法
被引量：
4
1
作者
陈天星
张向军
孟永钢
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期70-75,共6页
原子力显微镜(AFM)摩擦力的标定是利用AFM测量微载荷下表面间摩擦力需要解决的一个难题。传统的Ogletree楔形标定法没有考虑表面黏着力对摩擦力的影响,当载荷较小时,标定出的摩擦因数与真实值相比偏小。文中在Ogletree法的基础上,推导...
原子力显微镜(AFM)摩擦力的标定是利用AFM测量微载荷下表面间摩擦力需要解决的一个难题。传统的Ogletree楔形标定法没有考虑表面黏着力对摩擦力的影响,当载荷较小时,标定出的摩擦因数与真实值相比偏小。文中在Ogletree法的基础上,推导出一种原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法。利用改进楔形法,分别在标准光栅和聚焦离子束刻蚀(FIB)加工出的斜坡样品上对摩擦力进行了标定。试验结果表明,与常用的标准光栅相比,利用聚焦离子束刻蚀出的样品能够得到更多的有效数据,标定结果更为准确。将改进楔形法和Ogletree法的标定结果进行了比较,结果表明,在载荷较低时(<6μN),改进楔形法更为准确;载荷较高时(>6μN),Ogletree法与改进楔形法得到的结果相近。改进楔形法是一种更为准确的原子力显微镜摩擦力标定的方法。
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关键词
原子力显微镜
摩擦力
标定
楔形标定法
聚焦离子束刻蚀
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职称材料
题名
原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法
被引量：
4
1
作者
陈天星
张向军
孟永钢
机构
清华大学摩擦学国家重点实验室
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期70-75,共6页
基金
国家自然科学基金(50975154
50730007)
国家"973"计划基金(2007CB607604)
文摘
原子力显微镜(AFM)摩擦力的标定是利用AFM测量微载荷下表面间摩擦力需要解决的一个难题。传统的Ogletree楔形标定法没有考虑表面黏着力对摩擦力的影响,当载荷较小时,标定出的摩擦因数与真实值相比偏小。文中在Ogletree法的基础上,推导出一种原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法。利用改进楔形法,分别在标准光栅和聚焦离子束刻蚀(FIB)加工出的斜坡样品上对摩擦力进行了标定。试验结果表明,与常用的标准光栅相比,利用聚焦离子束刻蚀出的样品能够得到更多的有效数据,标定结果更为准确。将改进楔形法和Ogletree法的标定结果进行了比较,结果表明,在载荷较低时(<6μN),改进楔形法更为准确;载荷较高时(>6μN),Ogletree法与改进楔形法得到的结果相近。改进楔形法是一种更为准确的原子力显微镜摩擦力标定的方法。
关键词
原子力显微镜
摩擦力
标定
楔形标定法
聚焦离子束刻蚀
Keywords
atomic force microscopy
friction calibration
wedge method
focused ion beam
分类号
O313.5 [理学—一般力学与力学基础]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法
陈天星
张向军
孟永钢
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
4
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