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正确使用多次测量法提高椭偏测量精度
被引量:
4
1
作者
王芳宁
王植恒
+1 位作者
刘细成
刘洋
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期32-34,共3页
通过分析椭偏测量的复杂性可知椭偏角高精度测量的重要性 ,针对曾认为可提高测量精度的多角度测量法在不恰当地增加入射角时极易破坏求解收敛性得到伪解的情况 ,提出了在测量误差一定和合适数目的多入射角时分别进行单角度多次数测量椭...
通过分析椭偏测量的复杂性可知椭偏角高精度测量的重要性 ,针对曾认为可提高测量精度的多角度测量法在不恰当地增加入射角时极易破坏求解收敛性得到伪解的情况 ,提出了在测量误差一定和合适数目的多入射角时分别进行单角度多次数测量椭偏角来提高薄膜参数精度的方法 ,并对不同搜索范围和不同测量误差时的诸多情况进行了大量模拟计算。此方法能有效避开伪解、得到高精度的稳定真值 ,是提高椭偏测量精度的有效方法之一。
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关键词
多次
测量法
椭
偏
测量
椭圆偏振
薄膜
测量
精度
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职称材料
毫米波椭偏法测量介质的复介电常数
被引量:
1
2
作者
李素萍
王子华
+3 位作者
张友俊
张胜
李铭祥
李英
《上海大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期371-375,共5页
将椭圆偏振测量法(椭偏法)的电磁频谱从原来可见光、红外波段拓展到毫米波段,对毫米波椭偏法测量原理进行理论分析,使用已构建的实验装置进行测量.通过对测量结果的分析,选择合适的入射角,经过大量测试,计算出被测介质材料的复介电常数.
关键词
复介电常数
椭圆偏振
测量法
(
椭
偏
法
)
反射系数
毫米波
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职称材料
光学薄膜参数测试
3
《中国光学》
EI
CAS
2001年第2期67-68,共2页
O484.5 2001021199遗传算法在椭圆偏振测量中的应用=Application ofgenetic algorithm to ellipsometry[刊,中]/彭子龙,李佐宜,胡煜,谭立国,杨晓非(华中理工大学电子科学与技术系.湖北,武汉(430074))//光学技术.—2000,26(3).-277-280...
O484.5 2001021199遗传算法在椭圆偏振测量中的应用=Application ofgenetic algorithm to ellipsometry[刊,中]/彭子龙,李佐宜,胡煜,谭立国,杨晓非(华中理工大学电子科学与技术系.湖北,武汉(430074))//光学技术.—2000,26(3).-277-280详细介绍了椭圆偏振法测量的基本原理和椭偏函数方程的建立,将遗传算法引入到椭偏法测试薄膜的折射率和厚度的计算中,重点分析了各遗传算子的设计。图5表1参6(李瑞琴)
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关键词
遗传算
法
椭圆偏振
法
函数方程
遗传算子
光学技术
折射率
金属薄膜
椭
偏
法
华中理工大学
光学薄膜
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职称材料
题名
正确使用多次测量法提高椭偏测量精度
被引量:
4
1
作者
王芳宁
王植恒
刘细成
刘洋
机构
四川大学物理学院
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期32-34,共3页
文摘
通过分析椭偏测量的复杂性可知椭偏角高精度测量的重要性 ,针对曾认为可提高测量精度的多角度测量法在不恰当地增加入射角时极易破坏求解收敛性得到伪解的情况 ,提出了在测量误差一定和合适数目的多入射角时分别进行单角度多次数测量椭偏角来提高薄膜参数精度的方法 ,并对不同搜索范围和不同测量误差时的诸多情况进行了大量模拟计算。此方法能有效避开伪解、得到高精度的稳定真值 ,是提高椭偏测量精度的有效方法之一。
关键词
多次
测量法
椭
偏
测量
椭圆偏振
薄膜
测量
精度
Keywords
ellipsometry
thin films
multi-times measurement method
precision
分类号
TH744.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
毫米波椭偏法测量介质的复介电常数
被引量:
1
2
作者
李素萍
王子华
张友俊
张胜
李铭祥
李英
机构
上海大学通信与信息工程学院
上海海事大学信息工程学院
上海大学电子物理研究所
出处
《上海大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期371-375,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(60571054)
上海大学研究生创新基金资助项目(SHUCX080153)
上海市教委支出预算资助项目(2008101)
文摘
将椭圆偏振测量法(椭偏法)的电磁频谱从原来可见光、红外波段拓展到毫米波段,对毫米波椭偏法测量原理进行理论分析,使用已构建的实验装置进行测量.通过对测量结果的分析,选择合适的入射角,经过大量测试,计算出被测介质材料的复介电常数.
关键词
复介电常数
椭圆偏振
测量法
(
椭
偏
法
)
反射系数
毫米波
Keywords
complex permittivity
ellipsometry
reflection coefficient
millimeter-wave
分类号
TN015 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
光学薄膜参数测试
3
出处
《中国光学》
EI
CAS
2001年第2期67-68,共2页
文摘
O484.5 2001021199遗传算法在椭圆偏振测量中的应用=Application ofgenetic algorithm to ellipsometry[刊,中]/彭子龙,李佐宜,胡煜,谭立国,杨晓非(华中理工大学电子科学与技术系.湖北,武汉(430074))//光学技术.—2000,26(3).-277-280详细介绍了椭圆偏振法测量的基本原理和椭偏函数方程的建立,将遗传算法引入到椭偏法测试薄膜的折射率和厚度的计算中,重点分析了各遗传算子的设计。图5表1参6(李瑞琴)
关键词
遗传算
法
椭圆偏振
法
函数方程
遗传算子
光学技术
折射率
金属薄膜
椭
偏
法
华中理工大学
光学薄膜
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
正确使用多次测量法提高椭偏测量精度
王芳宁
王植恒
刘细成
刘洋
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
毫米波椭偏法测量介质的复介电常数
李素萍
王子华
张友俊
张胜
李铭祥
李英
《上海大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
光学薄膜参数测试
《中国光学》
EI
CAS
2001
0
在线阅读
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职称材料
已选择
0
条
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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