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弹光和电光级联的组合相位调制型椭偏测量术被引量：9: 1; 作者李克武王黎明 +3 位作者王志斌张瑞薛瑞陈友华《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期690-697,共8页; 利用弹光调制器的偏振调制优势,提出了将弹光调制器和电光调制器级联的组合相位调制型椭偏测量术。该技术采用单光路实现信号探测,通过切换电光调制器的两个工作状态,并结合数字锁相信号处理技术来完成样品反射光的p分量和s分量的幅值... 展开更多; 关键词椭偏仪相位调制型椭偏测量术弹光调制电光调制; 在线阅读下载PDF 职称材料

椭偏光谱测量中椭偏参数的灵敏度分析被引量：2: 2; 作者黄水花周全谭吉春《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期84-88,共5页; 在对椭圆偏振测量的基本原理进行了简单介绍和推导后,讨论了椭圆偏振测量中椭偏参数关于薄膜参数的灵敏度以及入射角对椭偏参数的影响,并进行了具体的仿真分析,得到如下结论:椭偏参数Delta对薄膜光学常数和薄膜厚度变化的灵敏度明显高... 展开更多; 关键词光学薄膜椭偏测量术光学常数灵敏度分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

外差椭偏测量技术及其混频误差分析被引量：1: 3; 作者邓元龙姚建铨 +2 位作者阮双琛孙秀泉王鹏《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期438-440,共3页; 结合激光外差干涉术和反射式椭偏测量技术,设计了一种抗干扰能力强,快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法。着重分析并计算了非线性混频误差对测量精度的影响,其中塞曼激光和波片产生的光束椭偏化是关键因素。定义了评价因子以... 展开更多; 关键词椭偏测量术外差干涉薄膜混频误差评价因子; 在线阅读下载PDF 职称材料

椭偏法测光栅参数的可行性理论研究被引量：9: 4; 作者卢向东傅克祥 +1 位作者王植恒麻建勇《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期29-31,共3页; 提出一种新的光栅测试方法———利用椭偏仪测量光栅的基本参数 ,同时将求解优化问题的正单纯形法用来反演光栅的椭偏方程。首先假设一种光栅模型 ,计算出不同入射角的椭偏参数 (Δ ,Ψ) ,然后加入偏差量不同的高斯噪声 ,把加入噪声后的... 展开更多; 关键词光栅椭偏测量术正弦形光栅正单纯形法参数测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名弹光和电光级联的组合相位调制型椭偏测量术被引量：9: 1; 作者李克武王黎明王志斌张瑞薛瑞陈友华; 机构中北大学信息与通信工程学院山西省光电信息与仪器工程技术研究中心中北大学电子测试技术重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期690-697,共8页; 基金国家国际科技合作专项(No.2013DFR10150) 国家自然科学基金资助项目(No.61127015 +2 种基金 No.61471325 No.61505179 山西省青年科技研究基金资助项目(No.2014021012); 文摘利用弹光调制器的偏振调制优势,提出了将弹光调制器和电光调制器级联的组合相位调制型椭偏测量术。该技术采用单光路实现信号探测,通过切换电光调制器的两个工作状态,并结合数字锁相信号处理技术来完成样品反射光的p分量和s分量的幅值比Ψ和相位差Δ的全范围高精度测量。对提出的新型椭偏测量原理进行了分析,搭建了相应的实验系统。完成了弹光调制器的调制电压峰峰值和相位调制幅值关系的定标,定标结果优于99.05%,然后还采用系统初始偏移值的方法对实验系统进行了校准。最后,运用该系统对石英玻璃反射样品进行了实验分析,得到的Ψ和Δ的测量精度分别优于0.08°和0.81°。实验结果显示系统校准有效地消除了电光调制器和弹光调制器的剩余双折射引入的测量误差;数据采集和处理时间均在ms量级。提出的测量技术具有宽光谱测量、工作稳定、重复度高、测量速率快、成本相对较低和系统便于工业自动化集成的潜在优势。; 关键词椭偏仪相位调制型椭偏测量术弹光调制电光调制; Keywords ellipsometer phase-modulated ellipsometry photo-elastic modulation electro-optic modulation; 分类号 O436.3 [机械工程—光学工程] TH744.2 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名椭偏光谱测量中椭偏参数的灵敏度分析被引量：2: 2; 作者黄水花周全谭吉春; 机构国防科技大学理学院国防科技大学光电科学与工程学院; 出处《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期84-88,共5页; 文摘在对椭圆偏振测量的基本原理进行了简单介绍和推导后,讨论了椭圆偏振测量中椭偏参数关于薄膜参数的灵敏度以及入射角对椭偏参数的影响,并进行了具体的仿真分析,得到如下结论:椭偏参数Delta对薄膜光学常数和薄膜厚度变化的灵敏度明显高于椭偏参数Psi。在椭偏数据处理中,椭偏参数Delta的测量精度直接影响薄膜光学常数和薄膜厚度的拟合精度。为了提高椭偏参数Delta的测量精度,可以选择入射角在膺布儒斯特角附近。所得结论对高精度椭偏测量具有指导意义。; 关键词光学薄膜椭偏测量术光学常数灵敏度分析; Keywords optical film ellipsometry optical constant sensitivity analysis; 分类号 O484.4 [理学—固体物理] O433.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名外差椭偏测量技术及其混频误差分析被引量：1: 3; 作者邓元龙姚建铨阮双琛孙秀泉王鹏; 机构天津大学精密仪器学院激光及光电子研究所深圳大学工程技术学院; 出处《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期438-440,共3页; 基金广东省自然科学基金 ( 031809 ) 广东高校自然科学研究项目(Z02062) 深圳大学校级科研项目。; 文摘结合激光外差干涉术和反射式椭偏测量技术,设计了一种抗干扰能力强,快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法。着重分析并计算了非线性混频误差对测量精度的影响,其中塞曼激光和波片产生的光束椭偏化是关键因素。定义了评价因子以比较非线性混频误差的相对大小,这对外差椭偏纳米薄膜测量系统的设计有指导意义。; 关键词椭偏测量术外差干涉薄膜混频误差评价因子; Keywords ellipsometry heterodyne interferometer film error of frequency mixing assessment factor; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名椭偏法测光栅参数的可行性理论研究被引量：9: 4; 作者卢向东傅克祥王植恒麻建勇; 机构四川大学物理科学与技术学院; 出处《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期29-31,共3页; 文摘提出一种新的光栅测试方法———利用椭偏仪测量光栅的基本参数 ,同时将求解优化问题的正单纯形法用来反演光栅的椭偏方程。首先假设一种光栅模型 ,计算出不同入射角的椭偏参数 (Δ ,Ψ) ,然后加入偏差量不同的高斯噪声 ,把加入噪声后的值 (Δm,Ψm)作为模拟测量值 ,采用正单纯形法进行求解。验证得知由这种方法求得的光栅参数接近假设的光栅参数值。反演结果表明 ,在扩大搜索范围时 ,仍可以在一定精度范围内得到准确解。; 关键词光栅椭偏测量术正弦形光栅正单纯形法参数测量; Keywords ellipsometry,sinusoidal gratings,normal simplex algorithm; 分类号 TN25 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	弹光和电光级联的组合相位调制型椭偏测量术	李克武王黎明王志斌张瑞薛瑞陈友华	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	9	在线阅读下载PDF 职称材料
2	椭偏光谱测量中椭偏参数的灵敏度分析	黄水花周全谭吉春	《应用光学》 CAS CSCD 北大核心	2009	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	外差椭偏测量技术及其混频误差分析	邓元龙姚建铨阮双琛孙秀泉王鹏	《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心	2005	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	椭偏法测光栅参数的可行性理论研究	卢向东傅克祥王植恒麻建勇	《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心	2003	9	在线阅读下载PDF 职称材料