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题名椭偏测厚法在薄膜包装材料参数测试中的应用
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作者
杨皋
杨奕
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机构
株洲工学院
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出处
《包装工程》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期9-11,共3页
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文摘
作者对椭偏测厚法数据应用微电脑进行了处理与研究。采用一种求近似解的方法 ,编程运算得出薄膜材料的折射率与厚度。这种方法应用面广、速度快、精度高 ,所得结果令人满意。
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关键词
薄膜包装材料
参数测试
椭偏测厚法
程序结构
膜层
表面过程
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Keywords
Ellipsometric
Programme structure
Facial process
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分类号
TB484
[一般工业技术—包装工程]
TB487
[一般工业技术—包装工程]
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题名分振幅斯托克斯参量的椭偏测厚方法
被引量：5
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作者
程敏熙
何振江
黄佐华
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机构
华南师范大学物理与电信工程学院
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第7期100-106,共7页
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基金
广东省科技项目(C60109)
(2006B2901020)
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文摘
为了实现对纳米级薄膜的快速测量,运用了基于分振幅斯托克斯参量测量的椭偏测厚的方法,对该方法中的原理、计算和参量测量方法进行研究,并构建了实验系统。首先,设计了一个光路在同一平面上的分振幅斯托克斯参量测量装置,用偏振片和1/4波片组合产生已知的偏振态来定标该装置,用4个性能一致的光电探测器实现快速测量光束的斯托克斯参量。然后用实验系统测量纳米级薄膜样品的入射和反射偏振光的斯托克斯参量,求得椭偏参量ψ和?,再求得薄膜样品的厚度d和折射率n。讨论了斯托克斯参量测量的误差问题,最后与常用的消光法椭偏仪作了对比测量实验。测量结果与椭偏消光法比较,d和n的相关系数均大于85%,说明两仪器有很好的一致性。实验研究表明,该方法通过测量入射光和反射光的偏振态,能快速测量纳米级薄膜的参数。系统构建容易,调节方便,定标简单。
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关键词
斯托克斯参量
分振幅
椭偏参量
薄膜测量
椭偏测厚法
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Keywords
stokes parameter
division-of-amplitude
ellipsometric parameter
film testing
ellipsometer method
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分类号
O436.3
[机械工程—光学工程]
TH744
[机械工程—光学工程]
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