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题名椭圆偏振光谱测量技术及其在薄膜材料研究中的应用
被引量：15
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作者
朱绪丹
张荣君
郑玉祥
王松有
陈良尧
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机构
复旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第6期1195-1234,共40页
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基金
国家自然科学基金资助项目(No.11674062,No.11174058,No.61775042,No.61575048,No.69425004,No.69178007,No.19174013)~~
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文摘
椭圆偏振光谱测量技术通过测量线偏振光经材料表面反射后光的相对振幅与相位改变量计算得到椭偏参数,再通过椭偏参数的拟合获取样品光学性质。由于其具有非接触、高灵敏度、非破坏性等优势,广泛应用于物理、化学、材料科学和微电子等方面,是一种不可或缺的光学测量手段。本文首先简要回顾了该技术的发展历程,接着阐述了传统椭偏仪的基本原理,按照测量原理的不同可将椭偏仪分为消光式和光度式。随后,本文简单介绍了一些常用椭偏仪的基本架构、测量原理和相关应用,并比较了他们的优缺点,重点展示了复旦大学研制的双重傅立叶变换红外椭偏光谱系统。然后按照椭偏参数处理的基本步骤:测量、建模与拟合3个方面,阐述了其过程,详细剖析了参数拟合所使用的各种光学色散模型,同时通过应用实例介绍了各色散模型的应用情况。最后,对未来椭偏技术的发展方向进行了展望。
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关键词
椭偏技术
椭偏仪
椭偏参数拟合
光学色散模型
材料光学特性
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Keywords
spectroscopic ellipsometry
ellipsometer
ellipsometric parameters fitting
optical dispersion models
material optical properties
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分类号
O484.5
[理学—固体物理]
O433.1
[机械工程—光学工程]
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