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基于模式理论光栅椭偏参数反演的数值模拟被引量：7: 1; 作者麻健勇傅克祥 +1 位作者王植恒卢向东《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期42-44,共3页; 将一种广泛用于求解系统优化问题的方法———正单纯形法 ,求解光栅的椭偏方程。首先 ,利用求解光栅的傅立叶模式理论对TE和TM波的复反射系数进行求解 ,然后计算出其相应的椭偏参数 (Δ ,Ψ) ,并在该值的基础上加入不同偏差的随机高斯噪... 展开更多; 关键词光栅椭偏参数正单纯形法数值模拟正单纯形法高斯噪声反演傅立叶模式理论; 在线阅读下载PDF 职称材料

同时旋转起偏器和检偏器的红外椭圆偏振光谱仪研制被引量：9: 2; 作者黄志明金世荣 +4 位作者陈诗伟陈敏辉史国良陈良尧褚君浩《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期321-326,共6页; 研制成测量材料光学特性的红外椭圆偏振光谱仪，其测量波长范围为２．５～１２．５μｍ，入射角度在２０°～９０°连续可变．系统数据采集、前放自动增益控制、入射角度和波长设置及扫描均由计算机自动控制．给出了金反射率和... 展开更多; 关键词红外椭圆偏振光谱仪椭偏参数光学常数; 在线阅读下载PDF 职称材料

热退火对ZnO薄膜表面形貌与椭偏特性的影响被引量：2: 3; 作者刘磁辉林碧霞 +3 位作者王晓平朱俊杰钟声傅竹西《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期151-155,共5页; 利用原子力显微镜(AFM)和椭偏仪对溅射制备的硅基ZnO薄膜的热退火表面形貌与椭偏特性进行了研究。结果发现:未退火或低温退火(≤850℃)薄膜的形貌呈现较弱的各向异性,晶粒尺寸大小较为均匀,尺寸约为50 nm。当经高温退火后,ZnO薄膜的晶... 展开更多; 关键词氧化锌薄膜材料热退火原子力显微镜椭偏测量半导体材料椭偏参数薄膜结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

椭圆偏振光谱测量技术及其在薄膜材料研究中的应用被引量：15: 4; 作者朱绪丹张荣君 +2 位作者郑玉祥王松有陈良尧《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1195-1234,共40页; 椭圆偏振光谱测量技术通过测量线偏振光经材料表面反射后光的相对振幅与相位改变量计算得到椭偏参数,再通过椭偏参数的拟合获取样品光学性质。由于其具有非接触、高灵敏度、非破坏性等优势,广泛应用于物理、化学、材料科学和微电子等方... 展开更多; 关键词椭偏技术椭偏仪椭偏参数拟合光学色散模型材料光学特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于模式理论光栅椭偏参数反演的数值模拟被引量：7: 1; 作者麻健勇傅克祥王植恒卢向东; 机构四川大学物理科学和技术学院; 出处《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期42-44,共3页; 文摘将一种广泛用于求解系统优化问题的方法———正单纯形法 ,求解光栅的椭偏方程。首先 ,利用求解光栅的傅立叶模式理论对TE和TM波的复反射系数进行求解 ,然后计算出其相应的椭偏参数 (Δ ,Ψ) ,并在该值的基础上加入不同偏差的随机高斯噪声 ,将加入噪声后的值(Δm,Ψm)作为模拟测量值 ,最后使用优化算法进行反演。通过对几种常用面形光栅椭偏参数的数值模拟 ,一方面表明傅立叶模式理论计算光栅的椭偏参数不仅精度高 ,而且速度快 ;另一方面表明利用正单纯形法得到的光栅参数值很接近于正演时假设的参数值。; 关键词光栅椭偏参数正单纯形法数值模拟正单纯形法高斯噪声反演傅立叶模式理论; Keywords Normal Simple Algorithm,Ellipsometric parameters,inversion,Fourier modal theory; 分类号 TN253 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名同时旋转起偏器和检偏器的红外椭圆偏振光谱仪研制被引量：9: 2; 作者黄志明金世荣陈诗伟陈敏辉史国良陈良尧褚君浩; 机构中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期321-326,共6页; 基金国家自然科学基金上海市应用物理研究中心资助; 文摘研制成测量材料光学特性的红外椭圆偏振光谱仪，其测量波长范围为２．５～１２．５μｍ，入射角度在２０°～９０°连续可变．系统数据采集、前放自动增益控制、入射角度和波长设置及扫描均由计算机自动控制．给出了金反射率和ＧａＡｓ体材料折射率椭偏测量，并与其它方法进行了对比。; 关键词红外椭圆偏振光谱仪椭偏参数光学常数; Keywords infrared spectroscopic ellipsometer, ellipsometric parameter, optical constant.; 分类号 TH744.123 [机械工程—光学工程] TN216 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名热退火对ZnO薄膜表面形貌与椭偏特性的影响被引量：2: 3; 作者刘磁辉林碧霞王晓平朱俊杰钟声傅竹西; 机构中国科学技术大学物理系; 出处《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期151-155,共5页; 基金国家自然科学基金重大研究计划重点课题(90201038); 文摘利用原子力显微镜(AFM)和椭偏仪对溅射制备的硅基ZnO薄膜的热退火表面形貌与椭偏特性进行了研究。结果发现:未退火或低温退火(≤850℃)薄膜的形貌呈现较弱的各向异性,晶粒尺寸大小较为均匀,尺寸约为50 nm。当经高温退火后,ZnO薄膜的晶粒尺寸明显增大,同时伴随晶粒尺寸分布非均匀化,较大的尺寸可达400 nm,而较小的尺寸仅为50 nm。此外,椭偏测量表明:椭偏参数在不同的退火温区的变化呈现明显差别;当退火温度高于850℃时,薄膜的结构有明显的变化。; 关键词氧化锌薄膜材料热退火原子力显微镜椭偏测量半导体材料椭偏参数薄膜结构; Keywords ZnO thin film annealing behavior atomic force microscopy ellipsometry; 分类号 O472.1 [理学—半导体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名椭圆偏振光谱测量技术及其在薄膜材料研究中的应用被引量：15: 4; 作者朱绪丹张荣君郑玉祥王松有陈良尧; 机构复旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系; 出处《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1195-1234,共40页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.11674062,No.11174058,No.61775042,No.61575048,No.69425004,No.69178007,No.19174013)~~; 文摘椭圆偏振光谱测量技术通过测量线偏振光经材料表面反射后光的相对振幅与相位改变量计算得到椭偏参数,再通过椭偏参数的拟合获取样品光学性质。由于其具有非接触、高灵敏度、非破坏性等优势,广泛应用于物理、化学、材料科学和微电子等方面,是一种不可或缺的光学测量手段。本文首先简要回顾了该技术的发展历程,接着阐述了传统椭偏仪的基本原理,按照测量原理的不同可将椭偏仪分为消光式和光度式。随后,本文简单介绍了一些常用椭偏仪的基本架构、测量原理和相关应用,并比较了他们的优缺点,重点展示了复旦大学研制的双重傅立叶变换红外椭偏光谱系统。然后按照椭偏参数处理的基本步骤:测量、建模与拟合3个方面,阐述了其过程,详细剖析了参数拟合所使用的各种光学色散模型,同时通过应用实例介绍了各色散模型的应用情况。最后,对未来椭偏技术的发展方向进行了展望。; 关键词椭偏技术椭偏仪椭偏参数拟合光学色散模型材料光学特性; Keywords spectroscopic ellipsometry ellipsometer ellipsometric parameters fitting optical dispersion models material optical properties; 分类号 O484.5 [理学—固体物理] O433.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于模式理论光栅椭偏参数反演的数值模拟	麻健勇傅克祥王植恒卢向东	《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心	2003	7	在线阅读下载PDF 职称材料
2	同时旋转起偏器和检偏器的红外椭圆偏振光谱仪研制	黄志明金世荣陈诗伟陈敏辉史国良陈良尧褚君浩	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	1998	9	在线阅读下载PDF 职称材料
3	热退火对ZnO薄膜表面形貌与椭偏特性的影响	刘磁辉林碧霞王晓平朱俊杰钟声傅竹西	《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	椭圆偏振光谱测量技术及其在薄膜材料研究中的应用	朱绪丹张荣君郑玉祥王松有陈良尧	《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	15	在线阅读下载PDF 职称材料