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椭偏法细丝在线监测系统设计及数据分析
被引量：
2
1
作者
张小绵
赵志超
《中南工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第6期640-643,共4页
椭圆偏振测量是一种具有原子层级灵敏度的无破坏性光学测量技术 .作者论证了当入射光波长λ及入射光偏振态确定时 ,对应于半径为R的细丝 ,其衍射光强不仅与散射角 φ有关 ,而且与散射场光强分布表现为m阶序列傅里叶变换的序列阶数m有关 ...
椭圆偏振测量是一种具有原子层级灵敏度的无破坏性光学测量技术 .作者论证了当入射光波长λ及入射光偏振态确定时 ,对应于半径为R的细丝 ,其衍射光强不仅与散射角 φ有关 ,而且与散射场光强分布表现为m阶序列傅里叶变换的序列阶数m有关 ,因而选择 φ和m为测量参数 ;测量系统在连续采样的每一步进中密集采样 ,采用对同一数据点进行重复测量取均值的方法提高采样精度 ;为了提高信噪比 ,对采样数据用曲线拟合最小二乘法进行二次滤波 ;对实测数据进行分析 ,结果表明偏振散射特征及其对散射光场强度分布的影响与散射光在传播过程中偏振度的径向分布有关 .
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关键词
在线监测
数据采集
椭偏分析
偏
振化方向
衍射图形
数字滤波
计算机
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职称材料
题名
椭偏法细丝在线监测系统设计及数据分析
被引量：
2
1
作者
张小绵
赵志超
机构
深圳大学信息工程学院
深圳大学理学院
出处
《中南工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第6期640-643,共4页
基金
深圳市科研基金资助项目 (ZZD2 0 0 0 12 )
文摘
椭圆偏振测量是一种具有原子层级灵敏度的无破坏性光学测量技术 .作者论证了当入射光波长λ及入射光偏振态确定时 ,对应于半径为R的细丝 ,其衍射光强不仅与散射角 φ有关 ,而且与散射场光强分布表现为m阶序列傅里叶变换的序列阶数m有关 ,因而选择 φ和m为测量参数 ;测量系统在连续采样的每一步进中密集采样 ,采用对同一数据点进行重复测量取均值的方法提高采样精度 ;为了提高信噪比 ,对采样数据用曲线拟合最小二乘法进行二次滤波 ;对实测数据进行分析 ,结果表明偏振散射特征及其对散射光场强度分布的影响与散射光在传播过程中偏振度的径向分布有关 .
关键词
在线监测
数据采集
椭偏分析
偏
振化方向
衍射图形
数字滤波
计算机
Keywords
on line monitoring
data collection
ellipsometry analysis
polarized direction
diffraction graphics
digital filtering
分类号
TH744.2 [机械工程—光学工程]
TP274.5 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
椭偏法细丝在线监测系统设计及数据分析
张小绵
赵志超
《中南工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
2
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职称材料
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参考文献
引证文献
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