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精密检测平台定位误差自适应补偿技术
被引量：
1
1
作者
张东旭
毕果
+3 位作者
郭隐彪
王健
王詹帅
潘日
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期115-120,共6页
为了实现光学元件精密检测平台定位误差的自适应补偿,以保证在不同的检测环境中平台能够自行保持高精度,提出了基于检测环境监测和支持向量回归机的定位误差自适应补偿方法。首先,以多组检测环境中温度、湿度和气压的具体测量值作为训...
为了实现光学元件精密检测平台定位误差的自适应补偿,以保证在不同的检测环境中平台能够自行保持高精度,提出了基于检测环境监测和支持向量回归机的定位误差自适应补偿方法。首先,以多组检测环境中温度、湿度和气压的具体测量值作为训练数据,利用支持向量回归机建立定位误差最大值的预测模型,进行最大值预测。然后,将最大值同温度、湿度、气压等环境因素和位置信息一起作为训练数据,迭代使用支持向量回归机,建立任意位置定位误差预测模型。最后,将预测到的定位误差值传入检测平台控制器中进行补偿。应用雷尼绍激光干涉仪,温度、湿度和气压传感器等仪器设备,在光学元件精密检测平台上进行了具体实验。实验结果表明该技术切实可行,预测数据与实测数据差值绝对值的平均值为0.88μm,Pearson相关系数的平方为0.99,自适应补偿后平均定位误差由43μm降为1.4μm。
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关键词
精密
检测
平台
检测环境监测
支持向量回归机
定位误差
自适应补偿
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职称材料
题名
精密检测平台定位误差自适应补偿技术
被引量：
1
1
作者
张东旭
毕果
郭隐彪
王健
王詹帅
潘日
机构
厦门大学机电工程系
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期115-120,共6页
基金
国家自然科学基金项目(51570343)
福建省自然科学基金项目(2012J05098)
文摘
为了实现光学元件精密检测平台定位误差的自适应补偿,以保证在不同的检测环境中平台能够自行保持高精度,提出了基于检测环境监测和支持向量回归机的定位误差自适应补偿方法。首先,以多组检测环境中温度、湿度和气压的具体测量值作为训练数据,利用支持向量回归机建立定位误差最大值的预测模型,进行最大值预测。然后,将最大值同温度、湿度、气压等环境因素和位置信息一起作为训练数据,迭代使用支持向量回归机,建立任意位置定位误差预测模型。最后,将预测到的定位误差值传入检测平台控制器中进行补偿。应用雷尼绍激光干涉仪,温度、湿度和气压传感器等仪器设备,在光学元件精密检测平台上进行了具体实验。实验结果表明该技术切实可行,预测数据与实测数据差值绝对值的平均值为0.88μm,Pearson相关系数的平方为0.99,自适应补偿后平均定位误差由43μm降为1.4μm。
关键词
精密
检测
平台
检测环境监测
支持向量回归机
定位误差
自适应补偿
Keywords
precision measurement platform
monitoring measurement environment
support vector regression
positioning error
adaptive compensation
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
TP274.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
精密检测平台定位误差自适应补偿技术
张东旭
毕果
郭隐彪
王健
王詹帅
潘日
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
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