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梳齿式电容加速度传感器等效并联电阻对器件输出产生的影响（英文）被引量：1: 1; 作者曲昊彭倍 +2 位作者曾建周吴于慧君《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第10期1483-1485,共3页; 梳齿式电容加速度传感器检测电容的测量结果会受到除感应电容之外的其他等效电路参数的影响。梳齿式电容加速度传感器的结构与多层瓷片电容(MLCC)的结构类似,因此可以借鉴多层瓷片电容中等效电路参数的研究方法对电容加速度传感器中的... 展开更多; 关键词 MEMS 梳齿式电容加速度传感器 Pspice电路仿真电荷放大电路等效并联电阻; 在线阅读下载PDF 职称材料

不等高梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器被引量：9: 2; 作者许高斌朱华铭陈兴《电子测量与仪器学报》 CSCD 2011年第8期704-710,共7页; 利用ICP体硅深加工,本文设计分析了一种三轴三质量块的电容式加速度传感器。水平方向采用定齿偏置配置梳齿式,垂直方向采用不等高对称梳齿式;对称的布局方式,解决了各个轴向的相互干扰问题。利用有限元分析工具对设计进行模拟,证实了设... 展开更多; 关键词电容式加速度传感器三轴不等高梳齿 MEMS; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于BP+NSGA-Ⅱ梳齿电容压力传感器结构多参数优化被引量：1: 3; 作者梁瑞梅李平华 +2 位作者刘阳苗家齐庄须叶《仪器仪表学报》北大核心 2025年第3期316-325,共10页; 针对梳齿电容式压力传感器存在灵敏度低、灵敏度与量程难以同时优化的问题,提出了一种新型梁-膜结构梳齿电容式压力传感器,并采用曲线拟合与BP+NSGA-Ⅱ结合的方法对传感器进行优化。在膜片上表面添加锚点和悬臂梁构成杠杆放大结构,活动... 展开更多; 关键词电容压力传感器 NSGA-Ⅱ 梳齿优化; 在线阅读下载PDF 职称材料

寄生电容对电容式加速度传感器输出电压的影响被引量：5: 4; 作者曲昊彭倍 +2 位作者彭鹏周吴于慧君《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2018年第6期15-18,63,共5页; 电容检测是保证电容式加速度传感器正常工作的重要条件之一。传感器中敏感结构间的寄生电容会对电容检测产生影响。文中建立了传感器敏感结构的等效模型,分析了寄生电容对输出电压产生的影响。文中首先分析了电容式加速度传感器中检测... 展开更多; 关键词 MEMS 梳齿式电容加速度传感器电荷放大电路寄生电容; 在线阅读下载PDF 职称材料

梳齿式微机械力平衡加速度计被引量：12: 5; 作者马欣龙王永梁《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2002年第3期55-60,共6页; 讨论了一种梳齿式微机械加速度计,介绍了表头微机构的特点和系统工作原理。通过对加速度计机械模型的分析,计算得出了加速度计的主要设计性能指标。另外还比较完整的提供了加速度计各项性能试验的数据,试验结果与理论分析能很好地吻合,... 展开更多; 关键词微机械系统梳齿式加速度计力平衡惯性仪表传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

梳齿式微机械加速度计静态模型的辨识被引量：1: 6; 作者王伟王永梁《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2002年第5期38-41,共4页; 讨论了一种梳齿式微机械加速度计的静态模型。从加速度计的静态输入入手,求得加速度计平衡时的输出关系式,还讨论了敏感输入轴垂直的横向加速度输入分量对输出的影响。在理论分析的基础上,根据离心机试验结果求得加速度计的静态模型。; 关键词梳齿式微机械加速度计电容传感器静态模型辨识; 在线阅读下载PDF 职称材料

梳齿式微机械陀螺支撑系统的结构仿真与分析被引量：3: 7; 作者李林李锦明张文栋《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期1144-1147,共4页; 微机械陀螺是利用哥氏(wriolis)效应测量角速度的一种角速率传感器。提出一种梳齿式微机械陀螺结构,并且使用有限元仿真软件ANSYS对陀螺中的关键部件———支承梁进行结构仿真,在仿真过程中分别采用了整体建模和简化建模的方法对支撑梁... 展开更多; 关键词角速率传感器微机械陀螺梳齿式有限元分析弹性系数; 在线阅读下载PDF 职称材料

抗高过载微机械陀螺仪研究综述被引量：12: 8; 作者曹慧亮张英杰 +3 位作者寇志伟石云波唐军刘俊《河北科技大学学报》 CAS 2018年第4期289-298,共10页; 惯性制导系统在制导炮弹中有着极其重要的作用,其中,微机械陀螺仪作为惯性制导系统的核心器件,其抗高过载能力直接制约着惯性制导系统在抗高过载环境中的应用。首先,对炮射膛内高过载环境进行了建模和量化,概括了微机械陀螺结构的高过... 展开更多; 关键词传感器技术高过载微机械陀螺梳齿电容四波腹振动硅材料; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名梳齿式电容加速度传感器等效并联电阻对器件输出产生的影响（英文）被引量：1: 1; 作者曲昊彭倍曾建周吴于慧君; 机构电子科技大学机械电子工程学院; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第10期1483-1485,共3页; 基金 supported in part by NSAF(U1530132) National Natural Science Foundation of China(51505068,51575090); 文摘梳齿式电容加速度传感器检测电容的测量结果会受到除感应电容之外的其他等效电路参数的影响。梳齿式电容加速度传感器的结构与多层瓷片电容(MLCC)的结构类似,因此可以借鉴多层瓷片电容中等效电路参数的研究方法对电容加速度传感器中的等效电路参数进行研究。本文将对梳齿式电容加速度传感器检测结构中的等效电路参数进行建模,并分析这些等效电路参数对测试结果产生的影响。; 关键词 MEMS 梳齿式电容加速度传感器 Pspice电路仿真电荷放大电路等效并联电阻; Keywords MEMS comb capacitive accelerometer pspice circuit simulation charge amplify circuit equivalent parallel resistor; 分类号 TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名不等高梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器被引量：9: 2; 作者许高斌朱华铭陈兴; 机构安徽省微电子机械系统工程技术研究中心合肥工业大学电子科学与应用物理学院; 出处《电子测量与仪器学报》 CSCD 2011年第8期704-710,共7页; 基金安徽省科技攻关计划项目(编号:10120106005)资助项目中央高校基本科研业务费(编号:2010HGZY0004)资助项目安徽省自然科学基金(编号:090414199)资助项目; 文摘利用ICP体硅深加工,本文设计分析了一种三轴三质量块的电容式加速度传感器。水平方向采用定齿偏置配置梳齿式,垂直方向采用不等高对称梳齿式;对称的布局方式,解决了各个轴向的相互干扰问题。利用有限元分析工具对设计进行模拟,证实了设计的合理性和可行性。X、Y轴向和Z轴向的灵敏度分别为1.2 fF/g和1.0 fF/g,量程为±50 g。; 关键词电容式加速度传感器三轴不等高梳齿 MEMS; Keywords Capacitive acceleration sensor tri-aixs accelerometer different height combs MEMS; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于BP+NSGA-Ⅱ梳齿电容压力传感器结构多参数优化被引量：1: 3; 作者梁瑞梅李平华刘阳苗家齐庄须叶; 机构山东理工大学机械工程学院; 出处《仪器仪表学报》北大核心 2025年第3期316-325,共10页; 基金泰山学者青年专家项目(tsqn201909108) 山东省自然基金面上项目(ZR2021MF042)资助。; 文摘针对梳齿电容式压力传感器存在灵敏度低、灵敏度与量程难以同时优化的问题,提出了一种新型梁-膜结构梳齿电容式压力传感器,并采用曲线拟合与BP+NSGA-Ⅱ结合的方法对传感器进行优化。在膜片上表面添加锚点和悬臂梁构成杠杆放大结构,活动梳齿连接在杠杆输出端,通过杠杆的放大原理增加了活动梳齿的位移,提高了传感器的灵敏度。针对数据集维度高、计算量大的问题,利用MATLAB对结构与性能参数进行数据拟合和定量分析。通过对锚点、悬臂梁等结构几何参数与性能指标的相关性进行量化分析,筛选出对传感器性能影响显著的关键参数,并去除冗余变量,降低了数据集的复杂性。在确保结果准确性不退化的前提下,通过降维方法将数据集从14维降至6维,既提高了数据采集效率,又降低了算力损耗。对降维后的数据集利用BP神经网络进行训练,并结合NSGA-Ⅱ算法实现了灵敏度与量程的协同优化,增强了输出结果的可靠性。结果表明,在0~50 kPa的压力范围内,优化后的传感器灵敏度为0.106 pF/kPa,提高了30.4%,非线性误差为0.4%F.S.。该优化方法为多参数复杂结构的优化提供了参考,所设计的传感器具有高灵敏度和低非线性,为MEMS压力传感器的研发提供了新思路。; 关键词电容压力传感器 NSGA-Ⅱ 梳齿优化; Keywords capacitive pressure sensors NSGA-Ⅱ comb tooth optimisation; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH812 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名寄生电容对电容式加速度传感器输出电压的影响被引量：5: 4; 作者曲昊彭倍彭鹏周吴于慧君; 机构电子科技大学机械电子工程学院; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2018年第6期15-18,63,共5页; 文摘电容检测是保证电容式加速度传感器正常工作的重要条件之一。传感器中敏感结构间的寄生电容会对电容检测产生影响。文中建立了传感器敏感结构的等效模型,分析了寄生电容对输出电压产生的影响。文中首先分析了电容式加速度传感器中检测电路的工作原理。其次,根据敏感结构的组成分析待测电容以及寄生电容的分布情况,以及寄生电容对电容检测结果的影响。最后,通过实验验证理论分析的结果。; 关键词 MEMS 梳齿式电容加速度传感器电荷放大电路寄生电容; Keywords MEMS Comb Capacitive Accelerometer Charge Amplify Circuit Stray Capacitance; 分类号 TH824 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名梳齿式微机械力平衡加速度计被引量：12: 5; 作者马欣龙王永梁; 机构清华大学精密仪器与机械学系; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2002年第3期55-60,共6页; 文摘讨论了一种梳齿式微机械加速度计,介绍了表头微机构的特点和系统工作原理。通过对加速度计机械模型的分析,计算得出了加速度计的主要设计性能指标。另外还比较完整的提供了加速度计各项性能试验的数据,试验结果与理论分析能很好地吻合,说明加速度计的性能指标基本达到设计要求,证明这种加速度计的设计是成功的。; 关键词微机械系统梳齿式加速度计力平衡惯性仪表传感器; Keywords MEMS multi-finger microaccelerometer force balance; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] U666.122 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名梳齿式微机械加速度计静态模型的辨识被引量：1: 6; 作者王伟王永梁; 机构清华大学精密仪器与机械学系; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2002年第5期38-41,共4页; 文摘讨论了一种梳齿式微机械加速度计的静态模型。从加速度计的静态输入入手,求得加速度计平衡时的输出关系式,还讨论了敏感输入轴垂直的横向加速度输入分量对输出的影响。在理论分析的基础上,根据离心机试验结果求得加速度计的静态模型。; 关键词梳齿式微机械加速度计电容传感器静态模型辨识; Keywords micromechanical accelerometer capacitive sensor static model identification; 分类号 TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名梳齿式微机械陀螺支撑系统的结构仿真与分析被引量：3: 7; 作者李林李锦明张文栋; 机构中北大学电子科学与技术系仪器与动态测试教育部重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期1144-1147,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(50375050); 文摘微机械陀螺是利用哥氏(wriolis)效应测量角速度的一种角速率传感器。提出一种梳齿式微机械陀螺结构,并且使用有限元仿真软件ANSYS对陀螺中的关键部件———支承梁进行结构仿真,在仿真过程中分别采用了整体建模和简化建模的方法对支撑梁的弹性系数进行了分析比较,最终得出可以采用简化模型代替整体模型对微机械陀螺中的支撑梁进行分析的结论,为陀螺支撑系统的仿真和分析提出了新的思路。; 关键词角速率传感器微机械陀螺梳齿式有限元分析弹性系数; Keywords angular rate sensor micromechanical gyroscope comb finite element analysis elastic coefficient; 分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名抗高过载微机械陀螺仪研究综述被引量：12: 8; 作者曹慧亮张英杰寇志伟石云波唐军刘俊; 机构中北大学电子测试技术国防科技重点实验室; 出处《河北科技大学学报》 CAS 2018年第4期289-298,共10页; 基金国家自然科学基金(51727808 51705477) +3 种基金毁伤技术重点学科实验室开放基金(DXMBJJ2017-15); 文摘惯性制导系统在制导炮弹中有着极其重要的作用,其中,微机械陀螺仪作为惯性制导系统的核心器件,其抗高过载能力直接制约着惯性制导系统在抗高过载环境中的应用。首先,对炮射膛内高过载环境进行了建模和量化,概括了微机械陀螺结构的高过载失效机理。其次,结合国内外相关机构公开发表的研究成果,从微机械陀螺仪的抗高过载特性的角度出发,介绍了不同测控方式、不同结构形式、不同结构材料、不同工作原理的微机械陀螺仪的抗冲击能力。最后,对相关报道和论文进行了总结和归纳,提出应从驱动-检测方式、合理的吸能释能结构配置、工作原理、新型结构材料、多级系统缓冲等方面设计和改进高过载微机械陀螺结构,以提高陀螺的抗高过载能力。; 关键词传感器技术高过载微机械陀螺梳齿电容四波腹振动硅材料; Keywords sensor technology high overload MEMS gyroscope comb capacitance four antinodes vibration silicon material; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	梳齿式电容加速度传感器等效并联电阻对器件输出产生的影响（英文）	曲昊彭倍曾建周吴于慧君	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2016	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	不等高梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器	许高斌朱华铭陈兴	《电子测量与仪器学报》 CSCD	2011	9	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于BP+NSGA-Ⅱ梳齿电容压力传感器结构多参数优化	梁瑞梅李平华刘阳苗家齐庄须叶	《仪器仪表学报》北大核心	2025	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	寄生电容对电容式加速度传感器输出电压的影响	曲昊彭倍彭鹏周吴于慧君	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2018	5	在线阅读下载PDF 职称材料
5	梳齿式微机械力平衡加速度计	马欣龙王永梁	《中国惯性技术学报》 EI CSCD	2002	12	在线阅读下载PDF 职称材料
6	梳齿式微机械加速度计静态模型的辨识	王伟王永梁	《中国惯性技术学报》 EI CSCD	2002	1	在线阅读下载PDF 职称材料
7	梳齿式微机械陀螺支撑系统的结构仿真与分析	李林李锦明张文栋	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2006	3	在线阅读下载PDF 职称材料
8	抗高过载微机械陀螺仪研究综述	曹慧亮张英杰寇志伟石云波唐军刘俊	《河北科技大学学报》 CAS	2018	12	在线阅读下载PDF 职称材料