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梳齿式微加速度计闭环系统性能的分析与优化
被引量：
13
1
作者
吴天准
董景新
+1 位作者
刘云峰
赵长德
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期285-289,共5页
为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则,通过静平衡方程得到闭环系统输出公式,由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式。分析了机械和电气参数变化对性能的影响,根据性能指...
为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则,通过静平衡方程得到闭环系统输出公式,由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式。分析了机械和电气参数变化对性能的影响,根据性能指标提出参数的优化准则和设计公式。
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关键词
微机电系统
梳齿式微加速度计
性能分析
量
程
稳定性
线性度
分辨率
参数设计
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职称材料
题名
梳齿式微加速度计闭环系统性能的分析与优化
被引量：
13
1
作者
吴天准
董景新
刘云峰
赵长德
机构
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期285-289,共5页
文摘
为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则,通过静平衡方程得到闭环系统输出公式,由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式。分析了机械和电气参数变化对性能的影响,根据性能指标提出参数的优化准则和设计公式。
关键词
微机电系统
梳齿式微加速度计
性能分析
量
程
稳定性
线性度
分辨率
参数设计
Keywords
Micro-electro mechanical system（MEMS） Multi-finger microaccelerometer Performance analysis Input range Stability Linearity error Resolution Parameter design
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
梳齿式微加速度计闭环系统性能的分析与优化
吴天准
董景新
刘云峰
赵长德
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
13
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