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题名梳状电极电容式SO_2气体传感器
被引量：1
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作者
王道
陈霭番
武少华
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机构
北京工业大学环境与能源工程学院
北京化工大学应用化学系
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2001年第4期265-270,共6页
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基金
北京市自然科学基金资助项目 (编号 8992 0 0 5 )
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文摘
二氧化硫气体传感器由一组梳状电极和做为电介质覆盖其上的 ,对二氧化硫敏感的有机改性硅酸酯薄膜组成 .梳状电极电容的基材为二氧化硅 ,铝电极以薄膜覆在其上 ,电极的厚度为 1 .6μm电极宽度和间隙为 1 5μm,电极的长度为 1 2 0 0μm,电极总数为 40 0个 .采用溶胶 -凝胶法和自旋涂覆技术形成气敏涂层 .在室温和 1 0 0 Hz,1 k Hz,1 0 k Hz下 ,测定了梳状电极电容器的电容 ,探讨了二氧化硫浓度 ,测量频率和涂膜厚度对传感器灵敏度的影响 .在本实验条件下 ,经有机改性的 N,N-二乙基氨丙基
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关键词
二氧化硫
气体传感器
梳状电极电容
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Keywords
sulfur dioxide
chemical sensor
interdigitated capacitances
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名有机敏感材料梳状电极电容SO_(2)传感器研究
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作者
李丽
王道
刘显武
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机构
北京工业大学环境与能源工程学院
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出处
《郑州轻工业学院学报》
2000年第4期24-26,共3页
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基金
北京市自然科学基金资助项目(8992005)。
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文摘
利用SO2能与有机物中的某些基团形成可逆的弱加和物、改变电介质的介电常数、使电容发生变化的特点，制备出新型SO2气体传感器.这种传感器对SO2的灵敏度和选择性较高，具有良好的再现性和稳定性，响应时间较短，具有广泛的应用前景.
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关键词
传感器
二氧化硫
气敏器件
有机敏感材料
梳状电极电容
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Keywords
sensors
sulfur dioxide
gas sensitive devices
organic sensing material
interdigital capacitors
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分类号
TN389
[电子电信—物理电子学]
TP212.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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