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一种基于体硅工艺的微机械可调节椭圆低通滤波器 被引量:2
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作者 缪旻 卜景鹏 赵立葳 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期486-489,共4页
提出了一种椭圆低通可调滤波器的调谐方法,即通过调节第一传输零点(FTZ)来改变3dB截止频率Tc。解析计算表明,小范围内改变FTZ既可调节Tc和滚降速率,又能保证通带和阻带的特性基本不变。作者提出FTZ的移动可由串联谐振支路处容性MEMS开... 提出了一种椭圆低通可调滤波器的调谐方法,即通过调节第一传输零点(FTZ)来改变3dB截止频率Tc。解析计算表明,小范围内改变FTZ既可调节Tc和滚降速率,又能保证通带和阻带的特性基本不变。作者提出FTZ的移动可由串联谐振支路处容性MEMS开关的分布加载来实现,并基于微扰法求出器件中心谐振频率及特性的变化规律。本文相应设计了Tc为16GHz的7阶步进式滤波器。高频有限元全波仿真表明,每加载一个MEMS开关,Tc改变约1.5GHz,损耗特性则几乎不变。这证明了理论分析方法有较高的准确性,而且器件设计具有数字化调节能力和较出色的微波性能。这种方法也可用于高通和带通滤波器。论文还介绍了器件的体硅微加工流程及MEMS开关的初步加工结果。 展开更多
关键词 射频微机电系统 可调谐滤波器 椭圆低通滤波器 第一传输零点 频率移动 体硅微机械加工工艺
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电磁型平面微电机及其制作工艺 被引量:23
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作者 郭占社 吴一辉 +1 位作者 宣明 王淑荣 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第2期120-124,共5页
为得到一种尺寸小、输出力矩大、转速高的直流可调速微电机,提出了一种利用微机械加工工艺制作微电机的方法。定子和转子都做成平面结构,定子线圈采用了平面型、无槽式集中绕组;线圈之间采用了三相星形连接方式,采用了微机械LIGA工艺和... 为得到一种尺寸小、输出力矩大、转速高的直流可调速微电机,提出了一种利用微机械加工工艺制作微电机的方法。定子和转子都做成平面结构,定子线圈采用了平面型、无槽式集中绕组;线圈之间采用了三相星形连接方式,采用了微机械LIGA工艺和硅微机械加工工艺;转子采用钕铁硼永磁材料,进行轴向充磁,成辐射状间隔分布。装配时转子分布于定子两侧,不但减小了电机尺寸,还有利于定子的散热。把装配完毕的微电机接通三相半控控制电路对其转速和力矩进行了测试,测试结果表明,电机运转平稳,输出力矩大。 展开更多
关键词 电磁型平面微电机 制作工艺 LIGA工艺 微机械加工工艺
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基于窄带水平集算法的三维表面工艺模拟系统(英文)
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作者 李宁 周再发 +1 位作者 黄庆安 余嘉程 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期500-505,共6页
表面工艺是MEMS制造的一种重要方法,实现其加工过程的计算机仿真可以为相关MEMS工艺研究和器件开发提供技术支持,减少相关MEMS产品的开发成本,缩短其开发周期。基于窄带水平集算法完成了表面加工工艺的三维表面工艺模拟系统。窄带水平... 表面工艺是MEMS制造的一种重要方法,实现其加工过程的计算机仿真可以为相关MEMS工艺研究和器件开发提供技术支持,减少相关MEMS产品的开发成本,缩短其开发周期。基于窄带水平集算法完成了表面加工工艺的三维表面工艺模拟系统。窄带水平集算法稳定,计算速度快处理拓扑变形非常灵活,本文将其应用于该软件仿真系统中,并进行了一列的仿真实验,将仿真结果与实际的流片电镜图对比,验证了仿真系统的精确性。 展开更多
关键词 MEMS 仿真系统 三维表面微机械加工工艺 窄带水平集
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硅微ZnO压电薄膜传声器的研制 被引量:5
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作者 杨楚威 黄歆 +4 位作者 李俊红 解述 魏建辉 马军 汪承灏 《应用声学》 CSCD 北大核心 2003年第5期1-4,共4页
本文介绍了一种利用ZnO压电薄膜为换能器的硅微压电薄膜传声器的制备,并且对微机械加工工艺过程进行了较为详细的描述。本文对传声器的部分结构进行改进,与通常设计相比较大幅提高了传声器的性能,1000Hz基准频率的灵敏度达到-85dB(相对... 本文介绍了一种利用ZnO压电薄膜为换能器的硅微压电薄膜传声器的制备,并且对微机械加工工艺过程进行了较为详细的描述。本文对传声器的部分结构进行改进,与通常设计相比较大幅提高了传声器的性能,1000Hz基准频率的灵敏度达到-85dB(相对于1V/Pa),500Hz到10000Hz的频率响应的平坦度在±3dB范围内。 展开更多
关键词 硅微压电薄膜传声器 换能器 ZnO 微机械加工工艺 性能 频率 灵敏度 平坦度 微机电系统
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单晶硅振动环陀螺仪的制作 被引量:5
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作者 张明 陈德勇 王军波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期2454-2460,共7页
为了简化电容式振动环陀螺仪的制作方法,进一步提高成品率,提出了一种结合反应离子深刻蚀(DRIE)与阳极键合的陀螺仪制备方法。分析了振动环陀螺的工作原理,指出了传统工艺存在的缺陷;对该制作方法所采用的工艺流程进行了详细设计,分析... 为了简化电容式振动环陀螺仪的制作方法,进一步提高成品率,提出了一种结合反应离子深刻蚀(DRIE)与阳极键合的陀螺仪制备方法。分析了振动环陀螺的工作原理,指出了传统工艺存在的缺陷;对该制作方法所采用的工艺流程进行了详细设计,分析了不同工艺参数对陀螺仪性能的影响,并依据分析和实验结果改进了工艺流程和参数。最后,采用该方法制作了振动环式微机械陀螺仪并进行了测试。实验结果表明,采用该方法能成功制作电容间隙为3μm、厚度为80μm的振动环式陀螺仪微结构。与传统的制作方法相比,工艺流程大为简化,掩模板数量从7块减少到2块,满足器件性能可靠、工艺简单、成品率高的要求。 展开更多
关键词 微机械加工工艺 深刻蚀 阳极键合 振动环陀螺
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FEM analyses for influences of stress-chemical solution on THM coupling in dual-porosity rock mass 被引量:3
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作者 张玉军 杨朝帅 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2012年第4期1138-1147,共10页
The models of stress corrosion, pressure solution and flee-face dissolution/precipitation were introduced. Taking a hypothetical nuclear waste repository in an unsaturated dual-porosity rock mass as the calculation ob... The models of stress corrosion, pressure solution and flee-face dissolution/precipitation were introduced. Taking a hypothetical nuclear waste repository in an unsaturated dual-porosity rock mass as the calculation objective, four cases were designed 1) the fracture aperture is a function of stress corrosion, pressure solution and free-face dissolution/precipitation; 2) the fracture aperture changes with stress corrosion and pressure solution; 3) the fracture aperture changes with pressure solution and free-face dissolution/precipitation; 4) the fracture aperture is only a function of pressure solution, and the matrix porosity is also a function of stress in these four cases. Then, the corresponding two-dimensional FEM analyses for the coupled thermo-hydro-mechanical processes were carried out. The results show that the effects of stress corrosion are more prominent than those of pressure solution and free-face dissolution/precipitation, and the fracture aperture and relevant permeability caused by the stress corrosion arc only about 1/5 and 1/1000 of the corresponding values created by the pressure solution and free-face dissolution/precipitation, respectively Under the action of temperature field from released heat, the negative pore and fracture pressures in the computation domain rise continuously, and are inversely proportional to the sealing of fracture aperture. The vector fields of flow velocity of fracture water in the cases with and without considering stress corrosion are obviously different. The differences between the magnitudes and distributions of stresses within the rock mass are very small in all cases. 展开更多
关键词 stress corrosion pressure solution flee-face dissolution/precipitation dual-porosity medium thermo-hydro-mechanicalcoupling FEM analysis
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