期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
6
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
单层球形网壳梁膜结构设计及力学试验研究
1
作者
李大磊
代朝磊
李峰
《郑州大学学报(工学版)》
CAS
北大核心
2015年第4期105-108,共4页
对单层球形网壳梁膜结构进行分析,根据网壳的失效形式确定网壳结构的强度和局部稳定性设计准则,利用有限元分析软件对风场和结构场流固耦合分析,并通过优化设计得到杆件最优截面尺寸.通过对原理样机网壳结构进行多点加载试验,得到最大...
对单层球形网壳梁膜结构进行分析,根据网壳的失效形式确定网壳结构的强度和局部稳定性设计准则,利用有限元分析软件对风场和结构场流固耦合分析,并通过优化设计得到杆件最优截面尺寸.通过对原理样机网壳结构进行多点加载试验,得到最大位移点随载荷变化曲线,并把试验结果与仿真结果进行对比分析,对仿真计算模型进行验证,为同类型单层球形网壳的设计与分析提供理论基础.
展开更多
关键词
梁膜结构
局部稳定性
流固耦合
优化设计
多点加载
在线阅读
下载PDF
职称材料
MEMS梁膜结构流量传感器设计与实现
2
作者
陈佩
赵玉龙
田边
《实验流体力学》
CSCD
北大核心
2017年第2期34-38,共5页
流量是工业检测重要参数之一。流量检测技术随着微机械电子系统(MEMS)技术的发展与应用,向着小型化、高精度、智能化的方向发展。基于MEMS技术设计了一种梁膜结合的压差式流量传感器结构,分析了其基本工作原理,采用硅微加工工艺对传感...
流量是工业检测重要参数之一。流量检测技术随着微机械电子系统(MEMS)技术的发展与应用,向着小型化、高精度、智能化的方向发展。基于MEMS技术设计了一种梁膜结合的压差式流量传感器结构,分析了其基本工作原理,采用硅微加工工艺对传感器进行了流片加工,然后对封装完成的传感器样机进行了气流和水流静态性能测试。气流测试灵敏度为0.3508mV/(ms^(-1))~2,测试基本精度为0.5885%FS;水流测试灵敏度为41.5241mV/(ms^(-1))~2,测试基本精度为0.9323%FS。结果表明,所设计传感器具有较高的灵敏度与基本精度,从而能完成流量信号的检测。
展开更多
关键词
微机电系统
流量
传感器
梁膜结构
微加工
在线阅读
下载PDF
职称材料
索杆梁膜结构找形方法研究
被引量:
1
3
作者
张明
张海宾
《山西建筑》
2008年第17期89-91,共3页
介绍了索膜、索杆、索梁结构找形方法的起源原理及特点,并通过对各种结构找形方法的对比分析,分析了各种方法的优缺点,得出了一些有意义的结论,以提高人们对索杆梁膜结构体系的认识。
关键词
索杆
梁膜结构
找形分析
建筑
结构
形式
在线阅读
下载PDF
职称材料
基于梁-膜结构的MEMS微压传感器设计与制备
4
作者
张林
胡宗达
+2 位作者
张坤
李宁
秦芸
《微纳电子技术》
CAS
2024年第11期114-120,共7页
针对微机电系统(MEMS)微压传感器无法同时提高灵敏度与线性度的问题,设计了一种新型的梁-膜结构,与常规的C型和E型结构比较,该结构具有灵敏度高、易加工的特点。根据所研究的量程,设计了压敏电阻尺寸和阻值。通过调整结构梁厚度、敏感...
针对微机电系统(MEMS)微压传感器无法同时提高灵敏度与线性度的问题,设计了一种新型的梁-膜结构,与常规的C型和E型结构比较,该结构具有灵敏度高、易加工的特点。根据所研究的量程,设计了压敏电阻尺寸和阻值。通过调整结构梁厚度、敏感膜片尺寸等参数,并使用仿真软件建立力学模型,得到输出灵敏度和线性度等仿真结果,以优化梁-膜结构设计。采用绝缘体上硅(SOI)晶圆作为衬底,通过标准MEMS芯片生产流程实现微压芯片的制备,并采用引线键合的方式完成了芯片的封装,形成了传感器。测试结果显示在0~1 kPa量程范围内,微压传感器的灵敏度可达4.5 mV/(V·kPa),非线性误差为0.11%,其输出电压噪声波动在±9 Pa以内。
展开更多
关键词
微压传感器
梁
-
膜结构
高灵敏度
高线性度
低噪声
在线阅读
下载PDF
职称材料
耐高温微型压力传感器设计
被引量:
5
5
作者
范元斌
赵玉龙
赵立波
《测井技术》
CAS
CSCD
2004年第3期237-239,共3页
在A0 3号耐高温压力传感器结构设计上采用梁膜结合压力传递结构 ,使被测高温流体不能直接作用在SOI芯片固态压阻力敏感元件上 ,从而避免了被测流体的瞬时高温冲击 ( 2 0 0 0℃ )。给出了传感器结构设计理论和设计结果及SOI芯片固态压阻...
在A0 3号耐高温压力传感器结构设计上采用梁膜结合压力传递结构 ,使被测高温流体不能直接作用在SOI芯片固态压阻力敏感元件上 ,从而避免了被测流体的瞬时高温冲击 ( 2 0 0 0℃ )。给出了传感器结构设计理论和设计结果及SOI芯片固态压阻力敏感元件的制作方法。对设计制作的耐高温微型压力传感器进行了高温实验。测试结果表明 ,这种新型结构的耐高温微型压力传感器具有较好的静态特性。
展开更多
关键词
压力传感器
SOI芯片
梁膜结构
耐高温
在线阅读
下载PDF
职称材料
低量程高精度应变式压力传感器研制
6
作者
于炜
杨梅
湛华海
《实验流体力学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第4期69-72,共4页
为了提高低量程应变式压力传感器的精度,将测力轮毂应变梁与带中央硬芯的测压膜片相结合,构成了新颖的梁膜一体的弹性元件。通过有限元方法对弹性元件的结构参数进行匹配,找到了最佳参数值,并制作实物加以验证,表明所选参数是适当的,使...
为了提高低量程应变式压力传感器的精度,将测力轮毂应变梁与带中央硬芯的测压膜片相结合,构成了新颖的梁膜一体的弹性元件。通过有限元方法对弹性元件的结构参数进行匹配,找到了最佳参数值,并制作实物加以验证,表明所选参数是适当的,使传感器的精度得到了大幅度提高,满足了低量程压力范围内高精度测量的要求。同时该传感器具有结构简单、易于加工装配、成本低廉的特点,符合传感器技术发展的需要。
展开更多
关键词
传感器
梁
-
膜结构
有限元法
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
单层球形网壳梁膜结构设计及力学试验研究
1
作者
李大磊
代朝磊
李峰
机构
郑州大学机械工程学院
出处
《郑州大学学报(工学版)》
CAS
北大核心
2015年第4期105-108,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51305136)
文摘
对单层球形网壳梁膜结构进行分析,根据网壳的失效形式确定网壳结构的强度和局部稳定性设计准则,利用有限元分析软件对风场和结构场流固耦合分析,并通过优化设计得到杆件最优截面尺寸.通过对原理样机网壳结构进行多点加载试验,得到最大位移点随载荷变化曲线,并把试验结果与仿真结果进行对比分析,对仿真计算模型进行验证,为同类型单层球形网壳的设计与分析提供理论基础.
关键词
梁膜结构
局部稳定性
流固耦合
优化设计
多点加载
Keywords
beam membrane structure
local stability
fluid solid coupling
optimization design
loading test
分类号
TU312 [建筑科学—结构工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
MEMS梁膜结构流量传感器设计与实现
2
作者
陈佩
赵玉龙
田边
机构
长安大学工程机械学院
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
出处
《实验流体力学》
CSCD
北大核心
2017年第2期34-38,共5页
文摘
流量是工业检测重要参数之一。流量检测技术随着微机械电子系统(MEMS)技术的发展与应用,向着小型化、高精度、智能化的方向发展。基于MEMS技术设计了一种梁膜结合的压差式流量传感器结构,分析了其基本工作原理,采用硅微加工工艺对传感器进行了流片加工,然后对封装完成的传感器样机进行了气流和水流静态性能测试。气流测试灵敏度为0.3508mV/(ms^(-1))~2,测试基本精度为0.5885%FS;水流测试灵敏度为41.5241mV/(ms^(-1))~2,测试基本精度为0.9323%FS。结果表明,所设计传感器具有较高的灵敏度与基本精度,从而能完成流量信号的检测。
关键词
微机电系统
流量
传感器
梁膜结构
微加工
Keywords
MEMS
flow
sensor
beam-membrane structure
micromachining
分类号
TH814 [机械工程—精密仪器及机械]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
索杆梁膜结构找形方法研究
被引量:
1
3
作者
张明
张海宾
机构
山东信莱钢结构建筑设计有限公司
出处
《山西建筑》
2008年第17期89-91,共3页
文摘
介绍了索膜、索杆、索梁结构找形方法的起源原理及特点,并通过对各种结构找形方法的对比分析,分析了各种方法的优缺点,得出了一些有意义的结论,以提高人们对索杆梁膜结构体系的认识。
关键词
索杆
梁膜结构
找形分析
建筑
结构
形式
Keywords
rod-cable beam membrane structure, form-finding analysis, building construction form
分类号
TU399 [建筑科学—结构工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于梁-膜结构的MEMS微压传感器设计与制备
4
作者
张林
胡宗达
张坤
李宁
秦芸
机构
成都凯天电子股份有限公司
出处
《微纳电子技术》
CAS
2024年第11期114-120,共7页
基金
国家重点研发计划项目(SQ2023YFB3200276)。
文摘
针对微机电系统(MEMS)微压传感器无法同时提高灵敏度与线性度的问题,设计了一种新型的梁-膜结构,与常规的C型和E型结构比较,该结构具有灵敏度高、易加工的特点。根据所研究的量程,设计了压敏电阻尺寸和阻值。通过调整结构梁厚度、敏感膜片尺寸等参数,并使用仿真软件建立力学模型,得到输出灵敏度和线性度等仿真结果,以优化梁-膜结构设计。采用绝缘体上硅(SOI)晶圆作为衬底,通过标准MEMS芯片生产流程实现微压芯片的制备,并采用引线键合的方式完成了芯片的封装,形成了传感器。测试结果显示在0~1 kPa量程范围内,微压传感器的灵敏度可达4.5 mV/(V·kPa),非线性误差为0.11%,其输出电压噪声波动在±9 Pa以内。
关键词
微压传感器
梁
-
膜结构
高灵敏度
高线性度
低噪声
Keywords
micro-pressure sensor
beam-diaphragm structure
high sensitivity
high linearity
low noise
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
耐高温微型压力传感器设计
被引量:
5
5
作者
范元斌
赵玉龙
赵立波
机构
西安交通大学维纳仪器有限责任公司
出处
《测井技术》
CAS
CSCD
2004年第3期237-239,共3页
基金
20 0 2年 863 .MEMS重大专项
文摘
在A0 3号耐高温压力传感器结构设计上采用梁膜结合压力传递结构 ,使被测高温流体不能直接作用在SOI芯片固态压阻力敏感元件上 ,从而避免了被测流体的瞬时高温冲击 ( 2 0 0 0℃ )。给出了传感器结构设计理论和设计结果及SOI芯片固态压阻力敏感元件的制作方法。对设计制作的耐高温微型压力传感器进行了高温实验。测试结果表明 ,这种新型结构的耐高温微型压力传感器具有较好的静态特性。
关键词
压力传感器
SOI芯片
梁膜结构
耐高温
Keywords
pressure sensor
SOI
cantilever beam and diaphragm
high temperature-resistant
分类号
TH823.2 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
低量程高精度应变式压力传感器研制
6
作者
于炜
杨梅
湛华海
机构
中国空气动力研究与发展中心
出处
《实验流体力学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第4期69-72,共4页
文摘
为了提高低量程应变式压力传感器的精度,将测力轮毂应变梁与带中央硬芯的测压膜片相结合,构成了新颖的梁膜一体的弹性元件。通过有限元方法对弹性元件的结构参数进行匹配,找到了最佳参数值,并制作实物加以验证,表明所选参数是适当的,使传感器的精度得到了大幅度提高,满足了低量程压力范围内高精度测量的要求。同时该传感器具有结构简单、易于加工装配、成本低廉的特点,符合传感器技术发展的需要。
关键词
传感器
梁
-
膜结构
有限元法
Keywords
transducer
beam-film structure
finite element method
分类号
V211.7 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
V211.74 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单层球形网壳梁膜结构设计及力学试验研究
李大磊
代朝磊
李峰
《郑州大学学报(工学版)》
CAS
北大核心
2015
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
MEMS梁膜结构流量传感器设计与实现
陈佩
赵玉龙
田边
《实验流体力学》
CSCD
北大核心
2017
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
索杆梁膜结构找形方法研究
张明
张海宾
《山西建筑》
2008
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
基于梁-膜结构的MEMS微压传感器设计与制备
张林
胡宗达
张坤
李宁
秦芸
《微纳电子技术》
CAS
2024
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
耐高温微型压力传感器设计
范元斌
赵玉龙
赵立波
《测井技术》
CAS
CSCD
2004
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
6
低量程高精度应变式压力传感器研制
于炜
杨梅
湛华海
《实验流体力学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部