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单层球形网壳梁膜结构设计及力学试验研究
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作者 李大磊 代朝磊 李峰 《郑州大学学报(工学版)》 CAS 北大核心 2015年第4期105-108,共4页
对单层球形网壳梁膜结构进行分析,根据网壳的失效形式确定网壳结构的强度和局部稳定性设计准则,利用有限元分析软件对风场和结构场流固耦合分析,并通过优化设计得到杆件最优截面尺寸.通过对原理样机网壳结构进行多点加载试验,得到最大... 对单层球形网壳梁膜结构进行分析,根据网壳的失效形式确定网壳结构的强度和局部稳定性设计准则,利用有限元分析软件对风场和结构场流固耦合分析,并通过优化设计得到杆件最优截面尺寸.通过对原理样机网壳结构进行多点加载试验,得到最大位移点随载荷变化曲线,并把试验结果与仿真结果进行对比分析,对仿真计算模型进行验证,为同类型单层球形网壳的设计与分析提供理论基础. 展开更多
关键词 梁膜结构 局部稳定性 流固耦合 优化设计 多点加载
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MEMS梁膜结构流量传感器设计与实现
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作者 陈佩 赵玉龙 田边 《实验流体力学》 CSCD 北大核心 2017年第2期34-38,共5页
流量是工业检测重要参数之一。流量检测技术随着微机械电子系统(MEMS)技术的发展与应用,向着小型化、高精度、智能化的方向发展。基于MEMS技术设计了一种梁膜结合的压差式流量传感器结构,分析了其基本工作原理,采用硅微加工工艺对传感... 流量是工业检测重要参数之一。流量检测技术随着微机械电子系统(MEMS)技术的发展与应用,向着小型化、高精度、智能化的方向发展。基于MEMS技术设计了一种梁膜结合的压差式流量传感器结构,分析了其基本工作原理,采用硅微加工工艺对传感器进行了流片加工,然后对封装完成的传感器样机进行了气流和水流静态性能测试。气流测试灵敏度为0.3508mV/(ms^(-1))~2,测试基本精度为0.5885%FS;水流测试灵敏度为41.5241mV/(ms^(-1))~2,测试基本精度为0.9323%FS。结果表明,所设计传感器具有较高的灵敏度与基本精度,从而能完成流量信号的检测。 展开更多
关键词 微机电系统 流量 传感器 梁膜结构 微加工
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索杆梁膜结构找形方法研究 被引量:1
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作者 张明 张海宾 《山西建筑》 2008年第17期89-91,共3页
介绍了索膜、索杆、索梁结构找形方法的起源原理及特点,并通过对各种结构找形方法的对比分析,分析了各种方法的优缺点,得出了一些有意义的结论,以提高人们对索杆梁膜结构体系的认识。
关键词 索杆梁膜结构 找形分析 建筑结构形式
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基于梁-膜结构的MEMS微压传感器设计与制备
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作者 张林 胡宗达 +2 位作者 张坤 李宁 秦芸 《微纳电子技术》 CAS 2024年第11期114-120,共7页
针对微机电系统(MEMS)微压传感器无法同时提高灵敏度与线性度的问题,设计了一种新型的梁-膜结构,与常规的C型和E型结构比较,该结构具有灵敏度高、易加工的特点。根据所研究的量程,设计了压敏电阻尺寸和阻值。通过调整结构梁厚度、敏感... 针对微机电系统(MEMS)微压传感器无法同时提高灵敏度与线性度的问题,设计了一种新型的梁-膜结构,与常规的C型和E型结构比较,该结构具有灵敏度高、易加工的特点。根据所研究的量程,设计了压敏电阻尺寸和阻值。通过调整结构梁厚度、敏感膜片尺寸等参数,并使用仿真软件建立力学模型,得到输出灵敏度和线性度等仿真结果,以优化梁-膜结构设计。采用绝缘体上硅(SOI)晶圆作为衬底,通过标准MEMS芯片生产流程实现微压芯片的制备,并采用引线键合的方式完成了芯片的封装,形成了传感器。测试结果显示在0~1 kPa量程范围内,微压传感器的灵敏度可达4.5 mV/(V·kPa),非线性误差为0.11%,其输出电压噪声波动在±9 Pa以内。 展开更多
关键词 微压传感器 -膜结构 高灵敏度 高线性度 低噪声
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耐高温微型压力传感器设计 被引量:5
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作者 范元斌 赵玉龙 赵立波 《测井技术》 CAS CSCD 2004年第3期237-239,共3页
在A0 3号耐高温压力传感器结构设计上采用梁膜结合压力传递结构 ,使被测高温流体不能直接作用在SOI芯片固态压阻力敏感元件上 ,从而避免了被测流体的瞬时高温冲击 ( 2 0 0 0℃ )。给出了传感器结构设计理论和设计结果及SOI芯片固态压阻... 在A0 3号耐高温压力传感器结构设计上采用梁膜结合压力传递结构 ,使被测高温流体不能直接作用在SOI芯片固态压阻力敏感元件上 ,从而避免了被测流体的瞬时高温冲击 ( 2 0 0 0℃ )。给出了传感器结构设计理论和设计结果及SOI芯片固态压阻力敏感元件的制作方法。对设计制作的耐高温微型压力传感器进行了高温实验。测试结果表明 ,这种新型结构的耐高温微型压力传感器具有较好的静态特性。 展开更多
关键词 压力传感器 SOI芯片 梁膜结构 耐高温
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低量程高精度应变式压力传感器研制
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作者 于炜 杨梅 湛华海 《实验流体力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期69-72,共4页
为了提高低量程应变式压力传感器的精度,将测力轮毂应变梁与带中央硬芯的测压膜片相结合,构成了新颖的梁膜一体的弹性元件。通过有限元方法对弹性元件的结构参数进行匹配,找到了最佳参数值,并制作实物加以验证,表明所选参数是适当的,使... 为了提高低量程应变式压力传感器的精度,将测力轮毂应变梁与带中央硬芯的测压膜片相结合,构成了新颖的梁膜一体的弹性元件。通过有限元方法对弹性元件的结构参数进行匹配,找到了最佳参数值,并制作实物加以验证,表明所选参数是适当的,使传感器的精度得到了大幅度提高,满足了低量程压力范围内高精度测量的要求。同时该传感器具有结构简单、易于加工装配、成本低廉的特点,符合传感器技术发展的需要。 展开更多
关键词 传感器 -膜结构 有限元法
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