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恒压激励式压力传感器模拟补偿工艺效能提升
1
作者
陈海卫
陈仁军
高维烨
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第8期120-123,127,共5页
硅压阻式压力传感器输出受温度变化影响。由于压力传感器实际工作环境的温度变化范围很大,需要采用温度补偿方法来抑制环境温度对传感器特性的影响。当前所采用的模拟式压力传感器调试工艺较为依赖人工操作,费时费力。本文给出了一种针...
硅压阻式压力传感器输出受温度变化影响。由于压力传感器实际工作环境的温度变化范围很大,需要采用温度补偿方法来抑制环境温度对传感器特性的影响。当前所采用的模拟式压力传感器调试工艺较为依赖人工操作,费时费力。本文给出了一种针对恒压激励下的硅压阻式压力传感器桌面模型补偿调试工艺,通过搭建补偿电路、元器件等桌面模型,以测试数据结合桌面模型计算的调试工艺提高压力传感器模拟补偿过程中的调试效率及合格率。1000余支压力传感器的验证结果表明,基于桌面模型计算的调试一次合格率大于99%、调试效率提升400%以上,过程能力指数(CPK)为1.77,具备较强的工程化推广前景。
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关键词
MEMS
硅压阻式压力传感器
模拟补偿
桌面模型计算
调试工艺
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职称材料
题名
恒压激励式压力传感器模拟补偿工艺效能提升
1
作者
陈海卫
陈仁军
高维烨
机构
中国航发控制系统研究所
陆军装备部驻上海地区航空军事代表室
出处
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第8期120-123,127,共5页
文摘
硅压阻式压力传感器输出受温度变化影响。由于压力传感器实际工作环境的温度变化范围很大,需要采用温度补偿方法来抑制环境温度对传感器特性的影响。当前所采用的模拟式压力传感器调试工艺较为依赖人工操作,费时费力。本文给出了一种针对恒压激励下的硅压阻式压力传感器桌面模型补偿调试工艺,通过搭建补偿电路、元器件等桌面模型,以测试数据结合桌面模型计算的调试工艺提高压力传感器模拟补偿过程中的调试效率及合格率。1000余支压力传感器的验证结果表明,基于桌面模型计算的调试一次合格率大于99%、调试效率提升400%以上,过程能力指数(CPK)为1.77,具备较强的工程化推广前景。
关键词
MEMS
硅压阻式压力传感器
模拟补偿
桌面模型计算
调试工艺
Keywords
MEMS
silicon piezoresistive pressure sensor
analog compensation
desktop model calculation
debugging process
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
恒压激励式压力传感器模拟补偿工艺效能提升
陈海卫
陈仁军
高维烨
《传感器与微系统》
北大核心
2025
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