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题名一种求取复杂结构金属的互连电容的新算法
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作者
杭京伟
张建成
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机构
广西大学信息与计算科学学院
广西大学机械工程学院
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出处
《科学技术与工程》
北大核心
2019年第24期185-190,共6页
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基金
国家自然科学基金(11672077)资助
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文摘
为了求解导体间产生的寄生电容,提出一种新型随机算法,能快速并准确地计算出二维和三维复杂结构金属间的互连电容。设计了以方形随机漫步为基础的停留介面法,可用于处理含有斜边导体和多层介电质结构;给出了电容矩阵的详细推导公式,应用口字型积分法求取了电场值;分析了取样点的布置和并行架构;最后与商业软件求出的寄生电容结果进行了对比,并分析了并行计算和串行计算的效率。结果表明,求解的寄生电容误差范围都可达业界要求3%以内;在32核计算机下,并行计算时间比串行计算时间快30倍。由此可见,此新算法可用于计算二维和三维复杂结构,且不受限于矩形或梯形导体,且也不受限于介电质层数,可高效的计算出导体间产生的寄生电容。
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关键词
随机漫步法
寄生电容
停留介面法
格林函数数值特征化
并行计算
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Keywords
random walk
parasitic capacitance
stay at interface method
Green's function numerical characterization
parallel computing
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分类号
TN453
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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