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适用于原子力显微镜先进扫描模式的学习控制系统被引量：9: 1; 作者方勇纯张玉东贾宁《控制理论与应用》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期557-562,共6页; 原子力显微镜(AFM)是进行纳米测量和操作的一种重要工具.针对原子力显微镜系统,论文提出了一种基于学习控制的先进扫描模式.具体而言,首先构造了一种适用于AFM的学习控制系统,它由对于扫描管动态特性的最优逆补偿环节和对于样品表面特... 展开更多; 关键词原子力显微镜快速扫描模式最优逆控制学习控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

原子力显微镜管式扫描器运动学建模与误差分析被引量：2: 2; 作者田孝军王越超 +1 位作者董再励席宁《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期928-933,共6页; 针对样本扫描模式原子力显微镜,对其管式扫描器-样本-探针系统进行了运动学分析,建立了该系统的运动学模型,该模型表明:对于给定原子力显微镜扫描器,样本上与探针接触点的横向和纵向位移取决于探针尖端相对于扫描管轴心的偏置量、所加电... 展开更多; 关键词样本扫描模式原子力显微镜管式扫描器运动学模型扫描范围误差交叉耦合误差; 在线阅读下载PDF 职称材料

IPC-208B型原子力显微镜大范围扫描三维驱动系统研究: 3; 作者刘安平刘济春《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第16期1936-1940,共5页; 设计了一种IPC-208B型原子力显微镜大范围扫描的三维镜体结构,原子力显微镜通过该结构中的步进驱动系统、压电陶瓷扫描器、微悬臂探针及其调节装置共同实现探针针尖的精确位移控制与扫描检测,该镜体采用样本扫描设置突破了压电陶瓷对扫... 展开更多; 关键词原子力显微镜纳米检测镜体结构样本扫描; 在线阅读下载PDF 职称材料

AFM设定值对测量准确度和探针寿命的影响被引量：5: 4; 作者唐莹曹丛 +1 位作者张健赵东升《计量学报》 CSCD 北大核心 2019年第S01期17-22,共6页; 研究了不同模式下设定值对AFM成像质量、测量准确度、样品及探针磨损情况的影响.结果表明,接触模式下弯曲量设定越大,探针与样品相互作用力越大,噪声减小,成像质量提高,但是会对样品和探针造成较大磨损,降低测试测量准确度,一般表面起... 展开更多; 关键词计量学原子力显微镜扫描模式设定值探针磨损; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名适用于原子力显微镜先进扫描模式的学习控制系统被引量：9: 1; 作者方勇纯张玉东贾宁; 机构南开大学信息技术科学学院机器人与信息自动化研究所; 出处《控制理论与应用》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期557-562,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(60875055) 教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-06-0210); 文摘原子力显微镜(AFM)是进行纳米测量和操作的一种重要工具.针对原子力显微镜系统,论文提出了一种基于学习控制的先进扫描模式.具体而言,首先构造了一种适用于AFM的学习控制系统,它由对于扫描管动态特性的最优逆补偿环节和对于样品表面特性的学习算法两部分组成.然后,针对测量过程中扫描线之间的偏移,通过将常见的比例-积分控制算法与这种学习控制相结合,实现了一种基于学习算法的先进扫描模式.论文将这种模式应用于周期性样品来测试其性能,仿真和实验结果表明它可以显著提高测量的速度和精度,同时将样品与探针针尖的距离控制在一个合理的范围之内,以避免损坏样品或探针.这种先进扫描模式可以应用于对快速生物过程的实时监测,同时也可以用来完成重复刻写等纳米操作.; 关键词原子力显微镜快速扫描模式最优逆控制学习控制; Keywords atomic-force-microscopy advanced scanning mode optimal inverse-control learning control; 分类号 TP273.22 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名原子力显微镜管式扫描器运动学建模与误差分析被引量：2: 2; 作者田孝军王越超董再励席宁; 机构中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室辽宁工学院锦州; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期928-933,共6页; 基金国家863计划(2002AA422210)资助项目。; 文摘针对样本扫描模式原子力显微镜,对其管式扫描器-样本-探针系统进行了运动学分析,建立了该系统的运动学模型,该模型表明:对于给定原子力显微镜扫描器,样本上与探针接触点的横向和纵向位移取决于探针尖端相对于扫描管轴心的偏置量、所加电压(或名义扫描范围)及样本厚度。据此模型,对由于弯曲运动模式所产生的两种重要误差—交叉耦合误差及扫描范围误差进行了定量分析,分析表明:扫描范围误差主要受样本厚度及名义扫描范围影响,而Z向交叉耦合误差主要受探针偏置量及名义扫描范围影响,实验验证了所建立的运动学模型和误差计算公式的正确性;另外,还提出了相应的减小误差的方法。; 关键词样本扫描模式原子力显微镜管式扫描器运动学模型扫描范围误差交叉耦合误差; Keywords Sample-scanning AFM Tube scanner Kinematics model Scanning size error Gross-coupling error; 分类号 TH742 [机械工程—光学工程] TP215 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名IPC-208B型原子力显微镜大范围扫描三维驱动系统研究: 3; 作者刘安平刘济春; 机构重庆大学中国空气动力研究与发展中心超高速研究所; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第16期1936-1940,共5页; 基金中央高校基本科研业务费资助(CDJRC10100003); 文摘设计了一种IPC-208B型原子力显微镜大范围扫描的三维镜体结构,原子力显微镜通过该结构中的步进驱动系统、压电陶瓷扫描器、微悬臂探针及其调节装置共同实现探针针尖的精确位移控制与扫描检测,该镜体采用样本扫描设置突破了压电陶瓷对扫描范围的限制,可使扫描范围达25mm×25mm,采用装配该三维驱动系统的原子力显微镜进行了云母以及聚酰胺检测实验,实验结果表明,所设计的IPC-208B型大范围扫描三维驱动系统检测精度可达到0.1nm,能够实现纳米级检测扫描,该设计提高了AFM检测实验的可操作性和效率,降低了实验成本。; 关键词原子力显微镜纳米检测镜体结构样本扫描; Keywords atomic force microscope（AFM） nano-detection lens structure swatch scanning; 分类号 TH742.9 [机械工程—光学工程] TN16 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名AFM设定值对测量准确度和探针寿命的影响被引量：5: 4; 作者唐莹曹丛张健赵东升; 机构山东省计量科学研究院; 出处《计量学报》 CSCD 北大核心 2019年第S01期17-22,共6页; 基金科技部国家重点研发计划(2018YFF0212305); 文摘研究了不同模式下设定值对AFM成像质量、测量准确度、样品及探针磨损情况的影响.结果表明,接触模式下弯曲量设定越大,探针与样品相互作用力越大,噪声减小,成像质量提高,但是会对样品和探针造成较大磨损,降低测试测量准确度,一般表面起伏较大的硬样品适合此模式;轻敲模式下进针会有一个振幅设定,由此值开始,随着振幅设定减小,测量准确度和探针磨损程度先增加后减小,噪声和磨损均不大,适合于表面比较平滑的非粘性样品;智能模式下参数可自动调节,且对样品和探针的磨损较小,但是受噪音影响较大,测量数据较小时准确度偏低.; 关键词计量学原子力显微镜扫描模式设定值探针磨损; Keywords metrology atomic force microscope testing mode setpoint probe wear pattern; 分类号 TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	适用于原子力显微镜先进扫描模式的学习控制系统	方勇纯张玉东贾宁	《控制理论与应用》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	9	在线阅读下载PDF 职称材料
2	原子力显微镜管式扫描器运动学建模与误差分析	田孝军王越超董再励席宁	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	IPC-208B型原子力显微镜大范围扫描三维驱动系统研究	刘安平刘济春	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	AFM设定值对测量准确度和探针寿命的影响	唐莹曹丛张健赵东升	《计量学报》 CSCD 北大核心	2019	5	在线阅读下载PDF 职称材料