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多探头扫描探针显微镜系统
被引量：
1
1
作者
戴长春
SU Xiao-di
+1 位作者
Hou Tee Ng
Li Fong Yau Sam
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期247-251,共5页
虽然扫描探针显微镜具有高分辨率等优异性能 ,但不足之处也显而易见。较低的扫描和采样速度使工作效率不高。多探针或多探头的概念就是为提高扫描探针显微镜的工作效率而提出的。为了摸索多探头扫描探针显微镜的特点和解决半导体工业晶...
虽然扫描探针显微镜具有高分辨率等优异性能 ,但不足之处也显而易见。较低的扫描和采样速度使工作效率不高。多探针或多探头的概念就是为提高扫描探针显微镜的工作效率而提出的。为了摸索多探头扫描探针显微镜的特点和解决半导体工业晶片检测的实际需求 ,我们设计了四探头SPM。本文主要介绍我们研制的四探头扫描探针显微镜系统 。
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关键词
扫描探针显微镜
探头
SPM
分辨率
硬件控制器
样品移动平台
图像分析
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职称材料
题名
多探头扫描探针显微镜系统
被引量：
1
1
作者
戴长春
SU Xiao-di
Hou Tee Ng
Li Fong Yau Sam
机构
中国科学院化学研究所
InstituteofMaterialsResearchandEngineering
DepartmentofChemistry
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期247-251,共5页
文摘
虽然扫描探针显微镜具有高分辨率等优异性能 ,但不足之处也显而易见。较低的扫描和采样速度使工作效率不高。多探针或多探头的概念就是为提高扫描探针显微镜的工作效率而提出的。为了摸索多探头扫描探针显微镜的特点和解决半导体工业晶片检测的实际需求 ,我们设计了四探头SPM。本文主要介绍我们研制的四探头扫描探针显微镜系统 。
关键词
扫描探针显微镜
探头
SPM
分辨率
硬件控制器
样品移动平台
图像分析
Keywords
SPM
multi probe
multi probe SPM
AFM
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
多探头扫描探针显微镜系统
戴长春
SU Xiao-di
Hou Tee Ng
Li Fong Yau Sam
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003
1
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