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基于晶圆级介电薄膜掺杂参考样片的FTIR光谱校准建模应用
1
作者
金红霞
饶张飞
+1 位作者
秦凯亮
薛栋
《半导体技术》
北大核心
2025年第10期1085-1092,共8页
为解决复杂工艺环境下多元素掺杂质量分数在线监测的难题,提出一种基于晶圆级介电薄膜参考样片的掺杂质量分数设计与定量检测方法。基于全因子设计与中心复合分布,制定了介电薄膜掺杂参考样片设计方案,结合次常压化学气相沉积(SACVD)工...
为解决复杂工艺环境下多元素掺杂质量分数在线监测的难题,提出一种基于晶圆级介电薄膜参考样片的掺杂质量分数设计与定量检测方法。基于全因子设计与中心复合分布,制定了介电薄膜掺杂参考样片设计方案,结合次常压化学气相沉积(SACVD)工艺与Si_3N_4阻隔膜技术制备了6英寸(1英寸=2.54 cm)硼磷硅酸盐玻璃(BPSG)掺杂参考样片。采用傅里叶变换红外(FTIR)光谱技术对参考样片进行特征峰吸光度分析,构建硼、磷掺杂质量分数的定量校准模型,实现了双元素同步检测。校准集分析结果显示,该模型对硼、磷掺杂质量分数的预测值与标准值的决定系数(R~2)分别达0.998和0.995;在验证集下该模型对硼、磷掺杂质量分数的预测误差分别仅为0.22%和0.17%,各项指标均满足集成电路工艺的精度要求。
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关键词
介电薄膜
掺杂质量分数
全因子设计
阻隔膜技术
傅里叶变换红外(FTIR)光谱
校准建模
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职称材料
对地观测图像BRDF校准模型的建立与应用
2
作者
刘子龙
廖宁放
+1 位作者
陈锐
廉玉生
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期92-95,共4页
为提高对地观测图像质量的数据校准方法,建立区别于传统模型的对地观测目标复合双向反射分布函数(BRDF)模型.通过BRDF量值实现计量标准对该模型进行绝对量值标定,使得对地观测影像更真实反映观察对象.该模型综合考虑对地观测目标的BRDF...
为提高对地观测图像质量的数据校准方法,建立区别于传统模型的对地观测目标复合双向反射分布函数(BRDF)模型.通过BRDF量值实现计量标准对该模型进行绝对量值标定,使得对地观测影像更真实反映观察对象.该模型综合考虑对地观测目标的BRDF分布、太阳辐射、大气分布状况等,加入BRDF国家计量标准的修正参量,结合遥感相机参数,得到计量校准后的遥感相机入瞳辐亮度数据.以一种典型建筑材料毛玻璃的BRDF测量及其对地观测图像的校准为例,通过这一复合模型的校准,其图像的色差提高约3,亮度对比提高约3.
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关键词
双向反射分布函数
校准建模
对地观测图像
色差
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职称材料
题名
基于晶圆级介电薄膜掺杂参考样片的FTIR光谱校准建模应用
1
作者
金红霞
饶张飞
秦凯亮
薛栋
机构
西安微电子技术研究所
出处
《半导体技术》
北大核心
2025年第10期1085-1092,共8页
文摘
为解决复杂工艺环境下多元素掺杂质量分数在线监测的难题,提出一种基于晶圆级介电薄膜参考样片的掺杂质量分数设计与定量检测方法。基于全因子设计与中心复合分布,制定了介电薄膜掺杂参考样片设计方案,结合次常压化学气相沉积(SACVD)工艺与Si_3N_4阻隔膜技术制备了6英寸(1英寸=2.54 cm)硼磷硅酸盐玻璃(BPSG)掺杂参考样片。采用傅里叶变换红外(FTIR)光谱技术对参考样片进行特征峰吸光度分析,构建硼、磷掺杂质量分数的定量校准模型,实现了双元素同步检测。校准集分析结果显示,该模型对硼、磷掺杂质量分数的预测值与标准值的决定系数(R~2)分别达0.998和0.995;在验证集下该模型对硼、磷掺杂质量分数的预测误差分别仅为0.22%和0.17%,各项指标均满足集成电路工艺的精度要求。
关键词
介电薄膜
掺杂质量分数
全因子设计
阻隔膜技术
傅里叶变换红外(FTIR)光谱
校准建模
Keywords
dielectric thin film
doping concentration
full factorial design
barrier film techno-logy
fourier-transform infrared(FTIR)spectroscopy calibration modeling
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
TN304.07 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
对地观测图像BRDF校准模型的建立与应用
2
作者
刘子龙
廖宁放
陈锐
廉玉生
机构
北京理工大学颜色科学与工程国家专业实验室
中国计量科学研究院光学与激光计量科学研究所
出处
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期92-95,共4页
基金
国家科技支撑计划重点资助项目(2011BAI02B02)
文摘
为提高对地观测图像质量的数据校准方法,建立区别于传统模型的对地观测目标复合双向反射分布函数(BRDF)模型.通过BRDF量值实现计量标准对该模型进行绝对量值标定,使得对地观测影像更真实反映观察对象.该模型综合考虑对地观测目标的BRDF分布、太阳辐射、大气分布状况等,加入BRDF国家计量标准的修正参量,结合遥感相机参数,得到计量校准后的遥感相机入瞳辐亮度数据.以一种典型建筑材料毛玻璃的BRDF测量及其对地观测图像的校准为例,通过这一复合模型的校准,其图像的色差提高约3,亮度对比提高约3.
关键词
双向反射分布函数
校准建模
对地观测图像
色差
Keywords
bidirectional reflectance distribution function（BRDF）
calibration modeling
earth observe image
chromatism
分类号
TB96 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于晶圆级介电薄膜掺杂参考样片的FTIR光谱校准建模应用
金红霞
饶张飞
秦凯亮
薛栋
《半导体技术》
北大核心
2025
0
在线阅读
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职称材料
2
对地观测图像BRDF校准模型的建立与应用
刘子龙
廖宁放
陈锐
廉玉生
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
0
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职称材料
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