宽带在片SOLT校准件研制及表征 被引量：9

1

作者 刘晨 吴爱华 +1 位作者 孙静 梁法国 《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第1期98-101,共4页

针对在片S参数校准,设计制作GaAs衬底SOLT校准组件,通过计算方法对校准组件中直通、开路、短路和负载校准件中偏置传输线的时延和损耗进行定义,运用基于NIST muiline TRL校准的测量方法对校准组件中开路校准件电容和短路校准件电感参数... 针对在片S参数校准,设计制作GaAs衬底SOLT校准组件,通过计算方法对校准组件中直通、开路、短路和负载校准件中偏置传输线的时延和损耗进行定义,运用基于NIST muiline TRL校准的测量方法对校准组件中开路校准件电容和短路校准件电感参数进行提取,结合直流电阻测试法测试负载阻值大小,实现对SOLT校准组件的完整表征。最后用自行研制并表征的SOLT校准组件校准在片S参数测试系统,通过测量无源器件验证校准效果,将测量结果与NIST multilineTRL校准后的测量结果比较,在20 GHz内传输幅度最大偏差0.1 dB,传输相位最大偏差3.5°。 展开更多

关键词 计量学 在片S参数 校准件定义 SOLT校准 在片阻抗标准

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110 GHz在片16项误差模型校准件定值方法研究 被引量：5

2

作者 王一帮 周瑞 +3 位作者 陈婷 吴爱华 刘晨 梁法国 《计量学报》 CSCD 北大核心 2021年第3期365-369,共5页

现有商用集总参数校准件电路模型使用简便,但由于校准件电路模型的不完善、电路中参数在提取过程中采用拟合算法等原因,导致其定值准确度受限。从用于高频串扰修正的16项误差模型校准件设计入手,给出了校准件高精度的定值方法——即通... 现有商用集总参数校准件电路模型使用简便,但由于校准件电路模型的不完善、电路中参数在提取过程中采用拟合算法等原因,导致其定值准确度受限。从用于高频串扰修正的16项误差模型校准件设计入手,给出了校准件高精度的定值方法——即通过研制辅助的Multiline TRL校准标准,采用测试加仿真的方式对校准件进行定值,并采用定值文件作为定值样式。采用定值过的16项误差模型校准件校准在片测试系统,并与美国NIST基于Multiline TRL的二次校准方法比较,在110 GHz内,两者S21相差在0.30 dB以内,相位相差1°以内。所不同的是,16项误差模型校准件的个数远低于NIST,并且在校准过程中不需要移动探针。在保证准确度的前提下,大大提高了测试效率。 展开更多

关键词 计量学 在片测试 16项误差模型 校准件定值 Multiline TRL 串扰

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在片LRRM校准件研制及标定 被引量：2

3

作者 王一帮 霍晔 +2 位作者 吴爱华 梁法国 栾鹏 《微波学报》 CSCD 北大核心 2021年第1期70-73,共4页

研制了75~110 GHz氧化铝陶瓷衬底在片LRRM校准件,建立了校准件的电路模型。为了实现LRRM校准件高准确度的标定,还研制了多线TRL校准件。通过测量和计算相结合的方式对LRRM校准件中传输线标准的特征阻抗、延时、损耗,反射标准的延时和匹... 研制了75~110 GHz氧化铝陶瓷衬底在片LRRM校准件,建立了校准件的电路模型。为了实现LRRM校准件高准确度的标定,还研制了多线TRL校准件。通过测量和计算相结合的方式对LRRM校准件中传输线标准的特征阻抗、延时、损耗,反射标准的延时和匹配负载的电阻、电感进行标定。分别采用标定的校准件、研制的多线TRL校准件和商用校准件104-783A对在片S参数测量系统进行校准,测量相同的衰减器和短路标准,结果显示,在75~110 GHz频段传输幅度最大偏差0.07 dB,传输相位最大偏差1.5°,反射幅度最大偏差0.02(线性值),反射相位最大偏差2.9°。 展开更多

关键词 氧化铝陶瓷 校准件 电路模型 LRRM 校准算法

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在片校准件参数定值方法 被引量：2

4

作者 霍晔 吴爱华 +5 位作者 王一帮 栾鹏 刘晨 梁法国 孙静 张立飞 《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第8期979-983,共5页

为解决在片校准件长时间使用后,由于参数定值发生偏差,导致测试结果不准的问题,针对在片校准件的等效电路模型,提出了一种参数定值方法。通过测试在片校准件S参数、长度和电阻的方法,对特征阻抗、开路电容、短路电感、负载电阻和电感、... 为解决在片校准件长时间使用后,由于参数定值发生偏差,导致测试结果不准的问题,针对在片校准件的等效电路模型,提出了一种参数定值方法。通过测试在片校准件S参数、长度和电阻的方法,对特征阻抗、开路电容、短路电感、负载电阻和电感、直通延时和损耗准确定值。在100 MHz~67 GHz频段范围内,用定值后的在片校准件进行了试验分析,结果表明:与使用出厂值相比,重新定值后的在片校准件测试结果更接近被测件的实际值。 展开更多

关键词 计量学 在片校准件 参数定值 等效电路模型

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校准件不完善对矢量网络分析仪单端口 S 参数测量引入的不确定度 被引量：3

5

作者 陈婷 杨春涛 +1 位作者 陈云梅 张国华 《计量学报》 CSCD 北大核心 2009年第2期177-182,共6页

通过对网络分析仪单端口 OSL 校准方法的研究,分析了校准件的不完善--开路器、短路器校准位置的不明确及校准负载的不理想等对单端口校准结果的影响,并推导出校准件实际值和理想值的偏差与校准结果之间的数学关系,结合实验数据与仿真结... 通过对网络分析仪单端口 OSL 校准方法的研究,分析了校准件的不完善--开路器、短路器校准位置的不明确及校准负载的不理想等对单端口校准结果的影响,并推导出校准件实际值和理想值的偏差与校准结果之间的数学关系,结合实验数据与仿真结果对算法加以验证. 展开更多

关键词 计量学 矢量网络分析仪 S参数 校准件 测量不确定度

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110 GHz可溯源的On-wafer GaAs基Multi-TRL校准标准件研制 被引量：3

6

作者 袁思昊 刘欣萌 黄辉 《计量学报》 CSCD 北大核心 2019年第5期760-764,共5页

设计制作了用于1~110GHzOn-wafer散射参数测试系统自校准的GaAs基Multi-TRL校准标准件。主要验证了Multi-TRL校准标准件设计的正确性;经过与国外计量标准及商用校准件比对,还验证了在频率范围1GHz^110GHz,用于Multi-TRL校准的校准标准... 设计制作了用于1~110GHzOn-wafer散射参数测试系统自校准的GaAs基Multi-TRL校准标准件。主要验证了Multi-TRL校准标准件设计的正确性;经过与国外计量标准及商用校准件比对,还验证了在频率范围1GHz^110GHz,用于Multi-TRL校准的校准标准件的准确性。 展开更多

关键词 计量学 共面波导 W波段 On-wafer 砷化镓 Multi-TRL校准件 散射参数

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微波低噪声封装器件噪声参数测量技术 被引量：3

7

作者 吴爱华 梁法国 +2 位作者 刘强 郑延秋 翟玉卫 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期312-316,共5页

相对于噪声系数,噪声参数更加全面地反映了半导体器件噪声特性。介绍了微波低噪声器件噪声参数产生机理及测量原理,分析了噪声参数测量方法。针对低噪声封装器件的特点,自制了测试夹具以及表征测试夹具的TRL校准件,优选Agilent公司带有... 相对于噪声系数,噪声参数更加全面地反映了半导体器件噪声特性。介绍了微波低噪声器件噪声参数产生机理及测量原理,分析了噪声参数测量方法。针对低噪声封装器件的特点,自制了测试夹具以及表征测试夹具的TRL校准件,优选Agilent公司带有噪声选件的矢量网络分析仪、噪声源和Maury公司的阻抗调配器组建了测量系统。选用NEC公司的NE32584C低噪声器件作为被测对象,开展了10～15 GHz频段的噪声参数测量工作。为了验证测量系统和数据准确性,设计制作了无源标准件。验证数据的一致性表明获得了可靠、令人满意的噪声参数测试结果。 展开更多

关键词 低噪声器件 噪声参数测量 测试夹具 校准件 测试验证

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脊波导TRL校准技术的研究 被引量：2

8

作者 李恩 向志军 +1 位作者 郭高凤 张其劭 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1041-1043,共3页

本文首先讨论了矢量网路分析仪TRL校准技术对校准件的要求,并根据校准原理设计出了脊波导TRL校准件的尺寸。由于脊波导脊的重合性对校准件与测试端面连接处的反射具有较大影响,对校准件采用精确定位和表面抗氧化处理。最后利用网络分析... 本文首先讨论了矢量网路分析仪TRL校准技术对校准件的要求,并根据校准原理设计出了脊波导TRL校准件的尺寸。由于脊波导脊的重合性对校准件与测试端面连接处的反射具有较大影响,对校准件采用精确定位和表面抗氧化处理。最后利用网络分析仪的10项误差修正原理完成了脊波导的TRL校准,实现了脊波导器件微波参数的准确测试。 展开更多

关键词 TRL校准 脊波导 校准件 微波测量

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固态微波功率器件测试方法研究 被引量：2

9

作者 王文娟 项道才 胡菊萍 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第12期974-978,共5页

固态微波功率器件由于其大功率、高频率、宽频带的特性,使其微波电参数的测试成为一大难点,特别是对非同轴、无内匹配的功率器件而言,微波参数的测量难度更大。介绍了固态微波功率器件测试的整体方案,针对某款SiC器件的尺寸及特性,设计... 固态微波功率器件由于其大功率、高频率、宽频带的特性,使其微波电参数的测试成为一大难点,特别是对非同轴、无内匹配的功率器件而言,微波参数的测量难度更大。介绍了固态微波功率器件测试的整体方案,针对某款SiC器件的尺寸及特性,设计制作了相应的测试夹具及校准件,利用矢量网络分析仪及阻抗调谐器搭建测试平台,通过负载牵引技术调整输入输出阻抗,并通过TRL校准技术消除夹具引入的误差,将被测端面移动到被测件的两端,得到被测器件的真实特性。经实验验证,在器件工作频率范围内测试系统的阻抗都能达到良好匹配,并得到被测器件的最佳性能指标。 展开更多

关键词 微波功率器件 测试夹具 校准件 负载牵引系统 去嵌入

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矢量网络分析仪校准误差分析 被引量：8

10

作者 陈涛 《微波学报》 CSCD 北大核心 2010年第S1期592-594,共3页

本文针对SOLR双端口校准方法,分析了校准件不完善——开路器、短路器校准位置不明确及校准件负载不理想对双端口校准结果的影响,并推导出校准件实际值和理想值的偏差与校准结果之间的数学关系,结合仿真数据对推导结果进行了验证。

关键词 S参数 SOLR校准 校准件 测量不确定度

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基于光敏BCB工艺的InP基器件性能的研究

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作者 赵华 王溪 +4 位作者 丁芃 姚鸿飞 苏永波 金智 刘新宇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期1119-1123,共5页

采用光敏BCB介质工艺制作了In P基TRL校准件和无源器件,研究了这种毫米波片上集成技术。光敏BCB工艺包括三层金属和一层BCB介质。为了验证工艺可行性,采用电磁仿真器设计了TRL校准件和两种无源电路。使用TRL去嵌技术,得到两种无源电路在... 采用光敏BCB介质工艺制作了In P基TRL校准件和无源器件,研究了这种毫米波片上集成技术。光敏BCB工艺包括三层金属和一层BCB介质。为了验证工艺可行性,采用电磁仿真器设计了TRL校准件和两种无源电路。使用TRL去嵌技术,得到两种无源电路在75~110 GHz内的本征特性。通过比较去嵌后本征特性和仿真结果,发现与仿真结果相比S11/S22的幅度波动小于5 d B,S12/S21的幅度波动小于0.3 d B。仿真结果与去嵌后的本征结果重合度比较好,这进一步说明光学BCB工艺比较适合毫米波校准件的研制。 展开更多

关键词 BCB介质工艺 TRL校准件 微带无源器件 毫米波

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渐开线外啮合齿同步器齿座检具设计

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作者 于丹 《机械设计与制造》 北大核心 2008年第12期39-40,共2页

介绍了渐开线外啮合齿同步器两齿间误差的检测方法,分析了检具结构及设计制造的要点,简化了检具结构,特别是检具校准件的结构,实现了渐开线齿轮的检测。

关键词 定位块 千分表 测量头 校准件

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