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无定型Si-C-O-N涂层用于SSiC陶瓷的表面改性研究
被引量：
4
1
作者
唐惠东
孙媛媛
+1 位作者
李龙珠
谭寿洪
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期248-252,共5页
为了改善SSiC陶瓷反射率较低的情况,采用RF磁控溅射法在SSiC陶瓷表面涂覆了无定型Si-C-O-N涂层。借助XRD、FTIR、XPS等手段对涂层进行了表征,并在可见光波长范围内测量了涂层的反射率。结果显示:涂层主要由Si-N、Si-C和Si-O键组成,涂层...
为了改善SSiC陶瓷反射率较低的情况,采用RF磁控溅射法在SSiC陶瓷表面涂覆了无定型Si-C-O-N涂层。借助XRD、FTIR、XPS等手段对涂层进行了表征,并在可见光波长范围内测量了涂层的反射率。结果显示:涂层主要由Si-N、Si-C和Si-O键组成,涂层抛光后其表面缺陷明显减少,表面粗糙度可达埃级,在可见光波段可将反射率的最低值提升至90%。并运用标量散射理论分析了反射率提高的主要原因。
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关键词
SSiC
Si-C-O-N涂层
反射率
标量散射理论
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职称材料
题名
无定型Si-C-O-N涂层用于SSiC陶瓷的表面改性研究
被引量：
4
1
作者
唐惠东
孙媛媛
李龙珠
谭寿洪
机构
常州工程职业技术学院材料工程技术系
中国科学院上海硅酸盐研究所
出处
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期248-252,共5页
基金
国家重点基础研究规划(863项目)资助项目(2006AA03Z539)
文摘
为了改善SSiC陶瓷反射率较低的情况,采用RF磁控溅射法在SSiC陶瓷表面涂覆了无定型Si-C-O-N涂层。借助XRD、FTIR、XPS等手段对涂层进行了表征,并在可见光波长范围内测量了涂层的反射率。结果显示:涂层主要由Si-N、Si-C和Si-O键组成,涂层抛光后其表面缺陷明显减少,表面粗糙度可达埃级,在可见光波段可将反射率的最低值提升至90%。并运用标量散射理论分析了反射率提高的主要原因。
关键词
SSiC
Si-C-O-N涂层
反射率
标量散射理论
Keywords
SSiC
Si-C-O-N coating
reflectance
scalar scattering theory
分类号
V254.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
无定型Si-C-O-N涂层用于SSiC陶瓷的表面改性研究
唐惠东
孙媛媛
李龙珠
谭寿洪
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
北大核心
2010
4
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