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用标准测温锥测定微波等离子体反应腔温度及其加热区域
被引量：
2
1
作者
季金苟
程顺巧
+3 位作者
冉均国
苟立
王兵
傅小妮
《四川大学学报（工程科学版）》
EI
CAS
CSCD
2003年第4期38-41,共4页
针对微波等离子体中样品温度难于准确测定的难题,通过观察微波等离子体中标准测温锥的弯倒情况,测定了反应腔的温度,用于指示相同条件下的样品温度,并和红外辐射高温计法进行了对比,结果发现两种方法具有较好的一致性,而且标准测温锥测...
针对微波等离子体中样品温度难于准确测定的难题,通过观察微波等离子体中标准测温锥的弯倒情况,测定了反应腔的温度,用于指示相同条件下的样品温度,并和红外辐射高温计法进行了对比,结果发现两种方法具有较好的一致性,而且标准测温锥测定的温度可能更接近于和其性能相近材料的样品温度。另外,还根据标准测温锥中有机粘合剂的碳化痕迹,快速确定了反应腔中的加热区域。
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关键词
微波等离子体
标准测温锥
温
度
测
定
加热区域
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职称材料
题名
用标准测温锥测定微波等离子体反应腔温度及其加热区域
被引量：
2
1
作者
季金苟
程顺巧
冉均国
苟立
王兵
傅小妮
机构
四川大学无机材料系
出处
《四川大学学报（工程科学版）》
EI
CAS
CSCD
2003年第4期38-41,共4页
基金
国家重大基础研究项目(9733G1999064760)
文摘
针对微波等离子体中样品温度难于准确测定的难题,通过观察微波等离子体中标准测温锥的弯倒情况,测定了反应腔的温度,用于指示相同条件下的样品温度,并和红外辐射高温计法进行了对比,结果发现两种方法具有较好的一致性,而且标准测温锥测定的温度可能更接近于和其性能相近材料的样品温度。另外,还根据标准测温锥中有机粘合剂的碳化痕迹,快速确定了反应腔中的加热区域。
关键词
微波等离子体
标准测温锥
温
度
测
定
加热区域
Keywords
microwave plasma cavity
pyrometric reference cone
measurement
temperature
hot zone
分类号
O53 [理学—等离子体物理]
TH811 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用标准测温锥测定微波等离子体反应腔温度及其加热区域
季金苟
程顺巧
冉均国
苟立
王兵
傅小妮
《四川大学学报（工程科学版）》
EI
CAS
CSCD
2003
2
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