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NIM-IC型半导体硅单晶电阻率标准样片与NBS的SRM型标准样片的比较实验: 1; 作者李达汉袁隐 +2 位作者梁文烈姜云翔 W.A.Keenan 《计量学报》 CSCD 1990年第3期217-221,216,共6页; 通过对中国计量科学研究院(NIM)与美国国家标准局(NBS)研制的硅单晶电阻率标准样片的比较实验研究,获得了标志着标准样片主要性能的方块电阻直径扫描分布曲线、全片等值分布图和大量有用数据。实验结果表明,NIN标准样片的各项性能均达到... 展开更多; 关键词硅单晶电阻率标准样片半导体; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种光谱型椭偏仪的校准方法被引量：4: 2; 作者韩志国李锁印 +2 位作者赵琳冯亚南梁法国《中国测试》北大核心 2017年第12期1-6,共6页; 针对光谱型椭偏仪校准结果受测量模型影响大的问题进行研究,提出一种不受测量模型影响的校准方法,即通过校准椭偏角实现光谱型椭偏仪的校准。依据椭偏仪测量原理,通过仿真分析确定实现较大范围内椭偏角校准所需标准样片的薄膜厚度量值,... 展开更多; 关键词光谱型椭偏仪椭偏角校准膜厚标准样片仿真; 在线阅读下载PDF 职称材料

穆勒椭偏标定方法中LM算法研究被引量：3: 3; 作者管钰晴唐冬梅 +6 位作者傅云霞孙佳媛韩志国张波孔明曹程明雷李华《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第8期160-168,共9页; 依据穆勒椭偏测量方法中偏振光的传输方式,提出了一种椭偏系统中光学元件参数的定标方法。通过建立出射光强关于起偏器和检偏器透光轴方位角、旋转补偿器方位角和相位延迟的非线性最小二乘模型,用列文伯格-马夸尔特(Levenberg-Marquardt... 展开更多; 关键词参数定标穆勒矩阵椭偏测量 LM算法标准样片; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种基于自适应差分进化算法的薄膜参数表征方法研究(特邀) 被引量：2: 4; 作者管钰晴傅云霞 +2 位作者邹文哲谢张宁雷李华《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第1期395-404,共10页; 依据穆勒椭偏测量方法中偏振光的传输方式,文中提出了一种基于自适应差分进化算法(SADE)的各向同性纳米薄膜厚度与光学常数的表征方法。通过建立出射光强关于待测标准样片穆勒矩阵的最小二乘模型,用SADE算法对穆勒矩阵元素进行求解,并... 展开更多; 关键词穆勒矩阵椭偏测量自适应差分进化算法适应度标准样片; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名NIM-IC型半导体硅单晶电阻率标准样片与NBS的SRM型标准样片的比较实验: 1; 作者李达汉袁隐梁文烈姜云翔 W.A.Keenan; 机构中国计量科学研究院 Prometrix Corp.USA; 出处《计量学报》 CSCD 1990年第3期217-221,216,共6页; 文摘通过对中国计量科学研究院(NIM)与美国国家标准局(NBS)研制的硅单晶电阻率标准样片的比较实验研究,获得了标志着标准样片主要性能的方块电阻直径扫描分布曲线、全片等值分布图和大量有用数据。实验结果表明,NIN标准样片的各项性能均达到NBS同类标准样片的水平,其中,径向电阻率不均匀度和标称值偏差两项的指标还优于NBS标准样片。; 关键词硅单晶电阻率标准样片半导体; 分类号 TB971 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种光谱型椭偏仪的校准方法被引量：4: 2; 作者韩志国李锁印赵琳冯亚南梁法国; 机构中国电子科技集团公司第十三研究所; 出处《中国测试》北大核心 2017年第12期1-6,共6页; 文摘针对光谱型椭偏仪校准结果受测量模型影响大的问题进行研究,提出一种不受测量模型影响的校准方法,即通过校准椭偏角实现光谱型椭偏仪的校准。依据椭偏仪测量原理,通过仿真分析确定实现较大范围内椭偏角校准所需标准样片的薄膜厚度量值,并采用半导体热氧化工艺制备出性能稳定的膜厚标准样片。使用标准样片对型号为M-2000XF的光谱型椭偏仪的椭偏角进行校准,样片厚度为2,50,500 nm对应的椭偏角偏差分别在±0.6°,±1.5°,±2°以内,该偏差对薄膜厚度的影响不超过±0.5 nm。经实验表明:该方法不受椭偏仪测量模型的影响,可有效解决光谱型椭偏仪的校准问题。; 关键词光谱型椭偏仪椭偏角校准膜厚标准样片仿真; Keywords spectroscopic ellipsometer elliptic angle calibration film -thickness standard sample simulation; 分类号 O484.5 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名穆勒椭偏标定方法中LM算法研究被引量：3: 3; 作者管钰晴唐冬梅傅云霞孙佳媛韩志国张波孔明曹程明雷李华; 机构中国计量大学计量测试工程学院上海市计量测试技术研究院中国电子电科集团第十三研究所; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第8期160-168,共9页; 基金国家重点研发计划项目(SQ2019YFB20002503) 航空科学基金项目(201856Y5001) 国家市场监管总局科技项目(2019MK016)。; 文摘依据穆勒椭偏测量方法中偏振光的传输方式,提出了一种椭偏系统中光学元件参数的定标方法。通过建立出射光强关于起偏器和检偏器透光轴方位角、旋转补偿器方位角和相位延迟的非线性最小二乘模型,用列文伯格-马夸尔特(Levenberg-Marquardt,LM)算法对初始参数进行迭代。求解出光学元件参数的精确值,从而实现对元件的定标。通过仿真实验,利用已知穆勒(Mueller)矩阵且标定值为(24.90±0.30)nm的SiO2/Si标准样片,基于LM算法迭代计算光强值的残差平方和。实验可得当迭代次数为50次时,残差平方和收敛到最小值0.24;与传统多点标定法进行对比试验,验证了基于LM算法求解光学参数的可行性;用标定值为(91.21±0.36)nm的SiO2/Si标准样片进行验证,得到膜厚的计算值为91.53 nm,相对误差为0.35%。结果表明:在穆勒椭偏系统参数标定中,LM算法具有收敛速度快,计算精度高等优点。; 关键词参数定标穆勒矩阵椭偏测量 LM算法标准样片; Keywords parameter calibration Mueller matrix ellipsometry LM algorithm standard sample; 分类号 TB96 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种基于自适应差分进化算法的薄膜参数表征方法研究(特邀) 被引量：2: 4; 作者管钰晴傅云霞邹文哲谢张宁雷李华; 机构上海市计量测试技术研究院上海市在线检测与控制技术重点实验室同济大学物理科学与工程学院; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第1期395-404,共10页; 基金国家重点研发计划项目(SQ2019YFB20002503) 上海科技自然科学基金项目(21ZR1483100) 上海市学术/技术带头人项目(21 XD1425000)。; 文摘依据穆勒椭偏测量方法中偏振光的传输方式,文中提出了一种基于自适应差分进化算法(SADE)的各向同性纳米薄膜厚度与光学常数的表征方法。通过建立出射光强关于待测标准样片穆勒矩阵的最小二乘模型,用SADE算法对穆勒矩阵元素进行求解,并将拟合得到的穆勒光谱曲线与用双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪(DRC-MME)测量得到的穆勒光谱图进行了比较,利用传输矩阵求解薄膜厚度。对标定值分别为(104.2±0.4) nm和(398.4±0.4) nm的SiO_(2)/Si标准样片进行仿真计算,实验表明:当分别迭代到80次和87次时,目标函数光强的残差平方和收敛到最小值0.97和1.01,得到的膜厚计算值分别是(103.8±0.6) nm和(397.8±0.6) nm,相对误差均小于1%。同时用计量型椭偏仪根据得到的折射率进行计算,得到膜厚的计算值分别为(104.1±0.6) nm和(398.2±0.6) nm,验证了SADE在相近收敛速度下对各向同性纳米薄膜参数求解过程中具有计算简单和可以准确的找到全局最优解的特点。; 关键词穆勒矩阵椭偏测量自适应差分进化算法适应度标准样片; Keywords Mueller matrix ellipsometry measurement self-adaptive differential evolution algorithm fitness standard sample; 分类号 TH74 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	NIM-IC型半导体硅单晶电阻率标准样片与NBS的SRM型标准样片的比较实验	李达汉袁隐梁文烈姜云翔 W.A.Keenan	《计量学报》 CSCD	1990	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	一种光谱型椭偏仪的校准方法	韩志国李锁印赵琳冯亚南梁法国	《中国测试》北大核心	2017	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	穆勒椭偏标定方法中LM算法研究	管钰晴唐冬梅傅云霞孙佳媛韩志国张波孔明曹程明雷李华	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2020	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	一种基于自适应差分进化算法的薄膜参数表征方法研究(特邀)	管钰晴傅云霞邹文哲谢张宁雷李华	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2022	2	在线阅读下载PDF 职称材料