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Si基超薄势垒InAlN/GaN HEMT开关器件小信号模型
被引量:
1
1
作者
张静
梁竞贤
+4 位作者
来龙坤
徐进
张奕泽
闫江
罗卫军
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020年第5期371-378,共8页
为了更好地表征Si基超薄InAlN/GaN HEMT开关器件的特性和开发更精确的开关电路模型,基于0.25μm HEMT工艺制备了不同栅极电阻的开关器件,提出了附加10 kΩ栅极电阻的器件结构,并对开关器件进行了小信号模型分析。采用传统的去嵌结构提...
为了更好地表征Si基超薄InAlN/GaN HEMT开关器件的特性和开发更精确的开关电路模型,基于0.25μm HEMT工艺制备了不同栅极电阻的开关器件,提出了附加10 kΩ栅极电阻的器件结构,并对开关器件进行了小信号模型分析。采用传统的去嵌结构提取了开关器件的寄生电容、电感和电阻参数来得到相应的本征参数。采用误差因子评估模型的准确度,结果表明模型拟合和实测的S参数基本吻合。最后将模型应用在Ku波段单刀双掷(SPDT)开关电路的设计中,实测的开启状态下该电路的插入损耗小于2.28 dB,输入回波损耗大于10 dB,输出回波损耗大于12 dB;关断状态下其隔离度大于36.54 dB。所提出的Si基InAlN/GaN HEMT模型可以为Si基HEMT的电路设计和集成提供一定的理论指导。
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关键词
InAlN/GaN
HEMT
超薄势垒
栅极附加电阻
开关器件
小信号模型
单刀双掷(SPDT)开关
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职称材料
题名
Si基超薄势垒InAlN/GaN HEMT开关器件小信号模型
被引量:
1
1
作者
张静
梁竞贤
来龙坤
徐进
张奕泽
闫江
罗卫军
机构
北方工业大学信息学院
中国科学院微电子研究所
中国科学院大学
出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020年第5期371-378,共8页
文摘
为了更好地表征Si基超薄InAlN/GaN HEMT开关器件的特性和开发更精确的开关电路模型,基于0.25μm HEMT工艺制备了不同栅极电阻的开关器件,提出了附加10 kΩ栅极电阻的器件结构,并对开关器件进行了小信号模型分析。采用传统的去嵌结构提取了开关器件的寄生电容、电感和电阻参数来得到相应的本征参数。采用误差因子评估模型的准确度,结果表明模型拟合和实测的S参数基本吻合。最后将模型应用在Ku波段单刀双掷(SPDT)开关电路的设计中,实测的开启状态下该电路的插入损耗小于2.28 dB,输入回波损耗大于10 dB,输出回波损耗大于12 dB;关断状态下其隔离度大于36.54 dB。所提出的Si基InAlN/GaN HEMT模型可以为Si基HEMT的电路设计和集成提供一定的理论指导。
关键词
InAlN/GaN
HEMT
超薄势垒
栅极附加电阻
开关器件
小信号模型
单刀双掷(SPDT)开关
Keywords
InAlN/GaN HEMT
ultra-thin barrier
additional gate resistance
switching device
small-signal model
single-pole double-throw(SPDT)switch
分类号
TN386 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Si基超薄势垒InAlN/GaN HEMT开关器件小信号模型
张静
梁竞贤
来龙坤
徐进
张奕泽
闫江
罗卫军
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020
1
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