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射频磁控溅射制备的柔性衬底ZnO∶Al透明导电薄膜的研究 被引量：15
1
作者 杨田林 张德恒 +2 位作者 李滋然 马洪磊 马瑾 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期200-203,共4页
用射频磁控溅射方法在有机柔性衬底上制备出附着性好、电阻率低、透射率高的ＺｎＯ：Ａｌ透明导电膜。研究了薄膜的结构。
关键词 磁控溅射 柔性衬底 薄膜 透明导电 氧化锌 铝
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柔性衬底氧化物半导体透明导电膜的研究进展 被引量：14
2
作者 郝晓涛 张德恒 +5 位作者 马瑾 杨莺歌 王卿璞 程传福 田茂华 马洪磊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期354-356,359,共4页
回顾和评述了柔性衬底氧化物透明导电膜 (包括锡掺杂的三氧化二铟ITO薄膜、铝掺杂的氧化锌AZO薄膜等 )的研究进展情况。报道了在柔性衬底上制备的ITO膜、ZnO膜的光电性质对衬底种类、制备工艺以及制备参数的依赖关系 。
关键词 柔性衬底 氧化物半导体 透明导电膜 研究进展
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柔性衬底ITO膜的性质与制备参数关系的研究 被引量：11
3
作者 杨志伟 韩圣浩 +3 位作者 杨田林 叶丽娜 马洪磊 韩锡贵 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期256-261,共6页
用偏压磁控溅射法在水冷PPA(PolypropyleneAdipate)聚脂胶片上制备了性能优良的ITO(IndiumTinOxide)透明导电膜 ,对薄膜的光电性质进行了研究。制备样品的相对透过率为 80 %左右、最小电阻率为 6 .3× 10 -4 Ωcm ,与衬底附着良好... 用偏压磁控溅射法在水冷PPA(PolypropyleneAdipate)聚脂胶片上制备了性能优良的ITO(IndiumTinOxide)透明导电膜 ,对薄膜的光电性质进行了研究。制备样品的相对透过率为 80 %左右、最小电阻率为 6 .3× 10 -4 Ωcm ,与衬底附着良好。当衬底负偏压为 40V时 ,晶粒平均尺寸最大为 5 5nm ,相应地自由载流子霍耳迁移率有最大值为 89 3cm2 /Vs,薄膜的电阻率有最小值。X射线衍射表明薄膜为多晶纤锌矿结构 ,垂直于衬底的C轴具有 [2 2 2 ]方向的择优取向 ,随衬底负偏压的增大 ,沿 [4 0 0 ]方向生长的晶相减少。最佳衬底负偏压取值范围为 2 0～ 40V。XPS分析表明随衬底负偏压的增大 ,薄膜中的氧空位浓度最大 。 展开更多
关键词 光电性质 溅射 柔性衬底 ITO膜
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用电子束蒸发法低温无损情况下在有机柔性衬底上制作ITO膜及其性能研究 被引量：10
4
作者 李胜林 冯凯 +2 位作者 刘浩然 刘国华 张德贤 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期303-305,共3页
在有机材料柔性衬底上沉积ITO膜 ,需要在低温及无损伤 (即避免离子轰击及热损伤等 )情况下进行。为满足此要求 ,采用电子束蒸发法来实现在PI衬底上沉积ITO膜 ,对沉积参数如电子束特性、氧分压及衬底温度对薄膜质量的影响进行了研究 ;对... 在有机材料柔性衬底上沉积ITO膜 ,需要在低温及无损伤 (即避免离子轰击及热损伤等 )情况下进行。为满足此要求 ,采用电子束蒸发法来实现在PI衬底上沉积ITO膜 ,对沉积参数如电子束特性、氧分压及衬底温度对薄膜质量的影响进行了研究 ;对薄膜结构、表面形貌、电学及光学特性进行了检测。最后 ,在PI衬底上获得高质量ITO膜 ,其可见光透过率超过90 % ,电阻率低于 5× 10 -4Ω·cm。 展开更多
关键词 柔性衬底 无损 ITO膜 电子束蒸发法 衬底温度 性能研究 高质量 沉积参数 光透过率 薄膜结构
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利用射频磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO:Zr透明导电薄膜(英文) 被引量：7
5
作者 刘汉法 张化福 +2 位作者 类成新 袁玉珍 袁长坤 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期183-186,共4页
利用射频磁控溅射法首次在室温水冷柔性衬底PET上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌(ZnO:Zr)透明导电薄膜。X射线衍射和扫描电子显微镜表明,ZnO:Zr薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有平行于衬底方向的择优取向。实验获... 利用射频磁控溅射法首次在室温水冷柔性衬底PET上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌(ZnO:Zr)透明导电薄膜。X射线衍射和扫描电子显微镜表明,ZnO:Zr薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有平行于衬底方向的择优取向。实验获得ZnO:Zr薄膜的最小电阻率为1 .55×10-3Ω.cm。实验制备的ZnO:Zr薄膜具有良好的附着性能,其可见光区平均透过率超过90 %。 展开更多
关键词 ZnO:Zr薄膜 柔性衬底 磁控溅射 透明导电薄膜
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柔性衬底非晶硅薄膜太阳电池量子效率的研究 被引量：5
6
作者 张德贤 薛颖 +5 位作者 蔡宏琨 陶科 姜元建 赵敬芳 王林申 隋妍萍 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期407-410,415,共5页
量子效率是太阳电池对光的吸收能力的评定标准之一。本文通过对柔性衬底倒结构n-i-p非晶硅薄膜太阳电池量子效率的测量,同时结合本征材料吸收特性,讨论了衬底温度和反应压强对太阳电池量子效率的影响。结果表明:本征非晶硅薄膜的吸收特... 量子效率是太阳电池对光的吸收能力的评定标准之一。本文通过对柔性衬底倒结构n-i-p非晶硅薄膜太阳电池量子效率的测量,同时结合本征材料吸收特性,讨论了衬底温度和反应压强对太阳电池量子效率的影响。结果表明:本征非晶硅薄膜的吸收特性是影响太阳电池量子效率的主要因素,同时光生载流子在本征层和界面处的复合也会对太阳电池的量子效率有所影响。经过反应条件优化得到了转换效率为5.67%的聚酰亚胺衬底太阳电池。 展开更多
关键词 柔性衬底 n-i-p太阳电池 量子效率 非晶硅薄膜
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磁控溅射制备柔性衬底ZnO：Ga透明导电膜微结构及性能研究 被引量：8
7
作者 李素敏 赵玉涛 张钊 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1233-1238,共6页
室温条件下,采用磁控溅射法在有机柔性衬底聚酰亚胺(PI)表面制备出ZnO:Ga透明导电膜,XRD表明ZnO:Ga薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜。研究了溅射功率、氩气分压、溅射时间及衬底负偏压等溅射工艺参数对薄膜结构及光电性能的影响,得出最... 室温条件下,采用磁控溅射法在有机柔性衬底聚酰亚胺(PI)表面制备出ZnO:Ga透明导电膜,XRD表明ZnO:Ga薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜。研究了溅射功率、氩气分压、溅射时间及衬底负偏压等溅射工艺参数对薄膜结构及光电性能的影响,得出最佳溅射参数分别为:功率100W,氩气分压0.1Pa,溅射时间60min,衬底负偏压40V。结果表明:磁控溅射制备的ZnO:Ga膜附着性良好,电阻率为9.4×10^(-4)Ω·cm,可见光透过率为78%。 展开更多
关键词 光电特性 柔性衬底 磁控溅射 结构 ZnO:Ga膜
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柔性衬底MEMS技术制备脑电图干电极阵列研究 被引量：4
8
作者 吴澄 陈迪 +4 位作者 胡锐军 陈景东 陈翔 王晓韡 吕宝粮 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1035-1040,共6页
设计了一种新型的脑电图干电极,主要用于采集脑电信号以进行基于脑电图的警觉度分析,替代传统的湿电极.采用柔性衬底微电子机械系统(MEMS)加工技术,在柔性衬底上制备出具有化学稳定性与生物相容性的微针状干电极阵列.通过铜牺牲层实现... 设计了一种新型的脑电图干电极,主要用于采集脑电信号以进行基于脑电图的警觉度分析,替代传统的湿电极.采用柔性衬底微电子机械系统(MEMS)加工技术,在柔性衬底上制备出具有化学稳定性与生物相容性的微针状干电极阵列.通过铜牺牲层实现干电极微针的悬臂梁结构,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)剥离层实现器件从玻璃基底的完全释放,并经平面电极的多层组装实现了立体电极阵列.实验中干电极以聚酰亚胺作为柔性衬底,其针端及导线部分材料为镍,针端部分表面镀金.采用Neuroscan的脑电信号采集放大器对干电极性能进行了测试,测得阻抗约为10kΩ,其时域和频域信号与传统湿电极基本一致.所制备的干电极成品率高、尺寸小、屏蔽佳、装配简单、可靠性好、机械强度大,符合快速、无痛的脑电信号采集要求. 展开更多
关键词 干电极阵列 柔性衬底 微电子机械系统技术 多层组装 脑电图
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利用直流磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO:Zr新型透明导电薄膜(英文) 被引量：6
9
作者 张化福 类成新 +1 位作者 刘汉法 袁长坤 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期732-737,共6页
室温下利用直流磁控溅射法在有ZnO缓冲层的柔性衬底PET上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌(ZnO∶Zr)透明导电薄膜,研究了厚度对ZnO∶Zr薄膜结构及光电性能的影响。结果表明,ZnO∶Zr薄膜为六方纤锌矿结构的多晶薄膜。实验获... 室温下利用直流磁控溅射法在有ZnO缓冲层的柔性衬底PET上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌(ZnO∶Zr)透明导电薄膜,研究了厚度对ZnO∶Zr薄膜结构及光电性能的影响。结果表明,ZnO∶Zr薄膜为六方纤锌矿结构的多晶薄膜。实验获得ZnO∶Zr薄膜的最小电阻率为2.4×10-3Ω.cm,其霍尔迁移率为18.9 cm2.V-1.s-1,载流子浓度为2.3×1020cm-3。实验制备的ZnO∶Zr薄膜具有良好的附着性能,其可见光平均透过率超过92%。 展开更多
关键词 ZnO∶Zr薄膜 柔性衬底 直流磁控溅射 透明导电薄膜
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柔性衬底白色有机电致发光器件的制备及其性能 被引量：3
10
作者 孙媛媛 华玉林 +3 位作者 郑加金 印寿根 冯秀岚 王树国 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期327-332,共6页
采用以ITO为导电层的柔性透明PET基片作为衬底,以2(2羟基苯基)苯并噻唑螯合锌(Zn(BTZ)2)作为发光层制备出结构为PET/ITO/PVK∶TPD/Zn(BTZ)2/Al明亮的近白色柔性有机小分子电致发光器件。发光的色坐标值为x=0.242,y=0.359,在25V的直流电... 采用以ITO为导电层的柔性透明PET基片作为衬底,以2(2羟基苯基)苯并噻唑螯合锌(Zn(BTZ)2)作为发光层制备出结构为PET/ITO/PVK∶TPD/Zn(BTZ)2/Al明亮的近白色柔性有机小分子电致发光器件。发光的色坐标值为x=0.242,y=0.359,在25V的直流电压驱动下,亮度为1000cd/m2,量子效率达到了0.30%。并进一步在Zn(BTZ)2中掺入橙红色染料Rubrene,制成PET/ITO/PVK∶TPD/Zn(BTZ)2∶Rubrene/Al结构器件。实现了纯白色发光(色坐标值:x=0.339,y=0.339),非常接近于白色等能点,驱动电压为25V时器件的亮度达1200cd/m2,且量子效率达0.35%。最后对器件的发光性能及机理进行了深入的研究和探讨。 展开更多
关键词 柔性衬底 白色有机电致发光 苯并噻唑螯合锌 掺杂
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磁控溅射制备柔性衬底ZnO:Ga透明导电膜研究 被引量：2
11
作者 李素敏 赵玉涛 +2 位作者 何维凤 戴起勋 张钊 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期94-97,共4页
室温下,采用磁控溅射方法在有机柔性衬底聚酰亚胺(PI)表面制备出ZnO:Ga透明导电薄膜,研究了薄膜的结构及光电性能,其附着性良好,电阻率为9．1×10-4Ω·cm,可见光透过率为 85％。
关键词 磁控溅射 ZnO:Ga膜 柔性衬底 光电特性
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柔性衬底PET上低温沉积ZnxCd(1-x)O透明导电薄膜 被引量：2
12
作者 季振国 陈敏梅 +1 位作者 张品 周强 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期361-363,共3页
利用直流反应磁控溅射在柔性衬底(聚乙烯对苯二酸脂,PET)上低温沉积了对可见光透明的低电阻率的Zn_xCd_(1-x)O薄膜,并研究了Zn含量x对Zn_xCd_(1-x)O薄膜的结晶性能、电学性能及光学性能的影响.XRD分析结果表明,当x<0.65时,薄膜为CdO... 利用直流反应磁控溅射在柔性衬底(聚乙烯对苯二酸脂,PET)上低温沉积了对可见光透明的低电阻率的Zn_xCd_(1-x)O薄膜,并研究了Zn含量x对Zn_xCd_(1-x)O薄膜的结晶性能、电学性能及光学性能的影响.XRD分析结果表明,当x<0.65时,薄膜为CdO结构,但x>0.65时,薄膜为高度取向的ZnO结构.Hall效应测试显示,当x≤0.5时,薄膜的载流子浓度很高,电阻率为10^(-3)Ω·cm的数量级;迁移率随x增加先增大,在x=0.5处达到极大值,然后随x的增加而降低.紫外可见透射谱表明,掺Zn后的Zn_xCd_(1-x)O薄膜在整个可见光波段内的透过率远远高于纯CdO薄膜的透过率.综合分析结果表明,x=0.5是低温制备的低阻、高透光性能薄膜的最佳Zn含量. 展开更多
关键词 直流磁控溅射 柔性衬底 ZnCdO薄膜 透明导电膜
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金属屏蔽罩对柔性衬底微晶硅太阳电池特性的影响 被引量：2
13
作者 刘成 安其 +3 位作者 周丽华 钱子勍 叶晓军 陈鸣波 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期124-127,共4页
通过改变硅烷浓度,采用等离子体增强化学气相沉积方法制备了在有无金属屏蔽罩两种情况下的系列微晶硅太阳电池,发现将金属屏蔽罩去除后,本征微晶硅材料的沉积速率提高约一倍,微晶相至非晶相的硅烷浓度转变点有所变化。将沉积条件应用于... 通过改变硅烷浓度,采用等离子体增强化学气相沉积方法制备了在有无金属屏蔽罩两种情况下的系列微晶硅太阳电池,发现将金属屏蔽罩去除后,本征微晶硅材料的沉积速率提高约一倍,微晶相至非晶相的硅烷浓度转变点有所变化。将沉积条件应用于不锈钢柔性衬底的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池,获得了9.28%(AM0,1353 W/m2)和11.26%(AM1.5,1000W/m2)的光电转换效率。 展开更多
关键词 柔性衬底 屏蔽罩 微晶硅 非晶硅/微晶硅 叠层太阳电池
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柔性衬底非晶硅/非晶硅锗叠层太阳电池 被引量：3
14
作者 刘成 徐正军 杨君坤 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期2191-2195,共5页
首先研究沉积温度对p型材料的影响,并应用于非晶硅锗单结太阳电池,发现在140℃下沉积的p层最适合,这与非晶硅太阳电池有较大差别。其次研究3种不同结构隧穿结对叠层太阳电池性能的影响,发现p+-nc-Si/n+-a-Si隧穿结最优。在上述基础上,... 首先研究沉积温度对p型材料的影响,并应用于非晶硅锗单结太阳电池,发现在140℃下沉积的p层最适合,这与非晶硅太阳电池有较大差别。其次研究3种不同结构隧穿结对叠层太阳电池性能的影响,发现p+-nc-Si/n+-a-Si隧穿结最优。在上述基础上,获得效率为11.21%的柔性聚酰亚胺衬底非晶硅/非晶硅锗叠层太阳电池。 展开更多
关键词 柔性衬底 非晶硅 非晶硅锗 叠层太阳电池 隧穿结
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隧穿结对柔性衬底非晶硅/微晶硅叠层太阳电池特性的影响 被引量：2
15
作者 周丽华 刘成 +2 位作者 叶晓军 钱子勍 陈鸣波 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1136-1140,共5页
采用等离子体化学气相沉积(PECVD)方法在不锈钢柔性衬底上制备了不同厚度的硅基p+/n+隧穿结,应用于非晶硅/微晶硅叠层太阳电池,分析了其对太阳电池电学和光学特性的影响。发现p+层厚度增加后,电池的开路电压提高,短路电流密度减小;随着n... 采用等离子体化学气相沉积(PECVD)方法在不锈钢柔性衬底上制备了不同厚度的硅基p+/n+隧穿结,应用于非晶硅/微晶硅叠层太阳电池,分析了其对太阳电池电学和光学特性的影响。发现p+层厚度增加后,电池的开路电压提高,短路电流密度减小;随着n+层厚度的变化,电池的短路电流密度和填充因子均存在一个最佳值。将优化后的p+/n+隧穿结分别应用于不锈钢衬底和聚酰亚胺衬底的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池,分别获得了9.95%(AM0,1353 W/m2)和9.87%(AM0,1353 W/m2)的光电转换效率。 展开更多
关键词 柔性衬底 隧穿结 非晶硅/微晶硅 叠层太阳电池
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化学水浴法制备柔性衬底的ZnO纳米棒阵列 被引量：3
16
作者 蒋里锋 董云飞 黄培 《南京工业大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2014年第2期73-77,共5页
利用化学水浴法在预先制备的聚酰亚胺(PI)/ZnO薄膜衬底上生长ZnO纳米棒阵列。通过X线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对ZnO纳米棒阵列进行表征。考察衬底的性质、反应溶液的浓度、反应温度和反应时间对ZnO纳米棒阵列的影响。结果表明:... 利用化学水浴法在预先制备的聚酰亚胺(PI)/ZnO薄膜衬底上生长ZnO纳米棒阵列。通过X线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对ZnO纳米棒阵列进行表征。考察衬底的性质、反应溶液的浓度、反应温度和反应时间对ZnO纳米棒阵列的影响。结果表明:c轴取向生长的ZnO薄膜衬底有助于形成六棱柱形ZnO纳米棒晶体。水溶液环境中生长的ZnO纳米棒晶体长径比受到反应溶液浓度和温度的影响。ZnO生长初期c轴方向生长速度较快,经过一段时间后纳米棒的直径开始增大,并且能和周围的纳米棒晶体融合生长形成更大的纳米棒晶体。 展开更多
关键词 ZNO纳米棒阵列 化学水浴法 聚酰亚胺 柔性衬底
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柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池研究进展 被引量：2
17
作者 王松 谢明 +1 位作者 张吉明 杨有才 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1276-1280,共5页
柔性衬底铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池以其生产成本低、光电转化率高以及更多的应用可能性等优势成为当前最具发展潜力的薄膜太阳能电池。对柔性衬底CIGS太阳电池的结构、特性以及衬底材料作了简单介绍。分析了多元共蒸发法、金属预置层后... 柔性衬底铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池以其生产成本低、光电转化率高以及更多的应用可能性等优势成为当前最具发展潜力的薄膜太阳能电池。对柔性衬底CIGS太阳电池的结构、特性以及衬底材料作了简单介绍。分析了多元共蒸发法、金属预置层后硒化法以及非真空沉积法等CIGS光吸收层制备方法的优缺点,并简要阐述了钠的掺杂与绝缘层材料的使用。综述了柔性衬底CIGS太阳能电池近年来的研究进展,最后就柔性衬底CIGS太阳能电池的研发与产业化过程中存在的问题作了分析与归纳。 展开更多
关键词 柔性衬底CIGS太阳能电池 研究进展 制备技术产业化
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柔性衬底上铝背电极制备及相关特性研究 被引量：1
18
作者 岳红云 吴爱民 +3 位作者 冯煜东 胡娟 张学宇 李廷举 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期210-214,共5页
采用射频磁控溅射技术在聚酰亚胺柔性衬底上制备硅基薄膜太阳能电池用铝背电极,研究了不同溅射功率和工作气压条件对铝电极薄膜性能的影响.利用原子力显微镜分析表征了薄膜的表面形貌和粗糙度,薄膜的电学性能和光学性能分别采用四探针... 采用射频磁控溅射技术在聚酰亚胺柔性衬底上制备硅基薄膜太阳能电池用铝背电极,研究了不同溅射功率和工作气压条件对铝电极薄膜性能的影响.利用原子力显微镜分析表征了薄膜的表面形貌和粗糙度,薄膜的电学性能和光学性能分别采用四探针测量仪和紫外可见近红外分光光度计进行分析表征.测试结果表明:随着溅射功率的增加,薄膜表面均方根粗糙度迅速增加,漫反射率提高,薄膜的最高平均漫反射率高达70%;同时薄膜电阻率降低.工作气压为0.5Pa时所制备的薄膜具有较低的电阻率和良好的漫反射率.综合考虑薄膜的电学性能与光学性能,薄膜的最佳制备条件为溅射功率300～450W、工作气压0.5Pa. 展开更多
关键词 薄膜太阳能电池 柔性衬底 背电极 反射光谱
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基于柔性衬底的ZnO葡萄糖酶电极制备及特性(英文) 被引量：1
19
作者 李金华 李静 +2 位作者 方铉 王晓华 魏志鹏 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1393-1397,共5页
通过水热法在长有ZnO籽晶层的柔性聚酰亚胺(PI)衬底上生长了整齐的ZnO纳米棒,ZnO纳米棒的晶体结构和表面形貌通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等进行表征.通过静电吸附方式,将葡萄糖氧化酶(GOx)固定在其表面.分别对GOx及修饰前... 通过水热法在长有ZnO籽晶层的柔性聚酰亚胺(PI)衬底上生长了整齐的ZnO纳米棒,ZnO纳米棒的晶体结构和表面形貌通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等进行表征.通过静电吸附方式,将葡萄糖氧化酶(GOx)固定在其表面.分别对GOx及修饰前后的ZnO纳米棒进行了紫外-可见光谱表征,发现修饰后存在ZnO的吸收峰和GOx的特征吸收峰,表明GOx固定在ZnO表面.通过对修饰样品进行傅里叶变换红外(FTIR)光谱测试发现了与GOx相关的吸收峰,这进一步表明GOx仍保持生物活性.最后在循环伏安曲线的测试中,这种在柔性衬底上制备的生物酶电极表现出非常灵敏的电流响应,为制备柔性葡萄糖生物传感器奠定了实验基础. 展开更多
关键词 葡萄糖氧化酶 柔性衬底 生物传感器 氧化锌
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在柔性衬底上制备透明导电薄膜ZnO:Zr(英文) 被引量：1
20
作者 张化福 类成新 +2 位作者 刘汉法 袁玉珍 袁长坤 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期153-157,共5页
采用射频磁控溅射法在室温柔性衬底PET上制备了掺锆氧化锌(ZZO)透明导电薄膜。利用不同方法提高了ZZO薄膜的电阻率而未使其可见光透过率降低。X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表明,ZZO薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜。在有机衬底... 采用射频磁控溅射法在室温柔性衬底PET上制备了掺锆氧化锌(ZZO)透明导电薄膜。利用不同方法提高了ZZO薄膜的电阻率而未使其可见光透过率降低。X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表明,ZZO薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜。在有机衬底和玻璃衬底上制备ZZO薄膜的择优取向不同,前者为(100)晶面,而后者为(002)晶面。在有ZnO缓冲层的PET衬底上制备的ZZO薄膜电阻率比直接生长在玻璃衬底样品上的小。通过优化参数,在PET衬底上制备出了最小电阻率为1.7×10-3Ω.cm、可见光透过率超过93%的ZZO薄膜。实验表明,镀膜之前在柔性衬底上沉积ZnO缓冲层能有效地提高ZZO薄膜的质量。 展开更多
关键词 掺锆氧化锌薄膜 柔性衬底 磁控溅射 透明导电薄膜
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