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基于柔性薄膜阵列压力传感器的抱闸故障诊断 被引量:3
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作者 皮瑶 刘惠康 李倩 《高技术通讯》 CAS 2021年第8期836-843,共8页
抱闸制动装置广泛应用于工业提升装置、民用曳引式电梯,针对抱闸制动器的运行状态监测和故障诊断,本文提出一种基于柔性薄膜阵列压力传感器的故障诊断方法,运用卷积神经网络(CNN)对传感器的数据进行处理达到故障诊断的目的。本文在LeNet... 抱闸制动装置广泛应用于工业提升装置、民用曳引式电梯,针对抱闸制动器的运行状态监测和故障诊断,本文提出一种基于柔性薄膜阵列压力传感器的故障诊断方法,运用卷积神经网络(CNN)对传感器的数据进行处理达到故障诊断的目的。本文在LeNet5模型的基础上引入跨连接部分,将网络结构中提取的低层次特征与高层次特征相结合,经过全连接层达到多分类的目的。通过训练来自柔性薄膜阵列压力传感器的实验数据,该模型实现了4种基本抱闸故障和正常状态的自动识别。实验结果表明,改进的LeNet卷积神经网络模型在抱闸故障诊断上的检测正确率达到99.19%,该模型在同一训练数据集上的表现明显优于传统的LeNet5模型。 展开更多
关键词 柔性薄膜阵列压力传感器 LeNet模型 跨连接 抱闸制动器 故障诊断
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阵列式柔性薄膜传感器的快速扫描实现
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作者 刘丰铨 尹锡轩 +3 位作者 郭伟东 牛鑫蕊 东浩 胡正发 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第8期102-105,共4页
柔性薄膜传感器由于具有极高的柔韧性和可拓展性,可生产出不同大小的面积形状,通过阵列式排布,可以设计出大尺寸、多样化与数据实时特点的集成传感器模块。但对于大尺寸阵列式柔性薄膜的数据实时采集的方法仍存在挑战,本文基于STM32单... 柔性薄膜传感器由于具有极高的柔韧性和可拓展性,可生产出不同大小的面积形状,通过阵列式排布,可以设计出大尺寸、多样化与数据实时特点的集成传感器模块。但对于大尺寸阵列式柔性薄膜的数据实时采集的方法仍存在挑战,本文基于STM32单片机以及一块4×4(可拓展)的阵列式柔性薄膜,经STM32控制,实现阵列式快速扫描,实时快速地定位出信号来源并反馈出在该薄膜单元的压力变化值。 展开更多
关键词 柔性薄膜 阵列 快速扫描 传感器 压力应变
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硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试 被引量:1
3
作者 陈绍凤 夏善红 《液晶与显示》 CAS CSCD 2002年第1期34-38,共5页
封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ,在计算机模拟计算的基础上 ,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ,得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ,电压 45... 封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ,在计算机模拟计算的基础上 ,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ,得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ,电压 45V时发射电流可达到86mA ,平均每个硅尖为 2 1 μA)、压力特性曲线 (呈线性变化 ,与计算机模拟计算的曲线相近 )及灵敏度数据。电压 1 .5V即可测试并且其压力特性成线性变化 ,灵敏度为 0 .3 μA/kPa。 展开更多
关键词 真空微电子压力传感器 压力特性 测试 硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极 计算机模拟
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电容阵列柔性压力传感器设计与分析 被引量:10
4
作者 郭士杰 肖杰 +1 位作者 刘今越 贾晓辉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期49-55,共7页
针对现有的柔性电容式压力传感器精度低、重复性差、大面积应用难度大等缺点,设计了一种柔性电容式压力传感器,可用于生理信息监测或机器人皮肤等领域。该传感器结构基于交叉电极式电容阵列,材料及制备工艺简单,易于大面积扩展应用,可... 针对现有的柔性电容式压力传感器精度低、重复性差、大面积应用难度大等缺点,设计了一种柔性电容式压力传感器,可用于生理信息监测或机器人皮肤等领域。该传感器结构基于交叉电极式电容阵列,材料及制备工艺简单,易于大面积扩展应用,可对接触状态进行定量反馈。实验表明,该传感器能够感知0~70 k Pa范围的压强,可清晰分辨人手、脚等接触压力信息;电容灵敏度约1.17%V/k Pa;响应速度可达30 f/s,可实现压力信息的实时图形化显示。 展开更多
关键词 柔性电容式压力传感器 电容阵列 信号处理 压力图形化
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基于柔性薄膜传感器的服装压力检测仪研制 被引量:3
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作者 刘杰 高志 《纺织学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第12期159-165,共7页
为增大服装压力检测装置中传感器与人体贴合的顺应性,进而提高服装压力测量的精确度,提出了使用柔性薄膜传感器进行服装压力测量的方法。以聚氯乙烯作为柔性基体,包覆导电纤维制成柔性传感器,将传感器连通缓冲气室,与气泵、排气阀构成... 为增大服装压力检测装置中传感器与人体贴合的顺应性,进而提高服装压力测量的精确度,提出了使用柔性薄膜传感器进行服装压力测量的方法。以聚氯乙烯作为柔性基体,包覆导电纤维制成柔性传感器,将传感器连通缓冲气室,与气泵、排气阀构成气动回路,实现服装压力与气室压力的转换;基于开发的柔性传感器,选用可编程逻辑控制器作为主控单元,研制了一款可触屏操作和存储、打印数据的服装压力检测仪;完成系统标定后通过重复性实验,验证了检测仪的测量精度和可行性,6次测量结果最大标准偏差为0.0885。研究认为,该检测仪可准确完成多点服装压力的实时测量,适用于压力服装的出厂压力检测,也为服装压力检测方法的研究、控制元件选择等提供新思路。 展开更多
关键词 服装压力检测 柔性薄膜传感器 可编程逻辑控制器 触摸屏界面设计 多项式拟合方法
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柔性PZT复合薄膜压力传感器的研究进展 被引量:1
6
作者 任扬帆 高国伟 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 2023年第10期1-15,共15页
随着柔性传感器技术在人工智能、电子皮肤等领域的应用,柔性PZT复合薄膜压力传感器因具有高柔性以及高压电性能深受研究者的青睐。柔性PZT传感器作为先进智能设备的重要组成部分,对未来机器人电子皮肤以及智慧医疗的进步有重大推动作用... 随着柔性传感器技术在人工智能、电子皮肤等领域的应用,柔性PZT复合薄膜压力传感器因具有高柔性以及高压电性能深受研究者的青睐。柔性PZT传感器作为先进智能设备的重要组成部分,对未来机器人电子皮肤以及智慧医疗的进步有重大推动作用。将从柔性PZT复合薄膜压力传感器的工作原理与制备、研究现状及应用等方面进行综述,最后对传感器的现状进行了总结分析,并对传感器的未来发展进行展望。 展开更多
关键词 柔性PZT传感器 压力传感器 复合薄膜 压电 触觉
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基于多孔PDMS薄膜介电层的柔性压力传感器 被引量:11
7
作者 李玲 岳凤英 +2 位作者 乔霖 申恒瑞 索艳春 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第4期15-19,共5页
提出一种基于多孔弹性体薄膜介电层的电容式压力传感器。该多孔弹性体薄膜是由液体相位分离原理制作而成。首先将去离子水与聚二甲基硅氧烷(PDMS)以一定比例均匀混合,随后将溶剂蒸发后形成多孔复合弹性薄膜。以ITO为电极材料,PET为柔性... 提出一种基于多孔弹性体薄膜介电层的电容式压力传感器。该多孔弹性体薄膜是由液体相位分离原理制作而成。首先将去离子水与聚二甲基硅氧烷(PDMS)以一定比例均匀混合,随后将溶剂蒸发后形成多孔复合弹性薄膜。以ITO为电极材料,PET为柔性基底,多孔弹性体薄膜为介电层,将两电极面对面层压封装,得到电容式柔性压力传感器。由于均匀孔结构的存在,薄膜介电层在压力作用下能发生较大形变。研究结果表明,基于多孔薄膜介电层的压力传感器的灵度为0.58kPa-1,具有良好的稳定性和重复性;传感器阵列能够准确地检测表面压力分布。制作的柔性压力传感器具有高灵敏度、低成本的特点,可用于人机交互界面、电子皮肤传感和细微压力变化监控等方面。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 PDMS 多孔薄膜 电子皮肤
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压阻式柔性压力传感器阵列信号采集系统设计 被引量:11
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作者 周瑞 李时维 +1 位作者 李绍成 郭晓磊 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第9期104-107,共4页
针对触觉传感检测的实际需求,基于STM32单片机,采用分档分压与恒流源相结合的方法设计了一种压阻式柔性压力传感器阵列信号采集系统;基于串口通信技术设计了计算机信号读取与分析系统。设计开发的系统可以实现传感器阵列信号的实时采集... 针对触觉传感检测的实际需求,基于STM32单片机,采用分档分压与恒流源相结合的方法设计了一种压阻式柔性压力传感器阵列信号采集系统;基于串口通信技术设计了计算机信号读取与分析系统。设计开发的系统可以实现传感器阵列信号的实时采集、分析和存储,系统稳定性较好。采用标准电阻对研制的信号采集系统进行了性能检验,系统测量阻值与标准阻值的误差在1%以内,表明设计的信号采集系统满足压阻式柔性压力传感器阵列的检测需求。 展开更多
关键词 压阻式柔性压力传感器阵列 STM32单片机 信号采集
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基于传感器阵列的柔性接头组件成型工艺过程压力测试系统 被引量:2
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作者 刘兵 吕中卿 +1 位作者 刘承佳 张龙飞 《固体火箭技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期642-647,共6页
针对固体火箭发动机柔性接头组件室温粘接、加压固化成型工艺过程中存在的加压压力分布参数难以在线监测等问题,建立了采用薄膜压力传感器阵列的柔性接头成型压力测试系统,用于监测成型过程中柔性接头组件所受压力的大小和分布。研究了... 针对固体火箭发动机柔性接头组件室温粘接、加压固化成型工艺过程中存在的加压压力分布参数难以在线监测等问题,建立了采用薄膜压力传感器阵列的柔性接头成型压力测试系统,用于监测成型过程中柔性接头组件所受压力的大小和分布。研究了压力测试系统在柔性接头成型工艺条件下的在线监测适用性,分析了柔性接头组件受压变化及结构误差的影响。结果表明,该研究建立的压力测试系统具有1%左右的测试线性度和10 k Hz以上的动态响应特性,能够有效测试1.5 MPa以下曲面压力场,最大压差为0.03 MPa,所测压力分布反映了成型过程中的变化,满足接头成型工艺测试要求。测试结果对于理解柔性接头成型工艺过程中的粘接剂流动等,为通过进一步优化工艺参数和减少结构误差、实现对柔性接头成型质量的有效控制有所帮助。 展开更多
关键词 传感器阵列 固体火箭发动机 柔性接头 压力测试系统 工艺监测 薄膜传感器
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基于微结构导电薄膜的柔性压力传感器 被引量:4
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作者 杨云鹏 张婕 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第2期64-67,79,共5页
针对柔性压力传感器中刚性导电材料和柔性基材之间结合界面较弱,易出现开裂和脱落的问题,通过将导电材料嵌入聚合物表面,实现了两者的稳定连接,并制备了具有微观结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)柔性导电薄膜,然后通过面对面组装的方式完成... 针对柔性压力传感器中刚性导电材料和柔性基材之间结合界面较弱,易出现开裂和脱落的问题,通过将导电材料嵌入聚合物表面,实现了两者的稳定连接,并制备了具有微观结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)柔性导电薄膜,然后通过面对面组装的方式完成了柔性压力传感器的制备。结果表明:表面嵌入导电材料的柔性薄膜性能稳定,在多次试验后,未出现裂纹或脱落的现象;与文献中报道的常规方法相比,具有工艺简单,结合界面稳定的优点。制备的柔性压力传感器在0~1 kPa范围内,具有高灵敏度(0.34 kPa^(-1))和快速响应(<200 ms),可准确检测到手指触摸时的微小压力。因此有望应用于柔性机器人触觉和人机交互界面等领域。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 微结构 聚二甲基硅氧烷导电薄膜
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柔性压力传感阵列弯曲应变与温变联合补偿方法
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作者 陈翰 何聪 +3 位作者 许祖锋 张远媛 张为 朱城磊 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期423-429,共7页
围绕柔性压力传感器阵列在弯曲且温度变化的物体表面进行压力测量时会表现出复杂的压力特性,提出了基于深度相机与红外相机的传感器联合补偿装置,介绍了联合补偿装置获取各传感单元补偿参考量与计算真实压力值的方法。采用COMSOL软件对... 围绕柔性压力传感器阵列在弯曲且温度变化的物体表面进行压力测量时会表现出复杂的压力特性,提出了基于深度相机与红外相机的传感器联合补偿装置,介绍了联合补偿装置获取各传感单元补偿参考量与计算真实压力值的方法。采用COMSOL软件对柔性压力传感器阵列进行仿真建模,搭建了各传感单元弯曲应变量各不相同的仿真场景,生成了弯曲应变与温变联合补偿模型的样本集。构建了基于BP神经网络的柔性压力传感器阵列弯曲应变与温变联合补偿模型,经计算验证,压力补偿值与真实值之间的相对误差百分比控制在0.4%以内,补偿效果明显,满足了各传感单元弯曲应变情况不同需要实现精准补偿的需求,对于柔性压力传感器阵列的实际应用具有借鉴作用。 展开更多
关键词 柔性压力传感器阵列 压力补偿 补偿装置 COMSOL BP神经网络
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阵列式薄膜锰铜传感器的研究 被引量:2
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作者 滕林 杨邦朝 杜晓松 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2005年第4期61-63,共3页
采用薄膜工艺制备适合高压力测量的阵列式传感器,文中介绍了该传感器的制造工艺、工作原理。动态加载实验表明,传感器阵列的压阻一致性好,无高压旁路效应,响应时间低于30ns,验证了薄膜锰铜传感器高压测试的准确性和可靠性。
关键词 锰铜传感器 压阻系数 阵列 薄膜 薄膜工艺 高压测试 传感器阵列 压力测量 制造工艺 工作原理
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用于边界层分离点检测的微型压力传感器阵列研究 被引量:1
13
作者 陈爽 朱名铨 +2 位作者 邓进军 马炳和 姜澄宇 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期148-150,共3页
基于边界层流动与分离的特性,探讨了根据表面压力分布变化,检测物体表面边界层分离点的测量方法.根据边界层分离点测量的特点,给出了一种基于柔性衬底的微型压力传感器阵列的结构设计,并对背引线技术进行了初步研究.设计的微型压力传感... 基于边界层流动与分离的特性,探讨了根据表面压力分布变化,检测物体表面边界层分离点的测量方法.根据边界层分离点测量的特点,给出了一种基于柔性衬底的微型压力传感器阵列的结构设计,并对背引线技术进行了初步研究.设计的微型压力传感器阵列可有效满足边界层分离点的检测要求,进一步拓展了MEMS器件的工程应用范围. 展开更多
关键词 分离点 表面压力分布 微型压力传感器阵列 柔性衬底 背引线
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基于微型压力传感器阵列的翼面压力分布直接测量系统 被引量:6
14
作者 常莹 马炳和 +2 位作者 邓进军 陈爽 苑伟政 《实验流体力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期89-93,共5页
研发了微型压力传感器并构成柔性衬底基阵列,直接置于翼型外表面实现压力分布测量。结合传感器特性和气动测量需求,设计了压力传感器阵列恒流驱动电路和差分滤波电路,并通过LabVIEW调用所开发的MATLAB的应用程序实现了数据的在线处理和... 研发了微型压力传感器并构成柔性衬底基阵列,直接置于翼型外表面实现压力分布测量。结合传感器特性和气动测量需求,设计了压力传感器阵列恒流驱动电路和差分滤波电路,并通过LabVIEW调用所开发的MATLAB的应用程序实现了数据的在线处理和实时显示。结合NACA0012翼型对该测压系统进行了低速风洞实验,对其有效进行了初步验证。 展开更多
关键词 微型压力传感器阵列 柔性衬底 翼面 压力分布 实时测量
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基于GNPs/PDMS复合薄膜的柔性压阻传感器制备及性能研究 被引量:1
15
作者 魏国 廖宁波 章城 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期536-542,共7页
目前柔性压力传感器已被用于众多领域,其中压阻薄膜是柔性压力传感器的核心。将石墨烯纳米片(GNPs)与聚二甲基硅氧烷(PDMS)复合,通过倒模的方法制备压阻薄膜,经测试,GNPs浓度为8%时,材料具有较好的性能。以此为基础,制备了压敏结构间距... 目前柔性压力传感器已被用于众多领域,其中压阻薄膜是柔性压力传感器的核心。将石墨烯纳米片(GNPs)与聚二甲基硅氧烷(PDMS)复合,通过倒模的方法制备压阻薄膜,经测试,GNPs浓度为8%时,材料具有较好的性能。以此为基础,制备了压敏结构间距为1.2 mm、直径大小为1.0 mm的GNPs/PDMS基压阻传感器,经测试,所制备传感器的加载响应时间为340 ms,卸载响应时间为260 ms,并具有较好的稳定性,同时,基于该压阻式柔性压力传感器实现了人体手腕关节处压力信号的测试。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 复合薄膜 石墨烯纳米片 聚二甲基硅氧烷
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基于双层微结构电极的柔性电容式压力传感器 被引量:6
16
作者 张鹏 陈昱丞 +1 位作者 张建 李玉霞 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2020年第5期11-13,17,共4页
为了研究电容式传感器电极表面有微结构对自身灵敏度的影响,设计了一种基于双层微结构电极的电容式压力传感器,其以表面溅射有导电金属的带有金字塔微结构的PDMS薄膜作为上下层电极。该方法设计的传感器能够明显地提高传感器的性能,灵... 为了研究电容式传感器电极表面有微结构对自身灵敏度的影响,设计了一种基于双层微结构电极的电容式压力传感器,其以表面溅射有导电金属的带有金字塔微结构的PDMS薄膜作为上下层电极。该方法设计的传感器能够明显地提高传感器的性能,灵敏度可达0.34 kPa-1,是无微结构电极传感器灵敏度的17倍,具有低的检测极限(最低为20 Pa)、较快的响应时间(200 ms)和可靠的重复性。实验表明,该传感器能够实时快速地的检测外部压力的变化。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 电容式传感器 微结构电极 金字塔阵列 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
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电动跑步机上步态特征获取系统的设计 被引量:9
17
作者 杨先军 李春丽 +3 位作者 夏懿 刘建强 王俊青 孙怡宁 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期751-755,共5页
将柔性阵列压力传感技术应用到跑步机上,设计了一种新的在跑步机上获取步态特征的系统。该系统可以准确获取步长、步频、腾空时间和支撑时间等4个步态特征指标,用于跑步机上跑步的步态特征分析。通过研究不同速度下训练者的步态特征,发... 将柔性阵列压力传感技术应用到跑步机上,设计了一种新的在跑步机上获取步态特征的系统。该系统可以准确获取步长、步频、腾空时间和支撑时间等4个步态特征指标,用于跑步机上跑步的步态特征分析。通过研究不同速度下训练者的步态特征,发现训练者会通过调整步频和步长以达到设定的跑步机跑速;同时,训练者在不同速度下调整的方式是不同的。因此,该研究为今后在电动跑步机上实现速度自适应控制提供了很好的参考。 展开更多
关键词 柔性阵列压力传感器 跑步机 步态
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基于深度置信网络的制动器故障诊断方法 被引量:6
18
作者 李倩 刘惠康 +1 位作者 皮瑶 喻青 《高技术通讯》 CAS 2021年第10期1075-1080,共6页
针对吊车制动器故障诊断中故障机理复杂、先验知识欠缺、传统的故障诊断方法精度不高和人工依赖大等问题,本文提出一种基于深度置信网络(DBN)的制动器故障诊断方法。该方法通过柔性薄膜传感器阵列获取制动器不同工况的实时特征数据及信... 针对吊车制动器故障诊断中故障机理复杂、先验知识欠缺、传统的故障诊断方法精度不高和人工依赖大等问题,本文提出一种基于深度置信网络(DBN)的制动器故障诊断方法。该方法通过柔性薄膜传感器阵列获取制动器不同工况的实时特征数据及信号,利用网络的无监督特征学习和有监督微调,构建制动器故障诊断的深层网络模型,从而实现了对制动器的故障诊断及预测。最后,分别与支持向量机(SVM)和遗传算法(GA)优化的BP神经网络(GA-BP)进行了对比研究,通过实验证明了本文方法的优越性。 展开更多
关键词 深度置信网络(DBN) 吊车制动器 故障诊断 柔性薄膜传感器阵列
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面接触传感技术及其应用研究现状及展望 被引量:1
19
作者 余震 张晨阳 余静娴 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2020年第6期143-151,共9页
在传感器技术应用领域中,具有优越延展性和敏感传感特性且适用于面接触感测的接触传感技术成为研究的热点之一。从面接触传感器的材料、结构等方面综述了国内外面接触传感器的研究进展及其在汽车轮胎检测、人体工程学及医学等领域的应用... 在传感器技术应用领域中,具有优越延展性和敏感传感特性且适用于面接触感测的接触传感技术成为研究的热点之一。从面接触传感器的材料、结构等方面综述了国内外面接触传感器的研究进展及其在汽车轮胎检测、人体工程学及医学等领域的应用,并指出了目前面接触传感技术待解决的问题。面接触传感可通过新材料、新原理及新结构等先进技术手段的应用,来提高面接触传感系统的感测性能,为未来面接触传感技术朝着高性能、高适应性、可拓展及多功能化方向发展提供研究依据。 展开更多
关键词 面接触压力 阵列传感器 柔性
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