检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究被引量：7: 1; 作者吴义伯侯安州 +3 位作者倪鹤南徐爱兰惠春任秋实《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1018-1020,1036,共4页; 基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一... 展开更多; 关键词柔性微电极阵列聚对二甲苯微加工工艺神经接口; 在线阅读下载PDF 职称材料

简易低成本柔性神经微电极制作方法被引量：12: 2; 作者周洪波李刚 +5 位作者张华孙晓娜姚源金庆辉赵建龙任秋实《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1056-1063,共8页; 提出了一种简单、低成本的植入式柔性薄膜神经微电极的制作工艺和方法。该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durim-ide 7510)代替传统方法中的非光敏型聚酰亚胺或聚对二甲苯作为微电极基质材料,同时设计了一种基于应力集中的凹槽结构以保证所得... 展开更多; 关键词柔性微电极神经假体聚酰亚胺凹槽结构牺牲层; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于视觉修复的柔性神经微电极阵列的电学性能表征: 3; 作者吴义伯徐爱兰 +2 位作者惠春任秋实李刚《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2527-2531,共5页; 用于视网膜修复的神经微电极阵列（MEAs）是当前国内外研究的热点问题之一。本文提出了一种以新型材料——聚对二甲苯（Parylene）为基底的柔性神经微电极,采用MEMS技术设计了其微加工工艺,并使用电化学分析手段对制作的柔性微电极性能... 展开更多; 关键词柔性微电极阵列聚对二甲苯视觉修复微加工工艺电化学方法; 在线阅读下载PDF 职称材料

聚酰亚胺基柔性神经微电极的优化: 4; 作者朱壮晖周亮 +5 位作者周洪波李刚孙晓娜沈念朱琳赵建龙《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期85-89,共5页; 对一种聚酰亚胺基柔性神经微电极进行了结构及制作工艺等方面的优化.针对动物视网膜的刺激,设计制作了具有固定通孔结构的柔性神经微电极.在制作工艺方面,使用空气等离子体表面处理以增强金属层的黏附性,降低了微电极的界面阻抗,增强了... 展开更多; 关键词柔性微电极空气等离子体黏附性聚酰亚胺; 在线阅读下载PDF 职称材料

硬脑膜上微电极植入并记录家猫视皮层电活动被引量：1: 5; 作者刘娜石卫卫 +2 位作者陈丽峰侯文生阴正勤《第三军医大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第11期1103-1105,共3页; 目的建立初级视皮层区硬脑膜上柔性微电极阵列记录视皮层电活动的方法,比较黑白棋盘格图形和黑白闪烁刺激在诱发视觉诱发电位(visual evoked potential,VEP)方面的差异。方法成年健康家猫5只,静脉持续麻醉,肌松、呼吸机人工通气,采用自... 展开更多; 关键词硬脑膜外微创手术柔性微电极阵列视皮层假体视觉诱发电位; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究被引量：7: 1; 作者吴义伯侯安州倪鹤南徐爱兰惠春任秋实; 机构上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学生命科学技术学院; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1018-1020,1036,共4页; 基金国家973资助项目(G2005CB7243002); 文摘基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等。该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势。; 关键词柔性微电极阵列聚对二甲苯微加工工艺神经接口; Keywords flexible microelectrode arrays parylene MEMS process neural interface; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名简易低成本柔性神经微电极制作方法被引量：12: 2; 作者周洪波李刚张华孙晓娜姚源金庆辉赵建龙任秋实; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海交通大学激光与生物医学研究所; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1056-1063,共8页; 基金国家973计划资助项目(No.2005CB724305) 上海市科委资助项目(No.06XD14037No.0652nm016) 上海-应用材料研究与发展基金资助项目(No.06SA01); 文摘提出了一种简单、低成本的植入式柔性薄膜神经微电极的制作工艺和方法。该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durim-ide 7510)代替传统方法中的非光敏型聚酰亚胺或聚对二甲苯作为微电极基质材料,同时设计了一种基于应力集中的凹槽结构以保证所得微电极形状的规整性,且采用了一种基于硅导电性通过电化学腐蚀牺牲层的方法来实现微电极从支撑基片表面的完整自动释放。整个制作工艺简单,仅需两次光刻和两次金属沉积。测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性,结果表明,这种方法大大降低了制作成本并缩短了周期。; 关键词柔性微电极神经假体聚酰亚胺凹槽结构牺牲层; Keywords flexible microelectrode neural prostheses polyimide groove sacrificial layer; 分类号 TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] R338 [医药卫生—人体生理学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于视觉修复的柔性神经微电极阵列的电学性能表征: 3; 作者吴义伯徐爱兰惠春任秋实李刚; 机构上海交通大学生命科学技术学院上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所纳米技术研究室; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2527-2531,共5页; 基金国家重点基础研究发展计划973项目(2005CB724305)资助; 文摘用于视网膜修复的神经微电极阵列（MEAs）是当前国内外研究的热点问题之一。本文提出了一种以新型材料——聚对二甲苯（Parylene）为基底的柔性神经微电极,采用MEMS技术设计了其微加工工艺,并使用电化学分析手段对制作的柔性微电极性能进行了表征。结果表明,基于Parylene柔性微电极阵列的阻抗值在中频段呈现高通特性,其阻抗值及相位角分别为2 000--100Ω和-20°,有利于实现植入式视觉假体系统对视神经进行功能性电刺激。; 关键词柔性微电极阵列聚对二甲苯视觉修复微加工工艺电化学方法; Keywords flexible microelectrode array parylene retinal prosthesis MEMS electrochemistry method; 分类号 TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名聚酰亚胺基柔性神经微电极的优化: 4; 作者朱壮晖周亮周洪波李刚孙晓娜沈念朱琳赵建龙; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院研究生院上海交通大学医学院; 出处《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期85-89,共5页; 基金国家重点基础研究发展规划资助项目(2005CB724305) 国家高技术研究发展计划资助项目(2009AA04Z326) +2 种基金上海市自然科学基金资助项目(10ZR1436200); 文摘对一种聚酰亚胺基柔性神经微电极进行了结构及制作工艺等方面的优化.针对动物视网膜的刺激,设计制作了具有固定通孔结构的柔性神经微电极.在制作工艺方面,使用空气等离子体表面处理以增强金属层的黏附性,降低了微电极的界面阻抗,增强了微电极稳定性,使之适于长期植入.优化后微电极的电极金属层牢固且具有较低的界面阻抗(43kΩ),比处理前降低了25.4%,误差减小了约4/5,具有良好的实用性.; 关键词柔性微电极空气等离子体黏附性聚酰亚胺; Keywords flexible microelectrode air-plasma adhesion polyimide; 分类号 TH74 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硬脑膜上微电极植入并记录家猫视皮层电活动被引量：1: 5; 作者刘娜石卫卫陈丽峰侯文生阴正勤; 机构第三军医大学西南医院全军眼科中心重庆大学生物工程学院生物流变科学与技术教育部重点实验室; 出处《第三军医大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第11期1103-1105,共3页; 基金国家高技术研究发展计划(863计划 2007AA04Z324)~~; 文摘目的建立初级视皮层区硬脑膜上柔性微电极阵列记录视皮层电活动的方法,比较黑白棋盘格图形和黑白闪烁刺激在诱发视觉诱发电位(visual evoked potential,VEP)方面的差异。方法成年健康家猫5只,静脉持续麻醉,肌松、呼吸机人工通气,采用自行设计的柔性微电极阵列,微创植入并固定于视皮层定位区的硬脑膜上。比较无视觉刺激和有视觉刺激的视皮层电活动,验证是否能记录到VEP;给予闪光和图形视觉刺激,记录和比较视觉诱发电位的峰值和潜伏期。结果通过微创手术将微电极阵列植入并固定在视皮层定位区的硬脑膜外;在硬脑膜外微电极阵列可记录到有效VEP;黑白棋盘格图形刺激与黑白闪烁刺激相比,前者诱发的VEP谷峰值显著高于后者(P<0.01),而诱发的VEP波谷潜伏期较后者长(P<0.05),且波峰潜伏期则显著长于后者(P<0.01)。结论在视皮层定位区硬脑膜外首创的微创植入并固定柔性微电极阵列的方法适用性、重复性好,黑白棋盘格图形刺激优于黑白闪烁刺激,经硬脑膜外利用微电极阵列记录诱发电位是可行的。; 关键词硬脑膜外微创手术柔性微电极阵列视皮层假体视觉诱发电位; Keywords epidural area microinvasive surgery flexible microelectrode array visual cortex prosthesis visual evoked potential; 分类号 R338.25 [医药卫生—人体生理学] R338.8 [医药卫生—人体生理学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究	吴义伯侯安州倪鹤南徐爱兰惠春任秋实	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2007	7	在线阅读下载PDF 职称材料
2	简易低成本柔性神经微电极制作方法	周洪波李刚张华孙晓娜姚源金庆辉赵建龙任秋实	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2007	12	在线阅读下载PDF 职称材料
3	用于视觉修复的柔性神经微电极阵列的电学性能表征	吴义伯徐爱兰惠春任秋实李刚	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	聚酰亚胺基柔性神经微电极的优化	朱壮晖周亮周洪波李刚孙晓娜沈念朱琳赵建龙	《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	硬脑膜上微电极植入并记录家猫视皮层电活动	刘娜石卫卫陈丽峰侯文生阴正勤	《第三军医大学学报》 CAS CSCD 北大核心	2011	1	在线阅读下载PDF 职称材料