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柔性微图形成型技术研究
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作者 刘伟庭 陈裕泉 《传感技术学报》 CAS CSCD 2003年第4期480-482,486,共4页
柔性微图形成型技术是微细加工技术的一个新的方向。介绍了一种新的柔性成型系统———三维定位压控微流系统 ,并用它制作了柔性微五边形。
关键词 柔性微图形成型技术 细加工技术 三维定位压控流系统 柔性电子器件 光刻技术
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