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题名用于电流测量的柔性基底磁通门传感器
被引量：3
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作者
郭博
杨尚林
刘诗斌
王天鑫
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机构
西京学院信息工程学院
北方民族大学电气信息工程学院
西北工业大学电子信息学院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第12期1822-1828,共7页
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基金
国家自然科学基金项目(62041304)
宁夏自然科学基金项目(2018AAC03128)。
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文摘
得益于可折叠弯曲的特性,在柔性基底上制备的磁通门传感器近年来得到人们的关注。在用于电流测量时,柔性结构可以在不断开电流导体的情况下,通过打开-闭合方式将导体包裹在铁芯中间,提高测量效率。然而,磁通门中的核心部件——铁芯,在弯曲之后会展现出不同的磁特性,进而影响磁通门性能。本文采用钴基非晶带材作为磁通门铁芯,研究了一种可用于电流测量的柔性磁通门制备方法,通过仿真和实物测量两种方式研究了铁芯弯曲与否对柔性磁通门性能的影响。结果表明,这种采用钴基非晶带材作为铁芯的柔性磁通门传感器展现出了非常优异的性能。其弯曲成环形之后,退磁效应下降带来的积极影响远大于铁芯磁性能下降带来的消极影响,其灵敏度不但未下降反而有大幅提高。将传感器多次弯曲后,其灵敏度和线性范围没有大的变化。因此,这种可弯曲的柔性基底磁通门适用于电流测量。
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关键词
传感器
柔性基底磁通门
MEMS
聚酰亚胺
钴基非晶
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Keywords
sensor
flexible fluxgate
MESM
PI
Cobalt-based amorphous
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分类号
TQ323.7
[化学工程—合成树脂塑料工业]
TN405.95
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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