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柔性7 nm BaTiO_(3)铁电隧穿结的电学性质研究
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作者 王琦 方曾远 +1 位作者 韦春树 刘兴鹏 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期303-311,共9页
铁电隧穿结器件因其功耗低、响应快及数据读写稳定等特点在非易失性存储器研究领域备受关注。为进一步提高铁电存储器性能,采用脉冲激光沉积技术,通过优化BaTiO_(3)的生长条件,在柔性云母衬底上制备出了7 nm厚度的BaTiO_(3)铁电隧穿结器... 铁电隧穿结器件因其功耗低、响应快及数据读写稳定等特点在非易失性存储器研究领域备受关注。为进一步提高铁电存储器性能,采用脉冲激光沉积技术,通过优化BaTiO_(3)的生长条件,在柔性云母衬底上制备出了7 nm厚度的BaTiO_(3)铁电隧穿结器件,并对其电学性质进行研究。研究发现柔性7 nm BaTiO_(3)铁电隧穿结表现出明显的阻变特性,I-V测试结果表现出典型的滞后特性,不同电压状态下,I-V曲线突出明显的开关特性,读电压仅为0.5 V;在R-V测试中,以10 ms脉宽的方波电压测试了BaTiO_(3)铁电隧穿结的电阻变化,其表现出良好的电阻滞后特性,存在明显的“存储窗口”;在保持特性测试中,电流和电阻在300 s内均维持在稳定状态,体现了良好的保持特性。采用不同导电机制模型对漏电流进行了线性拟合,主要表现为欧姆导电机制、空间电荷限制和肖特发射机制。上述结果验证了柔性BaTiO_(3)忆阻器的可行性,有利于高性能柔性铁电隧穿结器件的实现。 展开更多
关键词 铁电隧穿结 非易失性存储 柔性云母衬底 脉冲激光沉积 BaTiO_(3)
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