期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
局部高效的SEM下三维测量法
1
作者
易杰
麻绍君
+3 位作者
钟凯
李中伟
刘苗
曾鹏
《传感器与微系统》
CSCD
2019年第11期133-135,共3页
针对微纳尺度三维扫描电子显微镜(3D SEM)形貌测量方法的配套算法缺失,严重限制其应用的问题,提出了基于视差—深度映射的微纳尺度三维测量方法。首先,建立视差与样品表面深度信息的映射模型;通过引入极线校正算法用以保证视差求解准确...
针对微纳尺度三维扫描电子显微镜(3D SEM)形貌测量方法的配套算法缺失,严重限制其应用的问题,提出了基于视差—深度映射的微纳尺度三维测量方法。首先,建立视差与样品表面深度信息的映射模型;通过引入极线校正算法用以保证视差求解准确性;基于光流估计来进行对应点的匹配,获得稠密准确的视差图,保证了三维数据质量与精度;最后为了证明本文的D2D-SEM微纳尺度三维形面测量方法的有效性,与微纳测试领域较为常用的超景深三维显微镜(VHX-6000,KEYENCE)对比,对样品进行了三维测量与表征。结果表明:所提方法有效可靠。
展开更多
关键词
微纳测量
视差-深度映射
极线校准
稠密视差获取
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
局部高效的SEM下三维测量法
1
作者
易杰
麻绍君
钟凯
李中伟
刘苗
曾鹏
机构
湖南工业职业技术学院
华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2019年第11期133-135,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(51675208)
湖南省自然科学基金资助项目(2019JJ70077)
湖南省教育厅优秀青年项目(18B552)
文摘
针对微纳尺度三维扫描电子显微镜(3D SEM)形貌测量方法的配套算法缺失,严重限制其应用的问题,提出了基于视差—深度映射的微纳尺度三维测量方法。首先,建立视差与样品表面深度信息的映射模型;通过引入极线校正算法用以保证视差求解准确性;基于光流估计来进行对应点的匹配,获得稠密准确的视差图,保证了三维数据质量与精度;最后为了证明本文的D2D-SEM微纳尺度三维形面测量方法的有效性,与微纳测试领域较为常用的超景深三维显微镜(VHX-6000,KEYENCE)对比,对样品进行了三维测量与表征。结果表明:所提方法有效可靠。
关键词
微纳测量
视差-深度映射
极线校准
稠密视差获取
Keywords
micro-nano measurement
parallax-depth mapping
polar line calibration
dense parallax acquisition
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
局部高效的SEM下三维测量法
易杰
麻绍君
钟凯
李中伟
刘苗
曾鹏
《传感器与微系统》
CSCD
2019
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
