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EUV波段电光成像系统分辨率的实验研究 被引量:1
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作者 薛玲玲 陈波 李玉民 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期529-531,共3页
基于微通道板 (MicrochannelPlate ,MCP)探测器件设计一套成像系统 ,用于对极紫外 (ExtremeUl traviolet,EUV)波段的光进行成像。结果在 13,17 1,19 5和 30 4nm处获得了一个宽度为 3mm的狭缝的像 ,其相应的空间分辨率分别为 85 ,12 0 ,... 基于微通道板 (MicrochannelPlate ,MCP)探测器件设计一套成像系统 ,用于对极紫外 (ExtremeUl traviolet,EUV)波段的光进行成像。结果在 13,17 1,19 5和 30 4nm处获得了一个宽度为 3mm的狭缝的像 ,其相应的空间分辨率分别为 85 ,12 0 ,182和 4 95 μm ,最佳为 85 μm ,对应波长 13nm ,而且波长越短 ,分辨率越高 ,图像的亮度也越高。 展开更多
关键词 微通道板 极紫外波段光电成像系统 分辨率 探测器件 激光等离子体
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极紫外波段空间相机的辐射定标 被引量:8
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作者 何玲平 陈波 +2 位作者 张宏吉 刘世界 王晓光 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1036-1041,共6页
考虑极紫外波段空间相机尚无合适的辐射定标方法和装置,本文提出了适用于该波段的小目标成像辐射定标方法并基于该方法在实验室建立了辐射定标装置。提出的标定方法首先使用标准传递探测器标定小目标的辐射亮度;然后,用待定标相机中心... 考虑极紫外波段空间相机尚无合适的辐射定标方法和装置,本文提出了适用于该波段的小目标成像辐射定标方法并基于该方法在实验室建立了辐射定标装置。提出的标定方法首先使用标准传递探测器标定小目标的辐射亮度;然后,用待定标相机中心视场对该小目标成像,获得中心视场部分的辐射强度响应度;最后,通过调整转动结构使不同视场对该小目标成像,得到不同区域的辐射强度响应度。构建的辐射定标装置由光源系统、标准传递探测器、真空罐及四维运动转台等组成。光源系统包括空心阴极光源、极紫外掠入射单色仪、准直反射镜,能够出射工作波段的准直光束;标准传递探测器标定出光束照度并计算得到小目标的辐射强度;运动平台使相机能够以不同视场角对小目标成像,测得不同视场的辐射强度响应度。利用该装置对一台极紫外相机进行了辐射定标实验,并进行了误差源分析。实验结果表明该装置的定标精度优于15%,能够实现整机状态下的辐射定标。 展开更多
关键词 空间相机 辐射定标 小目标成像 标准传递探测器 紫外波段
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极紫外正入射光学系统研究进展 被引量:1
3
作者 张哲 伊圣振 +4 位作者 黄秋实 陈晟昊 李文斌 张众 王占山 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第21期2678-2687,共10页
极紫外正入射光学系统广泛应用于生物结构显微成像、等离子体诊断、太阳物理观测和极紫外光刻等领域中,对其开展深入研究具有重要意义。本文对同济大学精密光学工程研究所在极紫外正入射光学系统方面的最新进展进行介绍,列举了应用于超... 极紫外正入射光学系统广泛应用于生物结构显微成像、等离子体诊断、太阳物理观测和极紫外光刻等领域中,对其开展深入研究具有重要意义。本文对同济大学精密光学工程研究所在极紫外正入射光学系统方面的最新进展进行介绍,列举了应用于超热电子诊断、微纳成像、极紫外辐照损伤及Z箍缩等离子体诊断等不同场景中的多套正入射光学系统。这些系统分别在相应的应用中实现了优异的性能表现:毫米级视场内微米级的空间分辨;几十微米级视场内亚微米的超高空间分辨;大数值孔径下的超高能量密度极紫外辐照及多能点多通道的时空间诊断。研究所在极紫外正入射光学系统研究中取得的进展为我国等离子体诊断设备的自主可控及高端制造装备的技术储备提供了有力支持。 展开更多
关键词 紫外 多层膜 Schwarzschild系统 等离子体诊断 成像系统 聚焦系统
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光学系统、成像与分析
4
《中国光学》 EI CAS 2008年第3期5-5,共1页
关键词 光学系统 紫外投影光刻 光学成像系统 反射系统 光电工程 相位板 离焦 国家重点实验室 大景深 优化方法
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三代微光管分辨力特性初步分析
5
作者 向世明 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第S2期28-28,共1页
三代微光管分辨力特性初步分析向世明(中国兵器工业第二○五研究所西安710100)三代微光管是各类微光直视和微光电视成像系统的核心器件,在军用夜视和其他科技领域里,有重要使用价值和广泛的市场前景。本文仅就三代管的MTF... 三代微光管分辨力特性初步分析向世明(中国兵器工业第二○五研究所西安710100)三代微光管是各类微光直视和微光电视成像系统的核心器件,在军用夜视和其他科技领域里,有重要使用价值和广泛的市场前景。本文仅就三代管的MTF、分辨力特性、影响因素及其潜力发挥... 展开更多
关键词 微光管 分辨力 初步分析 离子壁垒 光电 技术途径 荧光屏特性 线性成像系统 光阴 宽光谱响应
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