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等离子体尺寸对放电极紫外光源影响
被引量：
4
1
作者
赵永蓬
徐强
+1 位作者
李琦
王骐
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期2631-2635,共5页
计算了放电等离子体极紫外光刻光源中，不同等离子体长度条件下的收集效率，实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响。结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果，给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13．5nm（2...
计算了放电等离子体极紫外光刻光源中，不同等离子体长度条件下的收集效率，实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响。结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果，给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13．5nm（2％带宽）光功率。结果表明等离子体长度为3～6mm时毛细管光源中间焦点光功率和尺寸最优。
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关键词
极紫外光刻光源
毛细管放电
Xe等离子体
13
5
nm辐射
Z箍缩
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职称材料
毛细管内径对Xe气放电极紫外光源的影响
2
作者
徐强
赵永蓬
+2 位作者
李小强
李琦
王骐
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第9期2873-2877,共5页
极紫外光源功率是影响光源使用的关键参数,研究放电等离子体EUV光源等离子体时间特性,优化放电结构和光源功率具有重要意义。理论上计算了不同内径毛细管内等离子体压缩过程和收集效率,实验上采用极紫外探测器测量了毛细管内径对Xe气极...
极紫外光源功率是影响光源使用的关键参数,研究放电等离子体EUV光源等离子体时间特性,优化放电结构和光源功率具有重要意义。理论上计算了不同内径毛细管内等离子体压缩过程和收集效率,实验上采用极紫外探测器测量了毛细管内径对Xe气极紫外光源13.5nm(2%带宽)辐射输出时间特性的影响,分析了毛细管内径对等离子状态的影响。结合该系统光学收集系统设计参数、不同内径毛细管收集效率和极紫外探测器信号强度,给出了不同内径毛细管中间焦点处13.5nm(2%带宽)光功率比。结果表明:气压7Pa、电流28kA时,毛细管内径7mm条件下,光源中间焦点处光功率最优化。
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关键词
毛细管放电
极紫外光刻光源
Xe等离子体
13.5nm辐射
Z箍缩
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职称材料
不同气压下毛细管放电三束等离子体发光功率
3
作者
张彧熙
蔡青
张兴强
《湖北汽车工业学院学报》
2023年第3期73-77,共5页
在给定毛细管结构参数和放电条件的情况下,计算了毛细管放电三束等离子体的发光功率,并在毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源演示装置上进行了实测,测量数据与理论值基本相符。结果表明:三束等离子体发光的过程中,由于不同氮气气压...
在给定毛细管结构参数和放电条件的情况下,计算了毛细管放电三束等离子体的发光功率,并在毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源演示装置上进行了实测,测量数据与理论值基本相符。结果表明:三束等离子体发光的过程中,由于不同氮气气压下的光谱吸收和光学屏蔽极大削弱了极紫外光的输出能量,导致毛细管放电三束等离子体的发光功率随氮气气压的变化表现出特有的规律;与毛细管放电单束等离子体相比,极大输出对应的最佳气压明显提高。
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关键词
极紫外光刻光源
毛细管放电
三束等离子体
发光功率
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职称材料
题名
等离子体尺寸对放电极紫外光源影响
被引量：
4
1
作者
赵永蓬
徐强
李琦
王骐
机构
哈尔滨工业大学可调谐(气体)激光技术国家级重点实验室
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期2631-2635,共5页
基金
国家自然科学基金重点项目(60838005)
国家科技重大专项(2008ZX02501)
文摘
计算了放电等离子体极紫外光刻光源中，不同等离子体长度条件下的收集效率，实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响。结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果，给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13．5nm（2％带宽）光功率。结果表明等离子体长度为3～6mm时毛细管光源中间焦点光功率和尺寸最优。
关键词
极紫外光刻光源
毛细管放电
Xe等离子体
13
5
nm辐射
Z箍缩
Keywords
extreme ultraviolet source
capillary diseharge
Xe plasma
13.5 nm emission
Z pinch
分类号
TN23 [电子电信—物理电子学]
O434.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
毛细管内径对Xe气放电极紫外光源的影响
2
作者
徐强
赵永蓬
李小强
李琦
王骐
机构
哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第9期2873-2877,共5页
基金
国家自然科学基金(60838005)
国家科技重大专项(2008ZX02501)
文摘
极紫外光源功率是影响光源使用的关键参数,研究放电等离子体EUV光源等离子体时间特性,优化放电结构和光源功率具有重要意义。理论上计算了不同内径毛细管内等离子体压缩过程和收集效率,实验上采用极紫外探测器测量了毛细管内径对Xe气极紫外光源13.5nm(2%带宽)辐射输出时间特性的影响,分析了毛细管内径对等离子状态的影响。结合该系统光学收集系统设计参数、不同内径毛细管收集效率和极紫外探测器信号强度,给出了不同内径毛细管中间焦点处13.5nm(2%带宽)光功率比。结果表明:气压7Pa、电流28kA时,毛细管内径7mm条件下,光源中间焦点处光功率最优化。
关键词
毛细管放电
极紫外光刻光源
Xe等离子体
13.5nm辐射
Z箍缩
Keywords
capillary discharge
extreme ultraviolet source
Xe plasma
13.5 nm emission
Z pinch
分类号
TN23 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
不同气压下毛细管放电三束等离子体发光功率
3
作者
张彧熙
蔡青
张兴强
机构
湖北汽车工业学院数理与光电工程学院
出处
《湖北汽车工业学院学报》
2023年第3期73-77,共5页
文摘
在给定毛细管结构参数和放电条件的情况下,计算了毛细管放电三束等离子体的发光功率,并在毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源演示装置上进行了实测,测量数据与理论值基本相符。结果表明:三束等离子体发光的过程中,由于不同氮气气压下的光谱吸收和光学屏蔽极大削弱了极紫外光的输出能量,导致毛细管放电三束等离子体的发光功率随氮气气压的变化表现出特有的规律;与毛细管放电单束等离子体相比,极大输出对应的最佳气压明显提高。
关键词
极紫外光刻光源
毛细管放电
三束等离子体
发光功率
Keywords
extreme ultraviolet lithographic source
capillary discharge
three plasmas
emission power
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
等离子体尺寸对放电极紫外光源影响
赵永蓬
徐强
李琦
王骐
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
毛细管内径对Xe气放电极紫外光源的影响
徐强
赵永蓬
李小强
李琦
王骐
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
不同气压下毛细管放电三束等离子体发光功率
张彧熙
蔡青
张兴强
《湖北汽车工业学院学报》
2023
0
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职称材料
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