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超精密运动平台隔振系统性能分析与实验研究
被引量：
1
1
作者
黄欢
郁鼎文
刘向阳
《科学技术与工程》
2006年第1期23-27,共5页
分析了极微细电火花加工的三维超精密运动平台隔振系统的组成及工作原理,指出了运动平台隔振保障技术是能否达到微加工精度的重要因素;对一级主动隔振的上平台和二级隔振,采用ANSYS软件进行了模态分析和研究,同时采用激振实验与ANSYS分...
分析了极微细电火花加工的三维超精密运动平台隔振系统的组成及工作原理,指出了运动平台隔振保障技术是能否达到微加工精度的重要因素;对一级主动隔振的上平台和二级隔振,采用ANSYS软件进行了模态分析和研究,同时采用激振实验与ANSYS分析进行比较,结果表明二者具有较好的一致性,从而得出二级隔振的振动特性。通过实际的隔振效果测试,得出此二级隔振系统进一步提高了隔振效果,为三维运动平台达到高精度提供了保证。
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关键词
极微细电火化加工
隔振系统
高精度模态分析
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职称材料
题名
超精密运动平台隔振系统性能分析与实验研究
被引量：
1
1
作者
黄欢
郁鼎文
刘向阳
机构
清华大学精密仪器与机械学系
吉林大学机械科学与工程学院
出处
《科学技术与工程》
2006年第1期23-27,共5页
基金
国家重点基础研究发展计划(973)(2003CB716204)资助
文摘
分析了极微细电火花加工的三维超精密运动平台隔振系统的组成及工作原理,指出了运动平台隔振保障技术是能否达到微加工精度的重要因素;对一级主动隔振的上平台和二级隔振,采用ANSYS软件进行了模态分析和研究,同时采用激振实验与ANSYS分析进行比较,结果表明二者具有较好的一致性,从而得出二级隔振的振动特性。通过实际的隔振效果测试,得出此二级隔振系统进一步提高了隔振效果,为三维运动平台达到高精度提供了保证。
关键词
极微细电火化加工
隔振系统
高精度模态分析
Keywords
micro-EDM isolation system high precision model analysis
分类号
TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
超精密运动平台隔振系统性能分析与实验研究
黄欢
郁鼎文
刘向阳
《科学技术与工程》
2006
1
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