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一种提高极值法监控精度的方法被引量：8: 1; 作者张晓晖陈清明 +2 位作者朱伟民汤炜杨光《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期386-390,共5页; 提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值。这一方法既可提高淀积规整膜系时的层厚监控精度 ,也可提高淀积非规整膜系时的层厚监控精度。; 关键词薄膜淀积极值监控法膜厚监控精度过正控制量; 在线阅读下载PDF 职称材料

光纤通信系统用减反膜的研究被引量：5: 2; 作者张晓晖丁双红《海军工程大学学报》 CAS 2003年第3期23-26,共4页; 针对WDM光纤通信系统对具有极高透过率的光学薄膜元件的需要,系统地研究了增透膜的设计与镀制.采用统计实验求总极值法和Powell最小二乘法相结合的多级优化方法编制程序,完成了以BK7玻璃为基底的增透膜的膜系设计,采用多种监控方法完成... 展开更多; 关键词光纤通信系统减反膜光学薄膜元件非规整膜系设计透过率镀制方法晶振监控极值法监控二氧化硅; 在线阅读下载PDF 职称材料

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