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快速傅里叶变换与泽尼克模式拟合的条纹投影面形恢复算法
1
作者
刘江
崔穆涵
+2 位作者
高松涛
隋永新
杨怀江
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期614-618,共5页
针对条纹投影偏折法中需要多次迭代进行面形恢复,提出一种结合快速傅里叶变换(FFT)算法与泽尼克(Zernike)模式拟合的算法(FFT-泽尼克)。数值仿真结果表明,直接使用泽尼克模式拟合,需要迭代15次,用时1min以上,而使用FFT-泽尼克算法,迭代...
针对条纹投影偏折法中需要多次迭代进行面形恢复,提出一种结合快速傅里叶变换(FFT)算法与泽尼克(Zernike)模式拟合的算法(FFT-泽尼克)。数值仿真结果表明,直接使用泽尼克模式拟合,需要迭代15次,用时1min以上,而使用FFT-泽尼克算法,迭代5次已收敛到理想精度。在保证计算精度在纳米量级的情况下,计算时间也缩短了近2/3。
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关键词
光学检测
FFT-泽尼克模式拟合算
法
模式拟合算
法
Southwell区域算
法
条纹投影偏折法
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职称材料
题名
快速傅里叶变换与泽尼克模式拟合的条纹投影面形恢复算法
1
作者
刘江
崔穆涵
高松涛
隋永新
杨怀江
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院大学
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期614-618,共5页
基金
国家科技重大专项(02专项)资助课题(2009ZX02205)
文摘
针对条纹投影偏折法中需要多次迭代进行面形恢复,提出一种结合快速傅里叶变换(FFT)算法与泽尼克(Zernike)模式拟合的算法(FFT-泽尼克)。数值仿真结果表明,直接使用泽尼克模式拟合,需要迭代15次,用时1min以上,而使用FFT-泽尼克算法,迭代5次已收敛到理想精度。在保证计算精度在纳米量级的情况下,计算时间也缩短了近2/3。
关键词
光学检测
FFT-泽尼克模式拟合算
法
模式拟合算
法
Southwell区域算
法
条纹投影偏折法
Keywords
optical test
combined FFT-Zernike modal method
modal method
Southwell zonal method
projected fringes deflectometry
分类号
TN911.72 [电子电信—通信与信息系统]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
快速傅里叶变换与泽尼克模式拟合的条纹投影面形恢复算法
刘江
崔穆涵
高松涛
隋永新
杨怀江
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2013
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